[實(shí)用新型]一種采用反向電場(chǎng)補(bǔ)償技術(shù)的靜電場(chǎng)檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921333654.0
• 申請(qǐng)日: 2019-08-16
• 公開（公告）號(hào): CN211293084U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周海波;郝云飛;段學(xué)治
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波易周科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R29/12
• 分類號(hào): G01R29/12
• 代理公司: 南京鐘山專利代理有限公司 32252
• 代理人: 李小靜

1.一種采用反向電場(chǎng)補(bǔ)償技術(shù)的靜電場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：放大器、控制器以及位于待測(cè)靜電場(chǎng)內(nèi)的一次傳導(dǎo)元件及二次傳導(dǎo)元件；

所述放大器的反向輸入端與所述一次傳導(dǎo)元件連接，所述放大器用于檢測(cè)待測(cè)靜電場(chǎng)在所述一次傳導(dǎo)元件上所產(chǎn)生的電荷，以獲得輸入信號(hào)；

所述控制器的輸入端與所述放大器的輸出端連接，所述控制器用于檢測(cè)所述放大器的輸出信號(hào)并依據(jù)所述放大器的輸出信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)定期的補(bǔ)償信號(hào)；

所述二次傳導(dǎo)元件與所述控制器的輸出端連接，所述二次傳導(dǎo)元件用于通過(guò)所述補(bǔ)償信號(hào)對(duì)所述一次傳導(dǎo)元件施加一個(gè)補(bǔ)償電場(chǎng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用反向電場(chǎng)補(bǔ)償技術(shù)的靜電場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括：A/D轉(zhuǎn)換器，用于將所述放大器的輸出信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，并輸送至所述控制器，所述A/D轉(zhuǎn)換器的輸入端與所述放大器的輸出端連接，所述A/D轉(zhuǎn)換器的輸出端與所述控制器的輸入端連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種采用反向電場(chǎng)補(bǔ)償技術(shù)的靜電場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括：D/A轉(zhuǎn)換器，用于將所述控制器輸出的補(bǔ)償信號(hào)轉(zhuǎn)換為模擬信號(hào)，并輸出到所述二次傳導(dǎo)元件上，所述D/A轉(zhuǎn)換器的輸入端與所述控制器的輸出端連接，所述D/A轉(zhuǎn)換器的輸出端與所述二次傳導(dǎo)元件連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種采用反向電場(chǎng)補(bǔ)償技術(shù)的靜電場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述控制器包括：

接收模塊，用于接收所述放大器的輸出信號(hào)；

測(cè)量模塊，用于周期性測(cè)量所述放大器的輸出信號(hào)的變化；

輸出模塊，用于周期性的輸出一個(gè)補(bǔ)償信號(hào)；

所述輸出模塊輸出的補(bǔ)償信號(hào)與所述接收模塊接收到的所述放大器的輸出信號(hào)在一個(gè)周期時(shí)間內(nèi)的變化量大小相同，極性相反，且若是變化量在一個(gè)周期時(shí)間內(nèi)超過(guò)預(yù)設(shè)的最大值，則補(bǔ)償信號(hào)取最大值。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種采用反向電場(chǎng)補(bǔ)償技術(shù)的靜電場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述控制器設(shè)置為每S秒補(bǔ)償一次，其中，0.1s≤S≤1s，或0.2s≤S≤0.6s，或S＝500ms；最大補(bǔ)償信號(hào)設(shè)置為200mV。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種采用反向電場(chǎng)補(bǔ)償技術(shù)的靜電場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述一次傳導(dǎo)元件為直徑20mm、厚度0.2mm的圓形銅片。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種采用反向電場(chǎng)補(bǔ)償技術(shù)的靜電場(chǎng)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述二次傳導(dǎo)元件為直徑20mm、厚度0.2mm的圓形銅片，且所述二次傳導(dǎo)元件位于所述一次傳導(dǎo)元件的下方，與所述一次傳導(dǎo)元件相距1mm。