[實用新型]一種長晶廢氣過濾桶

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921314219.3
• 申請日: 2019-08-14
• 公開（公告）號: CN210543960U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王鵬;陶飛
• 申請（專利權(quán)）人: 揚州合晶科技有限公司
• 主分類號: B01D46/24
• 分類號: B01D46/24;B01D46/42
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 潘云峰

本實用新型公開一種長晶廢氣過濾桶，包括桶體以及固定在桶體頂部的桶蓋，所述桶體內(nèi)部設(shè)有濾芯組件，所述桶蓋內(nèi)部與所述濾芯組件的濾后通道連通，所述桶體周面開設(shè)有進氣口，所述桶蓋上開設(shè)有出氣口和反吹口，所述桶體周面還設(shè)有吸塵口，所述吸塵口設(shè)有悶板。本實用新型無需拆卸即可有效清潔濾芯上的粉塵，省時省力，減少人力成本，并且能夠有效避免清潔過程中粉塵擴散。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種長晶廢氣過濾桶。

背景技術(shù)

長晶技術(shù)簡稱KY法,又稱之為泡生法.其原理與柴氏拉晶法類似。大致過程：先將原料加熱至熔點后熔化形成熔湯，再以單晶之晶種接觸到熔湯表面，在晶種與熔湯的固液界面上開始生長和晶種相同晶體結(jié)構(gòu)的單晶，晶種以一定速度往上拉升，同時作旋轉(zhuǎn)，晶種往上拉晶一段時間以形成晶頸，待熔湯與晶種界面的凝固速率穩(wěn)定后，晶種繼續(xù)拉升，同時作旋轉(zhuǎn)，以控制冷卻速率方式來使單晶從上方逐漸往下凝固，至直徑達到希望值，繼續(xù)以一定拉速向上拉升，最后凝固成一整個單晶晶棒。

長晶過程中為了避免外部空氣影響內(nèi)部的晶體生長，需要持續(xù)通入惰性保護氣，保護氣排出時摻雜了大量的氧化物和粉塵，直接排放至空氣中會嚴重污染環(huán)境，因此需要通過廢氣過濾桶對廢氣進行過濾處理后再排放至空氣中。現(xiàn)有的廢氣過濾桶每次完成長晶操作后，都需要全部拆卸下來，進行清潔，操作十分麻煩；并且清潔過程中，過濾桶全部敞開，內(nèi)部濾芯上的粉塵有一定程度的擴散，會影響操作環(huán)境，不利于現(xiàn)場管理。

因此，開發(fā)一種新型的長晶廢氣過濾桶十分有必要。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種長晶廢氣過濾桶，該過濾桶無需拆卸即可有效清潔濾芯上的粉塵，省時省力，減少人力成本，并且能夠有效避免清潔過程中粉塵擴散。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是：

一種長晶廢氣過濾桶，包括桶體以及固定在桶體頂部的桶蓋，所述桶體內(nèi)部設(shè)有濾芯組件，所述桶蓋內(nèi)部與所述濾芯組件的濾后通道連通，所述桶體周面開設(shè)有進氣口，所述桶蓋上開設(shè)有出氣口和反吹口，所述桶體周面還設(shè)有吸塵口，所述吸塵口設(shè)有悶板。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是:

1、本實用新型可以直接通過反吹口吹氣，將濾芯組件表面的粉塵吹落，并通過吸塵口將粉塵吸出，快速完成濾芯的清潔，無需拆卸濾桶，省時省力，減少人力成本；

2、本實用新型通過反吹氣來清理濾芯表面粉塵，清理效果好，能夠有效避免濾芯堵塞；

3、本實用新型濾芯清潔過程中，粉塵直接由吸塵口吸走貯存，不會造成粉塵擴散現(xiàn)象，能夠有效避免污染操作環(huán)境。

本實用新型的進一步改進方案如下：

進一步的，所述吸塵口開設(shè)在所述桶體周面底部，所述進氣口和吸塵口分設(shè)在桶體周面兩側(cè)。

通過采用上述方案，避免粉塵堆積在進氣口以及桶體底部。

進一步的，所述濾芯組件包括安裝板，所述安裝板底面均勻固定有若干個豎直設(shè)置的濾芯，且安裝板上開設(shè)有與濾芯的濾后通道一一對應(yīng)連通的通氣孔，所述桶蓋底端設(shè)有上翻邊，所述桶體頂端設(shè)有下翻邊，所述安裝板外緣放置在所述下翻邊上，所述上翻邊壓緊所述安裝板，所述上翻邊、安裝板和下翻邊通過螺栓固定。

通過采用上述方案，桶蓋內(nèi)部通過安裝板上的通氣孔與濾芯內(nèi)部通道連通；上翻邊和下翻邊將安裝板夾緊固定，保證整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。

進一步的，所述安裝板上下兩面均設(shè)有一圈環(huán)型凸起，所述上翻邊和下翻邊上開設(shè)有與所述環(huán)型凸起匹配的凹槽。

通過采用上述方案，安裝板上下兩面的環(huán)型凸起與上翻邊和下翻邊表面的凹槽配合卡接，便于濾芯組件的快速對齊安裝，同時進一步保證濾芯組件固定穩(wěn)定。