[實用新型]一種半導體冷卻管加工用工裝

有效

• 申請號: 201921244008.7
• 申請日: 2019-08-02
• 公開（公告）號: CN210451875U
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 邵佳;康樂樂;黃國峰
• 申請（專利權）人: 靖江佳仁半導體科技有限公司
• 主分類號: B23Q3/06
• 分類號: B23Q3/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種半導體冷卻管加工用工裝，屬于半導體加工領域。本實用新型包括安裝在底板上的兩組相同的加工組件，加工組件包括設置在同一軸線上的回轉氣缸、定位組件、支撐架、氣動尾架，冷卻管放置在支撐架上，通過冷卻管兩端的回轉氣缸和氣動尾架相互配合，從而實現加工過程中對冷卻管的裝夾。本裝置每次能夠裝夾兩根冷卻管進行加工，并且將加工、檢測兩道工序合并成一道工序，加工效率翻倍。

技術領域

本實用新型涉及屬于半導體加工領域，具體涉及一種半導體冷卻管加工用工裝。

背景技術

水冷卡盤是IC刻蝕工藝腔室溫度控制的核心部件。水冷卡盤冷卻液的冷卻管的加工及結構直接影響了刻蝕過程中藍寶石片及刻蝕腔內的溫度控制。氦氣從水冷卡盤上層的氣孔進入托盤，實現了藍寶石片的冷卻；同時從冷卻卡盤下層水道內通過的冷卻管往藍寶下面腔體的部分上面噴冷卻水，水流帶走刻蝕腔內的熱量，從而實現溫度控制。因此冷卻管加工的好壞直接影響了水冷卡盤，影響晶圓刻蝕的良品率。現有技術中，一般采用數控分度頭來加工金屬管壁鉆孔的工序，該分度頭具有價格昂貴，旋轉緩慢(一般20秒/1圈)，一次只能裝夾一根等缺點。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種能夠實現多組冷卻管加工的裝置。

本實用新型的技術方案是：一種半導體冷卻管加工用工裝，包括底板，底板的一端設有豎直固定的回轉氣缸安裝板，底板上還固定設置有兩組相同的加工組件，加工組件包括設置在同一軸線上的回轉氣缸、定位組件、支撐架、氣動尾架，定位組件固定安裝于回轉氣缸的缸體上，缸體上設有刻度，定位組件包括定位板、頂尖、彈簧、悶蓋，定位板的中間向外凸出，中心位置內設有用于容置頂尖的臺階形通孔，頂尖包括一體成型頂尖本體、限位板、彈簧軸，頂尖本體的最前端設有與冷卻管相匹配的倒角，頂尖本體、限位板的外徑與臺階形通孔的內徑相匹配，頂尖安裝于定位板內，彈簧設置在頂尖與悶蓋之間，并套設在彈簧軸上，悶蓋與定位板固定連接；支撐架包括通過支撐條固定連接的一組支撐塊，支撐塊上方固定連接有Y型支撐板，Y型支撐板與頂尖位于同一軸線上；氣動尾架包括尾座本體，設置在尾座本體上的氣缸，氣缸的頂針套筒突出于尾座本體設置，尾座本體通過底端的定位塊固定在底座上，頂針套筒上設有頂針，頂針與頂尖位于同一軸線上，頂針的頂端與冷卻管的倒角相匹配。

進一步的技術方案，加工組件平行的設置在底板上，回轉氣缸固定在回轉氣缸安裝板上。

進一步的技術方案，支撐條上還設有傳感器底座，傳感器底座上設有對稱的傳感器。

本實用新型的有益效果：

1、本實用新型采用精密回轉氣缸和精密氣動尾架等裝置組合而成，用來加工半導體水冷卻金屬管的裝置。本裝置每次能夠裝夾兩根冷卻管進行加工，加工效率翻倍。

2、本實用新型通過對現有設備結構進行改進，將加工、檢測兩道工序合并成一道工序，簡化工序后，一個操作員工可以操作幾臺機床，減少了數倍的人力資源，減少了資源的浪費，大大的增加了企業的效益。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖，

圖2為圖1中定位組件結構示意圖，

其中，1、底板，11、回轉氣缸安裝板，2、回轉氣缸，21、缸體，3、定位組件，31、定位板，32、頂尖，33、彈簧，34、悶蓋，4、支撐架，41、支撐條，42、支撐塊，43、Y型支撐板，44、傳感器底座，45、傳感器，5、氣動尾架，51、尾座本體，52、氣缸，53、頂針套筒。

具體實施方式

下面通過非限制性實施例，進一步闡述本實用新型，理解本實用新型。