[實用新型]一種非接觸式靜電檢測器校準(zhǔn)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921279366.1 | 申請日： | 2019-08-08 |
| 公開（公告）號： | CN210514599U | 公開（公告）日： | 2020-05-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 孫衛(wèi)星;楊慶瑞;李鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海安平靜電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R35/00 | 分類號： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 200233 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 接觸 靜電 檢測器 校準(zhǔn) 裝置 | ||
1.一種非接觸式靜電檢測器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，包括：
支撐架(1)；
平板校準(zhǔn)電極(2)，所述平板校準(zhǔn)電極(2)水平放置，且所述平板校準(zhǔn)電極(2)的一側(cè)設(shè)有多個絕緣固定件(3)，所述絕緣固定件(3)的一端與所述平板校準(zhǔn)電極(2)連接，另一端與所述支撐架(1)連接；
測試臂(4)，所述測試臂(4)上設(shè)有用于安裝非接觸式靜電檢測器的安裝部(5)，且所述安裝部(5)置于所述平板校準(zhǔn)電極(2)上方的中心位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式靜電檢測器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述支撐架(1)包括方形框架(11)及沿所述方形框架(11)的對角設(shè)置的第一支架(12)和第二支架(13)，所述支撐架(1)連接有地線。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的非接觸式靜電檢測器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述平板校準(zhǔn)電極(2)的一側(cè)設(shè)有五個所述絕緣固定件(3)；
所述平板校準(zhǔn)電極(2)的中心與所述絕緣固定件(3)的一端連接，所述絕緣固定件(3)的另一端與所述第一支架(12)和所述第二支架(13)的交叉處連接；
所述平板校準(zhǔn)電極(2)周向均勻分布四個所述絕緣固定件(3)，其中兩個所述絕緣固定件(3)相對所述平板校準(zhǔn)電極(2)的中心對稱安裝于所述第一支架(12)上，另兩個所述絕緣固定件(3)相對所述平板校準(zhǔn)電極(2)的中心對稱安裝于所述第二支架(13)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式靜電檢測器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述絕緣固定件(3)包括圓柱形的四氟固定件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式靜電檢測器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述平板校準(zhǔn)電極(2)的材質(zhì)為不銹鋼，且所述平板校準(zhǔn)電極(2)的表面呈鏡面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式靜電檢測器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述測試臂(4)的一端連接有驅(qū)動所述測試臂(4)升降的第一驅(qū)動組件(6)，所述測試臂(4)的另一端設(shè)置所述安裝部(5)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的非接觸式靜電檢測器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動組件(6)包括電機(61)、絲桿和與所述絲桿匹配連接的絲母(62)，所述電機(61)的輸出端與所述絲桿的一端連接，所述測試臂(4)與所述絲母(62)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式靜電檢測器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述支撐架(1)的外圍設(shè)有防護(hù)架(7)，且所述防護(hù)架(7)與所述支撐架(1)一體連接，所述防護(hù)架(7)的高度高于所述平板校準(zhǔn)電極(2)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸式靜電檢測器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述平板校準(zhǔn)電極(2)連接有直流高壓電源(8)。
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