[實用新型]一種超純水系統的節水系統

有效

• 申請號: 201921330969.X
• 申請日: 2019-08-15
• 公開（公告）號: CN210825779U
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 姚成才;劉其杰
• 申請（專利權）人: 世源科技工程有限公司
• 主分類號: C02F9/08
• 分類號: C02F9/08;C02F103/04
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 劉茵

一種超純水系統的節水系統，由超純水系統、反洗廢水凈化系統、反滲透濃水池和一次純水罐組成。該系統可實現多介質過濾器和活性炭過濾器反洗水回收處理后回用；活性炭過濾器、去陰離子塔、混床反洗再生的末道沖洗水，拋光樹脂塔的初期末道沖洗水，膜脫氣剛上線初期及更換材料后初期沖洗排水，以及在線儀表排水回用至超純水系統；反滲透膜、膜脫氣、超濾膜、供應機臺回水發生水質異常時，將此時異常水回用至超純水系統前段；可以降低純水制備過程中廢水產生率，提高水源的復用率，節約水資源。

技術領域

本實用新型涉及一種超純水系統的節水系統，屬于凈化水設備技術領域。

背景技術

超純水廣泛用于電子、醫藥、生物等行業。超純水系統是指系統通過自來水制備超純水供應工藝機臺使用的完整的生產系統。一般超純水系統工藝多是經多重過濾、離子交換、脫氣膜、多級反滲透膜、紫外線、超濾、電脫鹽、電滲析等步驟生產超純水。目前超純水制備過程中，系統產生的反洗廢水直接排放至廢水站內，由相關廢水系統進行處理后直接排放；在線儀表、設備初運行等排水直接排至排水溝；超純水系統中部分區段水質異常排水直接排至廢水站進行處理；反滲透膜(RO)結垢清洗水采用RO產水，未合理利用反滲透濃水(ROR)。由于工業級超純水系統不間斷運行，耗水量巨大，在保證水質前提下，通過合理優化節水設計，對于保障系統安全運行、減少廢水產生率及節約水資源具有重要的意義。

實用新型內容

針對現有技術的上述缺陷，本實用新型提供一種超純水系統的節水系統，通過節水系統的設計，可以降低純水制備過程中廢水產生率，提高水源的復用率，節約水資源。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種超純水系統的節水系統，由超純水系統、反洗廢水凈化系統、反滲透濃水池7和一次純水罐8組成；

超純水系統包括順序連接的自來水原水池101、多介質過濾器102、第一中間水池201、活性炭過濾器103、去陽離子塔202、脫碳塔203、去陰離子塔204、第二中間水池301、第一紫外線儀302、保安過濾器303、反滲透膜304、第三中間水池401、第二紫外線儀402、混床樹脂塔403、后置過濾器404、第一膜脫氣裝置405、超純水罐501、換熱器502、第三紫外線儀503、拋光樹脂塔504、第二膜脫氣裝置505、超濾裝置506和超純水使用機臺6；

多介質過濾器102和活性炭過濾器103的反洗水出水口分別連接反洗廢水凈化系統，反洗廢水凈化系統的出水口連接反滲透濃水池7和自來水原水池101；

活性炭過濾器103、去陰離子塔204和混床樹脂塔403的末道沖洗水出水口分別連接第一中間水池201，拋光樹脂塔504的末道沖洗水出水口連接第一中間水池201或第二中間水池301；

反滲透膜304的反滲透濃水出水口連接反滲透濃水池7，反滲透濃水池7的出水口分別連接多介質過濾器102和活性炭過濾器103的反洗水入水口，去陽離子塔202和去陰離子塔204的再生水入水口，和第一中間水池201；

超濾裝置506的超濾濃水出水口連接一次純水罐8入水口，一次純水罐8的出水口分別連接新風機組801和工藝循環冷卻水系統802的補水入水口；

反滲透膜304的清洗水出水口連接清洗罐9，清洗罐9的出水口連接反滲透膜304的清洗水入水口。

如上所述的超純水系統的節水系統，優選地，所述反洗廢水凈化系統由順序連接的反洗廢水收集池104、PH調節池105、沉淀池106和多介質過濾器108組成。

如上所述的超純水系統的節水系統，優選地，所述節水系統還包括第一收集罐110、第二收集罐10和第三收集罐507；

所述原水池101端的原水泵出口的在線儀表排水管連接第一收集罐110，第一收集罐110的出水口連接原水池101或原水泵出水管；