[實用新型]一種功率器件站立度測量夾具

有效

• 申請號: 201921297533.5
• 申請日: 2019-08-12
• 公開（公告）號: CN210452457U
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 梁磊;楊鵬;胡軍
• 申請（專利權）人: 重慶平偉實業股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;G01B11/02
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 尹麗云

本實用新型提供一種功率器件站立度測量夾具，包括：凹形基座，凹形基座的一內側嵌有至少一個定位凹槽，定位凹槽與待測器件形狀相匹配用于容納所述待測器件，其中，所述定位凹槽的下部為鏤空用于顯示所述待測器件的引腳；所述凹形基座的另一側貫穿有與所述定位凹槽相匹配的定位機構，所述定位機構利用彈性形變調節其伸縮行程從而控制是否壓緊所述待測器件。當將待測器件放入到定位凹槽時，使定位機構的彈性形變由壓縮到恢復原狀的伸長狀態，夾緊待測器件方便后續直接測量其引腳站立高度，本裝置結構簡單，操作簡便且成本低廉，能夠防止樣本在測量時發生傾斜導致測量不準，同時，可根據待測器件厚度隨意調節定位的導柱，提高了其通用性。

技術領域

本實用新型涉及半導體器件檢測技術領域，特別是涉及一種功率器件站立度測量夾具。

背景技術

現有技術中利用臺式放大鏡測量半導體功率器件站立度(即，引腳站立高度)時，半導體功率器件需垂直或平行于載物臺，否則會影響檢測結果。然而，現有半導體功率器件站立度測量時，需要使用雙面膠將該器件貼到一個長方體治具上，如圖1所示，雙面膠有一定厚度而且不能保證器件是完全垂直或平行于載物臺，導致測量的站立度(數據)不準確。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種功率器件站立度測量夾具，用于解決現有技術中因半導體功率器件放置傾斜，導致測量的站立度不準確的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種功率器件站立度測量夾具，包括：

凹形基座，

所述凹形基座的一內側嵌有至少一個定位凹槽，所述定位凹槽與待測器件形狀相匹配用于容納所述待測器件，其中，所述定位凹槽的下部為鏤空用于顯示所述待測器件的引腳；

所述凹形基座的另一側貫穿有與所述定位凹槽相匹配的定位機構，所述定位機構利用彈性形變調節其伸縮行程從而控制是否壓緊所述待測器件。

于本實用新型的一實施例中，所述定位機構的彈性形變處于壓縮時其行程收縮可放置所述待測器件；所述定位機構的彈性形變處于伸長時其行程伸長壓緊所述待測器件。

于本實用新型的一實施例中，所述定位機構包括定位塊、拉桿、導柱與彈簧，所述導柱貫穿于所述凹形基座的一側，所述拉桿連接在所述導柱的頂部，所述定位塊固定在所述導柱的底端；所述彈簧貫穿在所述導柱上依靠所述拉桿控制所述彈簧形變。

于本實用新型的一實施例中，所述拉桿表面均勻嵌有防滑的槽紋。

于本實用新型的一實施例中，所述定位塊為與待測器件表面的封裝體相符的金屬塊。

于本實用新型的一實施例中，所述拉桿末端連接有控制所述導柱上下活動的驅動機構。

于本實用新型的一實施例中，所述定位凹槽包括容納所述待測器件的引腳的第一定位凹槽與容納所述待測器件的封裝結構且與定位機構相匹配的第二定位凹槽，所述第一定位凹槽與第二定位凹槽相鄰設置。

于本實用新型的一實施例中，所述第一定位凹槽設有可容納防止所述待測器件傾斜的固定塊。

于本實用新型的一實施例中，所述第一凹槽與第二凹槽下部均為鏤空。

于本實用新型的一實施例中，利用臺式放大鏡或測量投影儀從定位凹槽的下部測量待測器件的引腳站立高度。

于本實用新型的一實施例中，所述待測器件為功率器件，所述功率器件包括電力二極管晶閘管、絕緣柵雙極型晶體管、功率晶體管、可關斷晶閘管或電力場效應管中任意一種。

如上所述，本實用新型的功率器件站立度測量夾具，具有以下有益效果：