[實用新型]陶瓷盤翻轉機構

有效

• 申請號: 201921320329.0
• 申請日: 2019-08-14
• 公開（公告）號: CN210392739U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 李繼忠;李述周;朱春
• 申請（專利權）人: 常州科沛達清洗技術股份有限公司
• 主分類號: B65G47/248
• 分類號: B65G47/248;B08B3/12;B08B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及一種陶瓷盤翻轉機構，包括支架、翻轉動力件、翻轉架及托架，所述翻轉架設置在支架上并可繞支架旋轉，所述翻轉動力件與翻轉架連接，所述托架固定在翻轉架上，托架上固定有兩托板，兩托板之間形成用于垂直托起陶瓷盤邊緣并避免其掉落的通道，翻轉動力件可驅動翻轉架帶動托架翻轉。該陶瓷盤翻轉機構能夠自動帶動陶瓷盤翻轉90度，定位可靠，精確度高，翻轉速度快，從而便于后續清洗，大大提高了清洗效率和清洗質量。

技術領域

本實用新型涉及電子產品加工技術領域，尤其涉及一種陶瓷盤翻轉機構。

背景技術

中國半導體市場裝機量需求增長迅猛，勞動力短缺、人工成本不斷攀升，導致廠商對自動化設備需求提升，對降低生產成本、提高產品良率有著顯著的效果。

現有的晶圓片(藍寶石片、硅片等)在進行加工時需要進行多道工序，如清洗、涂膠、貼片、鏟片、存放等，而用于貼合晶圓片的陶瓷盤在進行貼片前需要進行清洗、烘干等操作。現有技術中，陶瓷盤進行清洗時一般都是平躺進入超聲波清洗槽，這就對超聲波清洗槽的尺寸具有一定的要求，而平躺清洗的陶瓷盤表面會有殘留的雜質，影響后續貼片，同時平躺清洗的效率較差。

實用新型內容

為了克服現有技術的缺點，本實用新型提供一種能使陶瓷盤自動翻轉、使其從水平狀態翻轉為垂直狀態的陶瓷盤翻轉機構。

本實用新型是通過如下技術方案實現的：一種陶瓷盤翻轉機構，包括支架、翻轉動力件、翻轉架及托架，所述翻轉架設置在支架上并可繞支架旋轉，所述翻轉動力件與翻轉架連接，所述托架固定在翻轉架上，托架上固定有兩托板，兩托板之間形成用于垂直托起陶瓷盤邊緣并避免其掉落的通道，翻轉動力件可驅動翻轉架帶動托架翻轉。

為了保證其翻轉的精確性，所述陶瓷盤翻轉機構還包括定位組件，所述定位組件包括側定位板、導軌、滑塊及推桿，所述側定位板固定在支架頂端，所述導軌對應設置在支架一側，所述滑塊設置在導軌上，所述推桿固定在滑塊上，滑塊可帶動推桿沿導軌移動，使推桿推動陶瓷盤，并使陶瓷盤一端與側定位板抵靠。

為了保證托架與陶瓷盤貼合，所述托架通過升降氣缸設置在翻轉架上，升降氣缸可驅動托架上下升降。

為了避免陶瓷盤從托板上掉落，所述托板上開設有用于撐起陶瓷盤邊緣的槽口。

為了保證翻轉架的穩定性，所述支架上固定有支撐桿，用于支撐翻轉架一端。

本實用新型的有益效果是：該陶瓷盤翻轉機構能夠自動帶動陶瓷盤翻轉90度，定位可靠，精確度高，翻轉速度快，從而便于后續清洗，大大提高了清洗效率和清洗質量。

附圖說明

圖1為本實用新型的陶瓷盤翻轉機構的立體結構示意圖；

圖2為本實用新型的陶瓷盤翻轉機構的另一方向的結構示意圖；

圖3為本實用新型的托架的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優點和特征能更易被本領域人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

如圖1、圖2所示的一種陶瓷盤翻轉機構，包括支架1、翻轉動力件3、翻轉架2及托架5，所述翻轉架2設置在支架1上并可繞支架1旋轉，支架1上固定有兩支撐桿8，用于支撐翻轉架2一端，所述翻轉動力件3與翻轉架2連接，所述托架5通過升降氣缸10設置在翻轉架2上，升降氣缸10可驅動托架5上下升降，托架5上固定有兩托板，兩托板之間形成用于垂直托起陶瓷盤邊緣并避免其掉落的通道，翻轉動力件3可驅動翻轉架2帶動托架5翻轉，從而帶動陶瓷盤翻轉。