[實(shí)用新型]一種晶圓激光開槽裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921254512.5
• 申請日: 2019-08-05
• 公開（公告）號: CN210548930U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 程勇
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳泰研半導(dǎo)體裝備有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/067
• 代理公司: 深圳市神州聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44324
• 代理人: 周松強(qiáng)

1.一種晶圓激光開槽裝置，其特征在于其包括激光器、第一光闌、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡、第二光闌、反射鏡、衍射分光鏡、電動旋轉(zhuǎn)位移臺、聚焦鏡和運(yùn)動平臺，所述激光器、第一光闌、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡、第二光闌和反射鏡沿水平方向同軸設(shè)置，所述衍射分光鏡、電動旋轉(zhuǎn)位移臺、聚焦鏡和運(yùn)動平臺由上至下依次同軸設(shè)置在反射鏡的下方，且所述衍射分光鏡安裝在電動旋轉(zhuǎn)位移臺上，待加工晶圓放置于運(yùn)動平臺上；

激光器發(fā)射出激光束，激光束依次經(jīng)過第一光闌、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡、第二光闌、反射鏡和衍射分光鏡，衍射分光鏡輸出兩束性質(zhì)相同的激光束，再經(jīng)過聚焦鏡，兩束激光束聚焦于放置在運(yùn)動平臺上的待加工晶圓上形成兩個聚焦光斑，通過旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)位移臺控制衍射分光鏡的旋轉(zhuǎn)角度，改變兩個聚焦光斑與垂直于切割道方向的夾角，進(jìn)而控制兩個聚焦光斑沿垂直切割道方向的距離，即可改變切割道的間距。

2.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓激光開槽裝置，其特征在于所述衍射分光鏡中心與電動旋轉(zhuǎn)位移臺的旋轉(zhuǎn)中心重合。

3.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓激光開槽裝置，其特征在于所述反射鏡為45°全反射鏡。

4.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓激光開槽裝置，其特征在于所述兩個聚焦光斑在待加工晶圓上的距離為Dmax，所述兩個聚焦光斑在待加工晶圓上沿垂直切割道方向的距離為D，兩個聚焦光斑與垂直于切割道方向的夾角為θ，旋轉(zhuǎn)衍射分光鏡，改變兩個聚焦光斑與垂直于切割道方向的夾角，使得兩個聚焦光斑沿垂直切割道方向的距離D可以得到控制，變化范圍是0～Dmax，并且可連續(xù)變化。

5.如權(quán)利要求4所述的一種晶圓激光開槽裝置，其特征在于當(dāng)電動旋轉(zhuǎn)位移臺旋轉(zhuǎn)至初始位置，此時兩個聚焦光斑在待加工晶圓上的切割道方向的距離最大，即切割道間距最大；當(dāng)旋轉(zhuǎn)衍射分光鏡，改變兩個聚焦光斑與垂直于切割道方向的夾角，兩個聚焦光斑沿垂直切割道方向的距離變小。

6.如權(quán)利要求4所述的一種晶圓激光開槽裝置，其特征在于兩個聚焦光斑的間距為Dmax為50um，單個聚焦光斑的劃線切割寬度為10um。