[實用新型]一種電容傳感器

有效

• 申請號: 201921252092.7
• 申請日: 2019-08-05
• 公開（公告）號: CN209355951U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 詹竣凱;羅松成
• 申請（專利權）人: 共達電聲股份有限公司;深圳市共達電聲科技有限公司
• 主分類號: G01D5/241
• 分類號: G01D5/241
• 代理公司: 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288
• 代理人: 陶潔雯

1.一種電容傳感器，包括感測膜、背極板以及用于支撐所述感測膜和所述背極板的基板，所述感測膜包括用于接收外部信號而振動的振動部和環設于所述振動部外周以用于與所述基板連接的安裝部，其特征在于，所述振動部和所述安裝部之間設有通孔，所述背極板包括與所述振動部相對設置形成電容的主體部和從所述主體部朝向所述基板延伸的延伸部，所述延伸部穿過所述通孔后與所述基板連接。

2.如權利要求1所述的電容傳感器，其特征在于，所述延伸部包括與所述主體部連接并向所述振動部延伸的第一連接件、與所述基板連接并向所述振動部延伸的第二連接件以及連接于所述第一連接件與所述第二連接件之間的第三連接件，所述第二連接件與所述基板之間絕緣。

3.如權利要求1所述的電容傳感器，其特征在于，所述延伸部的數量與所述通孔的數量相同，且各所述延伸部沿所述主體部的周向均勻間隔設置，每個所述延伸部分別穿過相應所述通孔后與所述基板連接。

4.如權利要求1或2所述的電容傳感器，其特征在于，所述感測膜還包括設于所述振動部與所述安裝部之間的應力分散部，所述應力分散部設有若干用于釋放應力的通槽，所述通孔設于所述應力分散部與所述振動部之間。

5.如權利要求4所述的電容傳感器，其特征在于，所述感測膜還包括若干連接于所述應力分散部與所述振動部之間的連接部，相鄰兩所述連接部與所述應力分散部和所述振動部共同圍合形成一所述通孔。

6.如權利要求4所述的電容傳感器，其特征在于，定義所述振動部的振動方向為所述電容傳感器的軸向，所述背極板之所述主體部與所述感測膜之所述振動部正對，且所述主體部沿所述軸向在所述感測膜上的投影位于所述應力分散部的內側。

7.如權利要求4所述的電容傳感器，其特征在于，所述安裝部的厚度大于所述應力分散部的厚度，所述應力分散部的剛性低于所述振動部的剛性。

8.如權利要求5所述的電容傳感器，其特征在于，所述應力分散部包括若干個間隔設置的振動彈簧，每個所述振動彈簧的一端與所述連接部遠離所述振動部的一端連接、另一端沿所述振動部的周向延伸至所述安裝部。

9.如權利要求8所述的電容傳感器，其特征在于，每個所述振動彈簧包括沿周向延伸的第一半簧和第二半簧，所述第一半簧遠離所述第二半簧的一端與所述連接部連接，所述第一半簧與相鄰兩所述連接部及所述振動部共同圍合形成一所述通孔，所述第二半簧遠離所述第一半簧的一端與所述安裝部連接，且所述第二半簧位于一相鄰所述振動彈簧之所述第一半簧與所述安裝部部之間，所述通槽包括設于所述第一半簧與一相鄰所述振動彈簧之所述第二半簧之間的第一開槽。

10.如權利要求9所述的電容傳感器，其特征在于，所述通槽還包括設于所述第二半簧與所述安裝部之間的第二開槽，所述第二開槽的槽壁上設有防粘結構。