[實用新型]一種全自動硅片超聲波清洗機

有效

• 申請號: 201921282068.8
• 申請日: 2019-08-08
• 公開（公告）號: CN210546733U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 孫景平
• 申請（專利權）人: 張家港市保德興超聲設備有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/14;B08B13/00
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 李宏偉

1.一種全自動硅片超聲波清洗機，包括上料人員，其特征在于：所述上料人員的右側放置有機體，且機體的內部左側固定有上料傳送，并且上料傳送的后側固定有整機電控柜，所述上料傳送的右側安裝有超聲波振板，且超聲波振板的下端前側開設有法蘭掏渣孔，并且超聲波振板的兩側均固定有電加熱管，所述超聲波振板的上端左側固定有進水管路，所述機體的內部前下端固定有擺動主動軸，且機體的下端表面安裝有可調節地腳，所述超聲波振板的右側上端設置有慢拉提升機，且慢拉提升機與機體內部相互固定，并且慢拉提升機的側邊設置有慢拉平移小車，所述機體的內部右側后端固定有吹風風機，且機體的內部右側前端安裝有下料傳動，所述下料傳動的上端固定有石英加熱管，所述機體的右側安排有下料人員，所述慢拉平移小車的上端固定有平移導軌，且平移導軌的前側下端安裝有拋動驅動電機，并且拋動驅動電機的上端安裝有拋動導軌，所述拋動驅動電機的前端固定有偏心輪，所述平移導軌的上端安裝有平移支架，且平移支架與機體的內部上端相互連接，并且機體的上端表面安裝有吸霧風機，所述平移支架的前側設置有提升傳動軸，且提升傳動軸與機體相互固定，并且提升傳動軸的前端安裝有縱向提升架，所述機體的前端壁面嵌接安裝有可視觀察窗。

2.如權利要求1所述的一種全自動硅片超聲波清洗機，其特征在于：所述機體內部個超聲波振板的超聲波總功率為14.4KW，同時超聲波振板的超聲波頻率為40KHZ。

3.如權利要求1所述的一種全自動硅片超聲波清洗機，其特征在于：所述超聲波振板關于機體的內部等間距設置有六個，且超聲波振板為SUS316L 2.0mm不銹鋼板材質，并且超聲波振板工作表面電鍍硬鉻處理。

4.如權利要求1所述的一種全自動硅片超聲波清洗機，其特征在于：所述進水管路的安裝位置與超聲波振板的安裝位置相互對應，且進水管路的安裝個數與超聲波振板的安裝個數相同，并且超聲波振板等間距固定在機體的內部前端左側。

5.如權利要求1所述的一種全自動硅片超聲波清洗機，其特征在于：所述慢拉平移小車通過上端的平移導軌和平移支架與機體組成活動結構。

6.如權利要求1所述的一種全自動硅片超聲波清洗機，其特征在于：所述石英加熱管等間距固定在機體的內部右側，且石英加熱管的空氣加熱功率為15KW。