[實用新型]一種鏡筒的安裝底座有效
| 申請號: | 201921247237.4 | 申請日: | 2019-08-05 |
| 公開(公告)號: | CN210605356U | 公開(公告)日: | 2020-05-22 |
| 發明(設計)人: | 李波;章衛平;李偉成;張雷 | 申請(專利權)人: | 源能智創(江蘇)半導體有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215399 江蘇省蘇州市昆山市玉*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 安裝 底座 | ||
一種鏡筒的安裝底座,其包括安裝固定孔,所述鏡筒通過所述安裝固定孔固定于所述底座,其還包括安裝拆卸孔,所述安裝固定孔和所述安裝拆卸孔設置于所述座體,彼此連通,所述安裝拆卸孔位于安裝固定孔的至少一側。利用安裝拆卸孔,可以方便的安裝和取出鏡頭,無需通過拆解的方式取出鏡頭。
技術領域:
本實用新型涉及一種鏡筒的安裝結構,尤其是一種針對下部較大的鏡筒的安裝結構。
背景技術:
直寫式曝光是用于在襯底表面上印刷具有特征的構圖,相比于傳統的掩膜版和菲林底片等曝光的影像直接轉移技術,直寫式曝光技術產能高,對位精度高。在半導體及PCB生產領域有著非常重要的作用。
直寫曝光機包括底座、龍門機構、曝光鏡頭、對位系統、多軸運動平臺和基板平臺。所述底座上設置有所述龍門機構和多軸運動平臺,所述多軸運動平臺上設置有所述基板平臺,所述龍門機構上固定所述對位系統和所述曝光鏡頭。目前直寫曝光機是在龍門機構上根據曝光鏡頭的數量和尺寸對應設孔,每個曝光鏡頭對應一個孔,這樣的方式可以較好的固定曝光鏡頭,但是對于下部結構較大的曝光鏡頭,安裝拆卸都非常繁瑣,需要將曝光鏡頭拆解才能取下。因此,有必要提供一種方便拆卸的曝光鏡頭安裝結構,方便鏡頭的安裝和后期的維護。
發明內容:
本實用新型所要解決的技術問題是提供一種便捷的曝光鏡頭安裝結構。
為了實現上述目的,本實用新型提供一種鏡筒的安裝底座,其包括安裝固定孔,所述鏡筒通過所述安裝固定孔固定于所述底座,其還包括安裝拆卸孔,所述安裝固定孔和所述安裝拆卸孔設置于所述座體,彼此連通,所述安裝拆卸孔位于安裝固定孔的至少一側。
進一步的,所述安裝拆卸孔位于所述安裝固定孔的兩側。
進一步的,所述安裝拆卸孔和安裝固定孔兩側的所述底座上設有滑軌。
進一步的,所述滑軌上設有滑塊。
進一步的,所述鏡筒固定于所述滑塊。
進一步的,所述安裝拆卸孔的形狀是方形、圓形或菱形。
與現有技術相比,利用安裝拆卸孔,可以方便的安裝和取出鏡頭,無需通過拆解的方式取出鏡頭。
附圖說明:
圖1是鏡筒安裝底座第一實施例示意圖。
圖2是第一實施例安裝底座示意圖。
圖3是鏡筒安裝底座第二實施例示意圖。
圖4是第二實施例鏡筒和導軌結構示意圖。
圖5是第二實施例安裝底座示意圖。
具體實施方式:
為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚明了,下面通過附圖中示出的具體實施例來描述本實用新型。
如圖1-2所示,本實用新型的第一實施例,涉及一種鏡筒1的安裝底座2,所述鏡筒1包括安裝固定件10、位于所述安裝固定件10上部的第一鏡筒11、位于所述安裝固定件10下部的第二鏡筒(未示出)。所述安裝底座2包括座體20,安裝固定孔21和安裝拆卸孔22,所述安裝固定孔21和所述安裝拆卸孔22設置于所述座體20,彼此連通。所述安裝固定孔21用于將所述鏡筒1固定于所述座體20,所述安裝拆卸孔22用于將所述鏡筒1從所述座體20取出。所述安裝拆卸孔22可以安裝于所述安裝固定孔21的一側或者兩側。
所述安裝固定孔21為條狀,多個所述鏡筒1沿其長度方向順序安裝排列,所述鏡筒1的安裝固定件10的長度大于所述安裝固定孔21的寬度,所述安裝固定件10橫跨所述安裝固定孔21,并固定于所述安裝底座20。
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