[實用新型]一種自動稱重晶體提拉生長裝置

有效

• 申請號: 201921252044.8
• 申請日: 2019-08-02
• 公開（公告）號: CN210683992U
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 胡衛東;楊利濤;劉侃;王冬
• 申請（專利權）人: 合肥嘉東光學股份有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119
• 代理人: 黃樂瑜

1.一種自動稱重晶體提拉生長裝置，其特征在于，包括支架(11)、升降機構，旋轉機構、稱重機構(17)、生長爐和控制器；

升降機構包括導向柱(12)、滑輪(13)、提拉繩(14)、連接桿(15)和收卷組件(16)，稱重機構(17)安裝在支架(11)上，滑輪(13)轉動安裝在稱重機構(17)上，提拉繩(14)繞過滑輪(13)與收卷組件(16)固定連接，收卷組件(16)安裝在支架(11)上，提拉繩(14)另一端與連接桿(15)固定連接，連接桿(15)第一端與導向柱(12)滑動連接，導向柱(12)豎直布置；

旋轉機構包括電機(18)和籽晶桿(19)，電機(18)安裝在連接桿(15)第二端頂部，電機(18)的輸出軸貫穿連接桿(15)并與籽晶桿(19)第一端可拆卸固定，籽晶桿(19)第二端設有用于裝夾籽晶的夾頭；

生長爐包括爐體，爐體具有爐腔，爐腔內設有坩堝，稱重機構信號連接控制器，控制器分別控制連接收卷組件(16)、爐體和電機(18)。

2.根據權利要求1所述的自動稱重晶體提拉生長裝置，其特征在于，爐體包括殼體(1)、內筒體(8)和至少一個隔熱氈(4)，內筒體(8)采用絕緣保溫材料制成，隔熱氈(4)設置在內筒體(8)內并將內筒體(8)隔成多個溫度區，隔熱氈(4)中部均設有用于容納籽晶桿和晶體通過的通孔，每個溫度區設有用于測量該溫度區溫度的溫度傳感器；

每個溫度區的內筒體(8)內側上均設有用于加熱該溫度區的加熱組件，每個溫度區對應的內筒體(8)和殼體(1)之間設有用于冷卻該溫度區的冷卻組件，每個溫度區內設有至少一個導熱桿(7)，導熱桿(7)穿過內筒體(8)與冷卻組件固定連接；

溫度傳感器信號連接控制器，控制器分別控制連接每個溫度區的加熱組件和冷卻組件。

3.根據權利要求2所述的自動稱重晶體提拉生長裝置，其特征在于，加熱組件包括環設于內筒體(8)內側的發熱體(10)和環設于發熱體(10)和內筒體(8)內壁之間的感應加熱圈(9)，控制器控制連接感應加熱圈(9)。

4.根據權利要求2所述的自動稱重晶體提拉生長裝置，其特征在于，冷卻組件包括冷卻管道(5)，冷卻管道(5)底部設有進液口，冷卻管道(5)上端設有出液口，冷卻管道(5)上設有散熱板(6)，導熱桿(7)與散熱板(6)固定連接。

5.根據權利要求3所述的自動稱重晶體提拉生長裝置，其特征在于，還包括循環組件，循環組件包括冷水箱、循環泵和冷凝器，冷水箱、循環泵和進液口依次通過管道連接，出液口、冷凝器和冷水箱依次通過管道連接，循環泵和進液口之間的管道上設有進液閥，出液閥和進液口之間的管道上設有流量調節閥，出液口和冷凝器之間的管道上設有出液閥，控制器分別控制連接循環泵、進液閥、出液閥、冷凝器和流量調節閥。

6.根據權利要求3所述的自動稱重晶體提拉生長裝置，其特征在于，殼體內側依次設有第一保溫層(2)和第二保溫層(3)，每一個冷卻組件的冷水管道(5)的進液端設置在第一保溫層(2)和第二保溫層(3)之間。