[實用新型]處理液容置裝置

有效

• 申請號: 201921305466.7
• 申請日: 2019-08-13
• 公開（公告）號: CN210365259U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 馮傳彰;郭承瑋
• 申請（專利權）人: 辛耘企業股份有限公司
• 主分類號: B65D88/74
• 分類號: B65D88/74;B65D90/24;B65D90/50
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;張燕華

本實用新型公開了一種處理液容置裝置，該裝置包括一槽體、一防漏單元和一冷液傳輸單元。槽體容置一處理液。防漏單元設置于槽體上側。冷液傳輸單元供一冷卻液流通，冷液傳輸單元包括一管體組、一第一固定端以及一第二固定端，管體組設置于槽體內，第一固定端以及第二固定端為管體組兩側且和防漏單元連接。當冷卻液由第一固定端或第二固定端中的至少之一泄漏時，冷卻液流至防漏單元。

技術領域

本實用新型涉及一種處理液容置裝置，特別涉及一種可以避免處理液被漏液污染，且可以立即檢知漏液的處理液容置裝置。

背景技術

在保存半導體制程所需的化學藥液時，通常會將化學藥液存放在具有冷卻功效的處理液槽中，以避免化學藥液受到高溫影響而變質。如圖1所示，一般的處理液槽900具有一槽體910和一U型的冷卻液管920。槽體910用來存放化學藥液。U型的冷卻液管920的兩端連接槽體910的頂部，冷卻液管920內部設有冷卻液；如此一來，槽體910內的化學藥液可接觸冷卻液管920表面而降溫。

然而，U型的冷卻液管920和槽體910的頂部的連接點可能因為熔接不確實或強度不足，使得冷卻液管920和槽體910頂部的連接點逐漸松脫而造成漏液，讓槽體910內的化學藥液濃度改變而影響制程良率；另外，連接點松脫而造成的漏液往往無法立即被檢知，故無法及時通報工作人員來維修處理液槽900。

因此，有必要提供一種可以避免化學藥液被漏液污染，并且可以立即檢知漏液的處理液槽。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種可以避免處理液被漏液污染，且可以立即檢知漏液的處理液容置裝置。

為達成上述的目的，本實用新型的一種處理液容置裝置包括一槽體、一防漏單元和一冷液傳輸單元。槽體容置一處理液。防漏單元設置于槽體上側。冷液傳輸單元供一冷卻液流通，冷液傳輸單元包括一管體組、一第一固定端以及一第二固定端，管體組設置于槽體內，第一固定端以及第二固定端為管體組兩側且和防漏單元連接。當冷卻液由第一固定端或第二固定端中的至少之一泄漏時，冷卻液流至防漏單元。

根據本實用新型的一實施例，其中管體組包括多個子管體，冷液傳輸單元還包括一間隔板，間隔板包括多個穿孔。多個穿孔相互間隔。多個子管體穿設于多個穿孔中，以使冷卻液流過多個子管體時，提高多個子管體與處理液的一冷熱交換面積。

根據本實用新型的一實施例，其中防漏單元包括一第一隔離槽以及一第二隔離槽，第一固定端設置于第一隔離槽且和一冷卻液供應管連通，第二固定端設置于第二隔離槽且和一冷卻液排出管連通。

根據本實用新型的一實施例，其中管體組環繞狀地設置于槽體內，以使管體組具有至少一相交點。

根據本實用新型的一實施例，其中防漏單元包括一第一液體檢測件以及一第二液體檢測件，第一液體檢測件設置于第一隔離槽，第二液體檢測件設置于第二隔離槽，以各自檢測判斷第一固定端和第二固定端是否發生漏液。

根據本實用新型的一實施例，其中防漏單元包括一第一排液管以及一第二排液管，第一排液管和第一隔離槽連通，第二排液管和第二隔離槽連通；當冷卻液由第一固定端或第二固定端中的至少一者泄漏時，冷卻液自第一排液管或第二排液管排出。

根據本實用新型的一實施例，其中防漏單元包括一第三液體檢測件以及一第四液體檢測件，第三液體檢測件設置于第一排液管外側，第四液體檢測件設置于第二排液管外側，以各自檢測判斷第一固定端和第二固定端是否發生漏液。