[實(shí)用新型]晶圓片刷洗甩干機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921314091.0
• 申請(qǐng)日: 2019-08-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210223964U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李繼忠;李述周;朱春
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州科沛達(dá)清洗技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型涉及一種晶圓片刷洗甩干機(jī)構(gòu)，包括定位平臺(tái)組件及刷洗組件，定位平臺(tái)組件包括旋轉(zhuǎn)動(dòng)力件、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、吸盤、升降動(dòng)力件、升降座及保護(hù)罩，吸盤固定在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)與旋轉(zhuǎn)動(dòng)力件連接，保護(hù)罩套設(shè)在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)外，保護(hù)罩固定在升降座上，升降動(dòng)力件與升降座連接，刷洗組件包括刷盤、刷盤驅(qū)動(dòng)件、刷盤搖擺動(dòng)力件、搖臂及搖臂升降驅(qū)動(dòng)件，刷盤對(duì)應(yīng)設(shè)置在吸盤上方并與刷盤搖臂固定連接，刷盤與刷盤動(dòng)力件連接，刷盤搖擺動(dòng)力件與搖臂連接，搖臂升降驅(qū)動(dòng)件與刷盤搖擺動(dòng)力件連接。該晶圓片刷洗甩干機(jī)構(gòu)通過(guò)定位平臺(tái)組件及刷洗組件相配合，能夠?qū)A片表面進(jìn)行自動(dòng)刷洗，刷洗后自動(dòng)甩干，從而保證了晶圓片后續(xù)貼片的平整度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及電子產(chǎn)品加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓片刷洗甩干機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)裝機(jī)量需求增長(zhǎng)迅猛，勞動(dòng)力短缺、人工成本不斷攀升，導(dǎo)致廠商對(duì)自動(dòng)化設(shè)備需求提升，對(duì)降低生產(chǎn)成本、提高產(chǎn)品良率有著顯著的效果。

現(xiàn)有的晶圓片(藍(lán)寶石片、硅片等)在進(jìn)行加工時(shí)需要進(jìn)行多道工序，如清洗、涂膠(涂蠟)、貼片、鏟片、存放等。晶圓片在貼片前需要在其表面滴蠟，滴蠟時(shí)需要保證晶圓片表面的清潔度，如果晶圓片表面含有雜質(zhì)，會(huì)影響后續(xù)貼片效果?，F(xiàn)有技術(shù)中，晶圓片貼片前一般都不進(jìn)行清洗，貼片時(shí)容易造成晶圓片表面不平整。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高、刷洗效果好、能夠保證貼片效果的晶圓片刷洗甩干機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型是通過(guò)如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：一種晶圓片刷洗甩干機(jī)構(gòu)，包括定位平臺(tái)組件及刷洗組件，所述定位平臺(tái)組件包括旋轉(zhuǎn)動(dòng)力件、旋轉(zhuǎn)平臺(tái)、吸盤、升降動(dòng)力件、升降座及保護(hù)罩，所述吸盤固定在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)與旋轉(zhuǎn)動(dòng)力件連接，旋轉(zhuǎn)動(dòng)力件可驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)及吸盤旋轉(zhuǎn)，所述保護(hù)罩套設(shè)在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)外，保護(hù)罩固定在升降座上，所述升降動(dòng)力件與升降座連接，升降動(dòng)力件可驅(qū)動(dòng)升降座及保護(hù)罩上下升降，從而使旋轉(zhuǎn)平臺(tái)進(jìn)入或脫出保護(hù)罩，所述刷洗組件包括刷盤、刷盤驅(qū)動(dòng)件、刷盤搖擺動(dòng)力件、搖臂及搖臂升降驅(qū)動(dòng)件，所述刷盤對(duì)應(yīng)設(shè)置在吸盤上方并與刷盤搖臂固定連接，刷盤與刷盤動(dòng)力件連接，所述刷盤動(dòng)力件可驅(qū)動(dòng)刷盤軸向旋轉(zhuǎn)，所述刷盤搖擺動(dòng)力件與搖臂連接，刷盤搖擺動(dòng)力件可驅(qū)動(dòng)搖臂及刷盤搖擺，所述搖臂升降驅(qū)動(dòng)件與刷盤搖擺動(dòng)力件連接，搖臂升降驅(qū)動(dòng)件可驅(qū)動(dòng)刷盤搖擺動(dòng)力件升降。

另外，刷洗組件一側(cè)還設(shè)置有千分表，用于調(diào)節(jié)搖臂升降驅(qū)動(dòng)件的升降幅度，并實(shí)時(shí)反饋其高度，從而調(diào)節(jié)刷洗效果。

為了進(jìn)一步防止清洗液飛濺，所述保護(hù)罩包括外罩及內(nèi)罩，所述外罩固定在支架上并套設(shè)在內(nèi)罩外，所述內(nèi)罩固定在升降座上并可隨升降座上下升降。

為了便于刷盤沾水，保證清洗效果，所述晶圓片刷洗甩干機(jī)構(gòu)還包括清洗水槽，所述清洗水槽固定在外罩上。

為了便于驅(qū)動(dòng)升降座升降，所述升降動(dòng)力件通過(guò)升降組件與升降座連接，所述升降組件包括升降架及導(dǎo)向桿，所述升降架與升降動(dòng)力件的伸縮桿連接，升降架通過(guò)若干導(dǎo)向桿與升降座固定連接。

本實(shí)用新型的有益效果是：該晶圓片刷洗甩干機(jī)構(gòu)通過(guò)定位平臺(tái)組件及刷洗組件相配合，能夠?qū)A片表面進(jìn)行自動(dòng)刷洗，刷洗后自動(dòng)甩干，從而保證了晶圓片后續(xù)貼片的平整度。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的晶圓片刷洗甩干機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的晶圓片刷洗甩干機(jī)構(gòu)去除保護(hù)罩后的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易被本領(lǐng)域人員理解，從而對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。