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[實用新型]一種硅片分片裝置有效

專利信息
申請號: 201921323746.0 申請日: 2019-08-15
公開(公告)號: CN210167334U 公開(公告)日: 2020-03-20
發明(設計)人: 信廣志 申請(專利權)人: 天津創昱達光伏科技有限公司
主分類號: H01L21/67 分類號: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 北京東方盛凡知識產權代理事務所(普通合伙) 11562 代理人: 宋平
地址: 301803 天津市*** 國省代碼: 天津;12
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 硅片 分片 裝置
【權利要求書】:

1.一種硅片分片裝置,其特征在于,包括長條形的水槽(1);所述水槽(1)沿長度方向的一端為起始端(11),另一端為末端(12);所述水槽(1)內靠近所述起始端(11)設置有分片槽(2);所述分片槽(2)遠離所述起始端(11)的一側敞開形成分片出口(21);所述分片槽(2)內設置有分片機構(3);

所述水槽(1)內位于所述分片出口(21)的一側設置有傳輸機構(4);所述傳輸機構(4)包括設置于所述分片出口(21)一側的固定桿(41);所述固定桿(41)的中部固定設置有固定塊(42);所述固定塊(42)靠近所述分片槽(2)的一側固定設置有豎直的擋片(43);所述擋片(43)的頂端可轉動的穿過設置有轉桿(44);所述轉桿(44)垂直于所述起始端(11)至所述末端(12)方向設置;所述轉桿(44)上位于所述擋片(43)的兩側均勻間隔固定套接有若干橡膠滾輪(45);所述水槽(1)的一側設置有驅動所述轉桿(44)轉動的第一電機(46);相鄰的所述橡膠滾輪(45)之間靠近所述分片槽(2)的一側均設置有吸水孔(47);所述橡膠滾輪(45)的上方設置有主動膠輥(48);所述水槽(1)的一側設置有驅動所述主動膠輥(48)轉動的第二電機(49);所述主動膠輥(48)靠近所述起始端(11)的一側設置有從動膠輥(410);所述從動膠輥(410)的上方設置有軸桿(411);所述從動膠輥(410)的兩端與所述軸桿(411)通過連接片(412)可轉動的連接;所述軸桿(411)靠近所述末端的一側設置有傳動膠輥(413);所述水槽(1)的一側設置有驅動所述傳動膠輥(413)轉動的第三電機(414);所述主動膠輥(48)與所述傳動膠輥(413)的轉動線速度相同;所述軸桿(411)的中部靠近所述傳動膠輥(413)的一側設置有氣孔(415);所述軸桿(411)上位于所述氣孔(415)的兩側對稱的設置有位置傳感器(416)。

2.根據權利要求1所述的硅片分片裝置,其特征在于,所述分片機構(3)包括設置于所述分片槽(2)內底板上的軌道槽(31);所述軌道槽(31)沿所述起始端(11)至所述末端(12)方向設置;所述分片槽(2)內設置有垂直于所述軌道槽(31)的推板(32);所述推板(32)的底端固定設置有滑塊(33);所述滑塊(33)可滑動的卡接于所述軌道槽(31)內;所述分片槽(2)內靠近所述起始端(11)的壁面與所述推板(32)之間設置有電動機械手(34);所述分片槽(2)垂直于所述軌道槽(31)方向的兩側壁上對稱的設置有水平的通槽(35);所述通槽(35)靠近所述末端(12)設置;兩個所述通槽(35)的外側均固定設置有第一噴水條(36);所述第一噴水條(36)靠近所述通槽(35)的一側沿水平方向均勻設置有若干第一噴水孔(37);所述分片槽(2)靠近所述末端(12)的上方的兩側對稱的設置有第二噴水條(38);所述第二噴水條(38)靠近所述分片槽(2)的一側沿水平方向均勻設置有若干第二噴水孔(39)。

3.根據權利要求2所述的硅片分片裝置,其特征在于,所述連接片(412)的底端遠離所述主動膠輥(48)的一側一體的設置有配重片(417)。

4.根據權利要求3所述的硅片分片裝置,其特征在于,所述主動膠輥(48)與所述傳動膠輥(413)之間設置有承接桿(418)。

5.根據權利要求4所述的硅片分片裝置,其特征在于,所述傳動膠輥(413)的頂部靠近所述末端(12)的一側設置有傳送帶(5)。

6.根據權利要求5所述的硅片分片裝置,其特征在于,所述傳動膠輥(413)與所述傳送帶(5)之間設置有承接板(51)。

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