[實用新型]清潔機構、清潔車及物料自動搬運系統

有效

• 申請號: 201921344011.6
• 申請日: 2019-08-19
• 公開（公告）號: CN210386675U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 路通
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B15/00;B08B13/00
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 李建忠;袁禮君

本公開涉及半導體技術領域，提出了一種清潔機構、清潔車及物料自動搬運系統，清潔機構用于清潔頂置緩沖器上的反光板，清潔機構包括：承載組件和清潔件，承載組件相對于頂置緩沖器位置可調節地設置；清潔件可拆卸地設置在承載組件上。本公開的清潔機構通過承載組件和清潔件可以實現對頂置緩沖器上的反光板自動清潔。在具體清潔時，承載組件帶動清潔件移動到具體清潔位置，然后清潔件完成對反光板的清潔。由于承載組件可以相對于頂置緩沖器移動，即在整個清潔過程基本實現自動清潔，整個清潔過程較為高效。

技術領域

本公開涉及半導體技術領域，尤其涉及一種清潔機構、清潔車及物料自動搬運系統。

背景技術

現有技術中，半導體集成電路中物料自動搬運系統(AMHS)包括：

空中走行式無人搬送車(OHT)：Overhead Hoist Transport，沿著設置在天花板下方的軌道，將前開式標準晶圓盒(FOUP)搬送至目的地站點。

頂置緩沖器(OHB)：Over Head Buffer，安裝于天花板下方，用于存放FOUP。

OHB反光板：安裝于OHB上。與OHT帶有的二重搬入探測設備(sensor)配套使用，用于OHT偵測相應的OHB上是否已經存有FOUP，以此為依據，判斷下一步是否要執行既定的取/放FOUP動作。

在具體使用過程中，OHB反光板需要定時清潔，其清潔的必要性：為保證正常工作，OHT二重搬入sensor的發射光強度需要保持在合理范圍，如果對應的OHB反光板表面有污漬、水漬等因素導致反射光強不足，可能會導致OHT誤判OHB上的存貨情況，造成OHB使用效率下降。針對這種情況的解決方法是清潔OHB反光板。在已知的技術背景下，OHB反光板清潔都是手動進行，沒有自動進行OHB反光板清潔的設備。

然而，手動清潔OHB反光板需要進行三米以上的登高作業，需要至少四名人員的配置(一名清潔人員，一名安全員，兩名輔助人員)。此外，手動清潔OHB注意事項較多，流程較為繁瑣，大量時間花費在手動停/開作業區域OHT，掛安全擋板等流程，而此流程在手動清潔的方式下是兼顧人員安全與生產效率的必要流程。

實用新型內容

本公開的一個主要目的在于克服上述現有技術的至少一種缺陷，提供一種清潔機構、清潔車及物料自動搬運系統。

根據本實用新型的第一個方面，提供了一種清潔機構，用于清潔頂置緩沖器上的反光板，清潔機構包括：

承載組件，承載組件相對于頂置緩沖器位置可調節地設置；

清潔件，清潔件可拆卸地設置在承載組件上。

在本實用新型的一個實施例中，清潔件設置在承載組件朝向頂置緩沖器的一側，以使清潔件與反光板所在平面相對設置；

其中，清潔件的至少部分沿靠近或遠離反光板的方向可移動地設置。

在本實用新型的一個實施例中，清潔件包括：

第一清潔部，第一清潔部設置在承載組件上，第一清潔部包括用于清潔反光板的刷子。

在本實用新型的一個實施例中，第一清潔部還包括：

機械臂，機械臂設置在承載組件上，刷子設置在機械臂遠離承載組件的一端；

其中，機械臂可活動地設置，以驅動刷子相對于反光板移動。

在本實用新型的一個實施例中，第一清潔部還包括：

控制模塊，控制模塊設置在承載組件上，控制模塊與機械臂相連接，以控制機械臂相對于反光板活動。

在本實用新型的一個實施例中，清潔件包括：

第二清潔部，第二清潔部設置在承載組件上；