[實用新型]一種移動式真空泵真空度測試系統

有效

• 申請號: 201921285496.6
• 申請日: 2019-08-08
• 公開（公告）號: CN210317718U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 張濤;陶偉;朱顏
• 申請（專利權）人: 全椒南大光電材料有限公司
• 主分類號: F04B51/00
• 分類號: F04B51/00;G01L21/00
• 代理公司: 合肥市浩智運專利代理事務所(普通合伙) 34124
• 代理人: 張祥

本實用新型提供了一種移動式真空泵真空度測試系統，包括集成于一移動推車上的真空泵、與真空泵散熱管道連通的水冷單元、能夠與供氣系統連接對真空泵內部進行清理的吹氣單元和與真空泵進氣口連通的測試單元，測試單元與真空泵之間設置有第一閥門。本實用新型提供的移動式真空泵真空度測試系統的優點在于：系統結構簡單，能夠根據真空泵位置方便的進行組裝，測試方便，數據準確，提高生產安全。

技術領域

本實用新型涉及真空泵的真空度標定技術領域，尤其涉及一種移動式真空泵真空度測試系統。

背景技術

作為集成電路產業關鍵原材料的高純特種氣體，不僅在集成電路產業中占有重要的地位，其在太陽能光伏、平面顯示器、化合物半導體器件、石油化工、光纖通訊也都有著不可或缺的作用，廣泛應用在薄膜、摻雜、刻蝕、擴散、氣相沉積等工藝中。隨著科學技術的發展，對于高純特種氣體的品質要求也越來越高，一般對于氣體的純度要求要大于99.9999％，其雜質總濃度不高于1ppm。

高純特種氣體的運輸是借助鋼瓶等壓力容器，通常將氣體通過管道輸送，盛裝于鋼瓶內，如果連接管道或在生產中反應釜內真空度達不到要求，將會使管道、反應釜壓力升高，從而使得生產中極易發生爆炸的危險，真空泵的真空度直接決定反應釜的真空度，為了確保生產安全，需要定期檢查真空泵的真空度是否符合要求。目前對于正常使用狀態的真空泵的檢測是將真空泵轉移到生產區域的通風櫥內，通過連接供氣管路進行測試，目前在對真空泵進行測試時，一般是將其轉移到生產區域的通風櫥內并連接管道進行測試，這種環境下存在一定的氣體泄漏的風險，有可能威脅生產區域內的作業人員的人身安全。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種能夠便捷的測量真空泵的真空度是否滿足要求并且便于轉移的真空度測試系統。

本實用新型是通過以下技術方案解決上述技術問題的：

一種移動式真空泵真空度測試系統，包括集成于一移動推車上的真空泵、與真空泵散熱管道連通的水冷單元、能夠與供氣系統連接對真空泵內部進行清理的吹氣單元和與真空泵進氣口連通的測試單元，測試單元與真空泵之間設置有第一閥門。

優選的，所述水冷單元包括水箱、與水箱連接的循環泵、與循環泵連通的壓縮機，壓縮機與真空泵的散熱管道連通向真空泵供水，真空泵的出水回到水箱內。

優選的，所述吹氣單元包括與真空泵排氣口連通的尾氣處理機構和與供氣系統連接的第二閥門，所述尾氣處理機構所在管路上還設置有第三閥門。

優選的，所述供氣系統向真空泵提供氮氣。

優選的，所述第二閥門所在管路上還設置有壓力表。

優選的，所述供氣機構工作時，壓力表數值為0.1MPa～0.2MPa。

優選的，所述測試單元包括通過氣管與真空泵連接的皮拉尼真空規和與皮拉尼真空規通信連接的真空數顯表。

本實用新型提供的移動式真空泵真空度測試系統的優點在于：系統結構簡單，將真空泵與系統配合后能夠方便的移動到安全位置進行檢測，保障作業人員安全，測試方便，數據準確，提高生產安全。

附圖說明

圖1為本實用新型的實施例所提供的移動式真空泵真空度測試系統的示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚明白，以下結合具體實施例，并參照附圖，對本實用新型作進一步的詳細說明。