[實用新型]晶圓片鏟片收納刷洗裝置

有效

• 申請號: 201921314092.5
• 申請日: 2019-08-14
• 公開（公告）號: CN210040149U
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發明（設計）人: 李繼忠;李述周;朱春
• 申請（專利權）人: 常州科沛達清洗技術股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓片鏟片收納刷洗裝置，其特征在于：包括輸送線及設置在輸送線上的鏟片單元、收納單元及刷洗單元；

所述鏟片單元用于將陶瓷盤上的晶圓片鏟下，包括鏟片支架、鏟片動力件、滑塊及鏟板，所述鏟片動力件固定在鏟片支架上，鏟片動力件通過滑塊與鏟板連接并可驅動其移動，所述鏟板與水平面相傾斜，鏟板一端與滑塊底端鉸接，鏟板中部與滑塊之間通過彈簧彈性連接，鏟板受到壓力時可繞滑塊旋轉，不受壓力時通過彈簧復位；

所述收納單元對應設置在鏟片單元一側，用于接收鏟片單元鏟下的晶圓片，包括支架及設置在支架上的導向塊、升降動力件、托架及收納盒，所述導向塊固定在支架頂端，導向塊頂端開設有可供晶圓片通過的滑道，所述滑道與水平面相傾斜，所述托架對應設置在滑道的出口端，所述升降動力件與托架連接，所述收納盒固定在托架上，收納盒上開設有若干可供晶圓片插入的插槽，升降動力件可驅動托架及收納盒上升或下降；

所述刷洗單元對應設置在鏟片單元的輸出端，用于對陶瓷盤表面刷洗，包括轉軸、毛刷、噴淋管及噴嘴，所述轉軸為多個，對應設置在輸送線通過的陶瓷盤上方和/或下方，各轉軸上分別設置有多個毛刷，所述噴淋管對應設置在輸送線通過的陶瓷盤上方和/或下方，各噴淋管上均布有多個噴嘴。

2.根據權利要求1所述的晶圓片鏟片收納刷洗裝置，其特征在于：所述晶圓片鏟片收納刷洗裝置還包括烘干單元，所述烘干單元設置在刷洗單元的輸出端，用于對刷洗后的陶瓷盤烘干。

3.根據權利要求1所述的晶圓片鏟片收納刷洗裝置，其特征在于：所述晶圓片鏟片收納刷洗裝置還包括沖洗單元，所述沖洗單元設置在鏟片單元的進口端，用于對鏟片前的陶瓷盤表面沖洗，包括噴淋管及設置在噴淋管上的多個噴嘴。