[實用新型]一種原位物性測試系統

有效

• 申請號: 201921244984.2
• 申請日: 2019-08-02
• 公開（公告）號: CN210572372U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 馮加貴;武彪;熊康林;孫駿逸;黃永丹;任毅;丁孫安;陸曉鳴;芮芳
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: G01Q60/00
• 分類號: G01Q60/00;G01Q30/10;G01Q30/16;G01N21/84;G01N21/11
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種原位物性測試系統，包括稀釋制冷機(1)，其特征在于，還包括：

真空測試部件(5)，其包括用于放置樣品的真空測試腔，及對所述樣品進行測試的測試單元；

快速進樣室(2)、插桿組件(3)，所述插桿組件(3)的一端伸入所述快速進樣室(2)內并與所述快速進樣室(2)可拆卸地密封連接，所述插桿組件(3)能夠軸向移動以使所述真空測試部件(5)進入或脫離所述稀釋制冷機(1)；

真空設備，能夠提供真空環境或惰性氣體環境，用于連接真空樣品制備設備，所述真空測試部件(5)選擇性地置于所述真空設備內或從所述真空設備內取出以可拆卸地連接于所述插桿組件(3)伸入所述快速進樣室(2)內的一端；

插板閥(4)，其一端與所述稀釋制冷機(1)連通，另一端密封連接于所述快速進樣室(2)，所述插板閥(4)能夠選擇性地控制所述稀釋制冷機(1)與所述快速進樣室(2)連通或斷開；

抽真空單元，用于對所述快速進樣室(2)進行抽真空。

2.根據權利要求1所述的原位物性測試系統，其特征在于，所述真空測試腔上設有進出氣口，所述進出氣口設有閥門(55)。

3.根據權利要求2所述的原位物性測試系統，其特征在于，所述插桿組件(3)包括操作桿(34)，所述操作桿(34)的一端連接于所述閥門(55)，另一端從所述快速進樣室(2)的一端穿出且與所述快速進樣室(2)密封連接，所述操作桿(34)被配置為控制所述閥門(55)動作以使所述真空測試腔與所述快速進樣室(2)連通或斷開。

4.根據權利要求3所述的原位物性測試系統，其特征在于，還包括送氣單元，所述送氣單元用于將氦氣送入所述快速進樣室(2)內。

5.根據權利要求3所述的原位物性測試系統，其特征在于，所述快速進樣室(2)包括能夠軸向伸縮的波紋管；所述插桿組件(3)還包括：

第一法蘭(31)，所述波紋管的一端與所述第一法蘭(31)可拆卸地密封連接，另一端連接于所述插板閥(4)；

多個連接桿(33)，每個所述連接桿(33)的一端與所述第一法蘭(31)密封連接，另一端連接有連接盤(35)。

6.根據權利要求5所述的原位物性測試系統，其特征在于，所述測試單元的一端連接有引出接頭(53)，所述引出接頭(53)伸出所述真空測試腔并與所述連接盤(35)可拆卸電連接。

7.根據權利要求1所述的原位物性測試系統，其特征在于，所述真空測試腔包括樣品腔(52)和與其可拆卸密封連接的安裝頂蓋(51)。