[實用新型]一種高溫度穩(wěn)定性的聲表波濾波器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921256970.2
• 申請日: 2019-08-05
• 公開（公告）號: CN210986061U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉紹侃;蔣燕港;盧翠;李強
• 申請（專利權(quán)）人: 北京中訊四方科技股份有限公司;深圳華遠微電科技有限公司
• 主分類號: H03H9/64
• 分類號: H03H9/64;H03H9/02
• 代理公司: 深圳市恒申知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44312
• 代理人: 李倩竹

本實用新型公開了一種高溫度穩(wěn)定性的聲表波濾波器。所述聲表波濾波包括壓電基底，至少具有一平面；叉指換能器電極，所述叉指換能器電極是固定設(shè)置在所述壓電基底的所述平面上；絕緣保護層，所述絕緣保護層具有相對的兩個表面，其中一表面層疊結(jié)合在所述壓電基底的所述平面上，并覆蓋所述叉指換能器電極；另一表面上形成有若干間隔分布的凸起。所述聲表波濾波器具有低的頻率溫度系數(shù)和低的瑞利波寄生響應(yīng)現(xiàn)象，而且具有工作性能穩(wěn)定性和使用壽命長等優(yōu)點。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高溫度穩(wěn)定性的聲表波濾波器。

背景技術(shù)

聲表面波是指聲波在彈性體表面的傳播，這個波被稱為彈性聲表面波。聲表面波的傳播速度比電磁波的速度約小10萬倍。聲表面波濾波器普遍采用石英晶體、壓電陶瓷等壓電材料，利用其壓電效應(yīng)和聲表面波傳播的物理特性而制成的一種濾波專用器件。所謂壓電效應(yīng)，即是當(dāng)晶體受到機械作用時，將產(chǎn)生與壓力成正比的電場的現(xiàn)象。具有壓電效應(yīng)的晶體，在受到電信號的作用時，也會產(chǎn)生彈性形變而發(fā)出機械波(聲波)，即可把電信號轉(zhuǎn)為聲信號。由于這種聲波只在晶體表面?zhèn)鞑ィ史Q為聲表面波。

聲表面波濾波器的英文縮寫為SAWF，聲表面波濾波器具有體積小，重量輕、性能可靠、不需要復(fù)雜調(diào)整。在有線電視系統(tǒng)中實現(xiàn)鄰頻傳輸?shù)年P(guān)鍵器件。聲表面波濾波器具有頻率響應(yīng)平坦、矩形系數(shù)好和可以用放大器補償電平損失等優(yōu)點。因此，所述聲表面波濾波器在通訊和視頻領(lǐng)域得到了廣發(fā)的應(yīng)用。

20世紀(jì)末的海灣戰(zhàn)爭是現(xiàn)代新型戰(zhàn)爭的起點，其中信息高速傳輸與對抗起到了關(guān)鍵作用，對信息高速傳輸?shù)目刂疲乾F(xiàn)代新型戰(zhàn)爭敵我雙方爭奪的新制高點。基于SAWF的優(yōu)點，SAWF成為軍事信息傳輸和對抗設(shè)備也包括民用信息傳輸設(shè)備中的重要頻率元器件。但由于常規(guī)SAWF濾波器的頻率溫度系數(shù)的影響，在考慮實際應(yīng)用，設(shè)計時需要大幅增加通帶寬度，這樣不可避免地占用大量寶貴的頻譜資源。而且由于常規(guī)SAWF濾波器頻率溫度系數(shù)大，在溫度變化大的軍事和民生應(yīng)用環(huán)境中，常規(guī)SAWF濾波器電性能的變化會惡化軍事和民生裝備性能指標(biāo)。例如SAWF濾波器是相控陣雷達T/R通道中的重要元器件，相控陣雷達各T/R通道因發(fā)熱或者受外界環(huán)境的影響出現(xiàn)較大溫度變化，導(dǎo)致常規(guī)SAWF因頻率溫度系數(shù)大出現(xiàn)頻率漂移等電性能參數(shù)變化，從而引起相控陣雷達各信道單元相位變化，進而影響相控陣雷達的整體電性能。另外發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的SAWF濾波器還存在瑞利波寄生響應(yīng)現(xiàn)象。

雖然也有公開在現(xiàn)有SAWF濾波器中也于叉指上覆蓋一層保護層，但是其保護層僅僅是為了起到保護作用，不能夠有效解決SAWF濾波器的瑞利波寄生響應(yīng)現(xiàn)象，也不能夠降低有SAWF濾波器的頻率溫度系數(shù)大的問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的所述不足，提供一種高溫度穩(wěn)定性的聲表波濾波器，以解決現(xiàn)有SAWF存在的溫度系數(shù)大而導(dǎo)致出現(xiàn)頻率漂移等電性能參數(shù)變化的不足。

為了實現(xiàn)所述實用新型目的，本實用新型一方面，提供了一種高溫度穩(wěn)定性的聲表波濾波器。所述高溫度穩(wěn)定性的聲表波濾波器包括：

壓電基底，至少具有一平面；

叉指換能器電極，所述叉指換能器電極是固定設(shè)置在所述壓電基底的所述平面上；

絕緣保護層，所述絕緣保護層具有相對的兩個表面，其中一表面層疊結(jié)合在所述壓電基底的所述平面上，并覆蓋所述叉指換能器電極；另一表面上形成有若干間隔分布的凸起。

優(yōu)選地，單個所述凸起的頂部寬度小于根部寬度，且單個所述凸起的側(cè)面為斜面。

優(yōu)選地，單個所述凸起的所述頂部寬度與所述根部寬度的比值為0.3-0.4。

優(yōu)選地，相鄰所述凸起之間的間距為0.3-0.8μm，且所述兩相鄰?fù)蛊痖g距與相鄰金屬叉指條間距一致。

優(yōu)選地，所述凸起的高度為1.0-1.1μm。