[實(shí)用新型]一種區(qū)熔單晶爐上料裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921315574.2
• 申請(qǐng)日: 2019-08-14
• 公開（公告）號(hào): CN211284615U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李偉凡;涂頌昊;王遵義;王聚安
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C30B13/08
• 分類號(hào): C30B13/08;C30B29/06
• 代理公司: 天津?yàn)I海科緯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12211
• 代理人: 戴文儀

本實(shí)用新型提供了一種區(qū)熔單晶爐上料裝置，包括定板；定板上設(shè)有小錐齒輪，小錐齒輪與大錐齒輪相嚙合，小錐齒輪與豎直設(shè)置的絲杠同軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接；絲杠上螺紋連接螺母滑塊，絲杠旁設(shè)有導(dǎo)軌，螺母滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接；螺母滑塊上固定支架，支架上設(shè)有動(dòng)板和兩個(gè)翻板，每個(gè)翻板的外端通過翻板心軸連接在動(dòng)板上，動(dòng)板和翻板頂端均設(shè)有彈簧固定柱，同一側(cè)的動(dòng)板和翻板上的彈簧固定柱之間設(shè)有彈簧；兩個(gè)翻板的開口處設(shè)有插銷。本實(shí)用新型所述的一種區(qū)熔單晶爐上料裝置，配合使用機(jī)械機(jī)構(gòu)代替人工進(jìn)行多晶硅棒原料的上料工作，不僅減少上料工作對(duì)操作工人身體健康的損害，也提高了生產(chǎn)的安全性與可靠性，為區(qū)熔單晶爐的上料工作提供了極大的方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種區(qū)熔單晶爐上料裝置。

背景技術(shù)

區(qū)熔單晶硅因其獨(dú)特的電學(xué)等特性，使其應(yīng)用范圍越來越廣闊，且對(duì)區(qū)熔單晶硅片的大尺寸要求也越來越迫切。為了生產(chǎn)大尺寸的區(qū)熔單晶硅，不得不使用大尺寸的多晶硅棒原料，多晶硅原料的直徑、長(zhǎng)度以及重量越來越大，大長(zhǎng)度、高重量造成了多晶棒原料上料困難的難題。

在以往的上料過程中，生產(chǎn)工人需用繩索將多晶硅棒原料綁在前臂進(jìn)行上料，綁在工人前臂的高重量多晶棒原料不僅會(huì)對(duì)工人的身體造成損害，而且這種人工上料方式也會(huì)造成諸多安全隱患，例如在上料懸掛過程中，多晶硅棒原料會(huì)晃動(dòng)，容易撞到爐體內(nèi)壁以及中爐室的加熱部件，甚至?xí)卸嗑Ч璋粼蟿澘鄣袈涞娘L(fēng)險(xiǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型旨在提出一種區(qū)熔單晶爐上料裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的問題，配合使用機(jī)械機(jī)構(gòu)代替人工進(jìn)行多晶硅棒原料的上料工作，不僅減少上料工作對(duì)操作工人身體健康的損害，也提高了生產(chǎn)的安全性與可靠性，為區(qū)熔單晶爐的上料工作提供了極大的方便。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種區(qū)熔單晶爐上料裝置，包括定板；定板上設(shè)有小錐齒輪，小錐齒輪與大錐齒輪相嚙合，小錐齒輪與豎直設(shè)置的絲杠同軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接；絲杠上螺紋連接螺母滑塊，絲杠旁設(shè)有導(dǎo)軌，螺母滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接；螺母滑塊上固定支架，支架上設(shè)有動(dòng)板和兩個(gè)翻板，每個(gè)翻板的外端通過翻板心軸連接在動(dòng)板上，動(dòng)板和翻板頂端均設(shè)有彈簧固定柱，同一側(cè)的動(dòng)板和翻板上的彈簧固定柱之間設(shè)有彈簧；兩個(gè)翻板的開口處設(shè)有插銷。

進(jìn)一步的，定板上設(shè)有支撐罩，大錐齒輪和小錐齒輪均設(shè)置在支撐罩內(nèi)，支撐罩內(nèi)設(shè)有軸承座，搖桿軸通過軸承座與大錐齒輪同軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

進(jìn)一步的，搖桿軸伸出支撐罩的一端設(shè)有手輪。

進(jìn)一步的，導(dǎo)軌頂端通過鎖緊螺母與定板固定連接。

進(jìn)一步的，絲杠穿過定板上的組合軸承與小錐齒輪連接。

進(jìn)一步的，導(dǎo)軌和絲杠底端均設(shè)有底板。

底板通過彈簧墊圈和螺母將兩根導(dǎo)軌與絲杠的下端連接在一起。

進(jìn)一步的，支撐罩頂端設(shè)有通孔。

進(jìn)一步的，兩個(gè)翻板相對(duì)的一側(cè)上均設(shè)有半圓通孔，半圓通孔周圍設(shè)有四氟環(huán)。

四氟環(huán)在承接多晶硅棒原料時(shí)既可以起到緩沖的作用，又可以防止鋁合金直接與多晶硅棒原料接觸后污染多晶硅棒原料。

進(jìn)一步的，定板豎直方向的一側(cè)上設(shè)有螺栓孔。

可以利用螺栓孔將本裝置和上爐室的螺栓孔固定到一起，保證了本裝置在工作過程中的穩(wěn)定性。

進(jìn)一步的，兩個(gè)翻板下側(cè)設(shè)有擋板。

擋板限制兩個(gè)翻板向下旋轉(zhuǎn)，起到支撐翻板的作用。

相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型所述的一種區(qū)熔單晶爐上料裝置具有以下優(yōu)勢(shì)：