[實用新型]一種視覺補償硅片置入載板機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921237441.8
• 申請日: 2019-08-01
• 公開（公告）號: CN210640199U
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發(fā)明（設計）人: 張學強;戴軍;張建偉;羅銀兵;劉三利;祝志強
• 申請（專利權）人: 羅博特科智能科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李婭

1.一種視覺補償硅片置入載板機構，其特征在于，所述的載板機構包括兩條平行設置的X向直線電機、安裝在兩個X向直線電機之間的Y向直線電機、安裝在Y向直線電機上的吸盤組件，所述的Y向直線電機能夠在X向直線電機的驅動下沿X向移動，吸盤組件能夠在Y向直線電機的驅動下沿Y向移動，

所述的吸盤組件包括L型的第二連接件，所述的第二連接件包括安裝在Y向直線電機上的水平安裝板及豎直設置的豎直安裝板，所述的豎直安裝板上設置有兩個Z向導軌，所述的吸盤組件還包括兩個能夠分別沿兩個Z向導軌移動的滑塊、驅動所述的滑塊沿Z向導軌移動的Z軸升降汽缸、與所述的滑塊固定連接的吸盤安裝板，所述的吸盤安裝板水平設置，所述的吸盤安裝板的底部安裝有多個用于吸取硅片的吸盤。

2.如權利要求1所述的一種視覺補償硅片置入載板機構，其特征在于，每個所述的吸盤對應的安裝有一個硅片檢測傳感器，所述的硅片檢測傳感器用于檢測所述的吸盤是否吸取硅片。

3.如權利要求1所述的一種視覺補償硅片置入載板機構，其特征在于，兩條所述的X向直線電機上分別安裝有一第一連接件，兩個第一連接件之間安裝有一橫梁，所述的Y向直線電機安裝在所述的橫梁上，所述的X向之間電機用于驅動所述的第一連接件來驅動所述的Y向直線電機沿X向移動。

4.如權利要求3所述的一種視覺補償硅片置入載板機構，其特征在于，所述的Y向直線電機位于所述的X向之間電機的下側。

5.如權利要求1所述的一種視覺補償硅片置入載板機構，其特征在于，所述的載板機構還包括用于放置硅片的載板、用于定位載板的多個定位組件，所述的載板位于兩個X向直線電機的之間，且位于X向直線電機的下側。

6.如權利要求5所述的一種視覺補償硅片置入載板機構，其特征在于，多個定位組件包括4個第一定位組件和4個第二定位組件，所述的載板的每條邊相對應的安裝有兩個定位組件，所述的第一定位組件分別設于載板的X向邊的一側，用于對所述的載板的X向邊緣施加Y向的作用力，所述的第二定位組件分別設于載板的Y向邊的一側，用于對所述的載板的Y向邊緣施加X向的作用力。

7.如權利要求6所述的一種視覺補償硅片置入載板機構，其特征在于，所述的第一定位組件包括載板定位汽缸安裝座、安裝在所述的載板定位汽缸安裝座上的載板定位汽缸、設置在載板定位汽缸的活塞桿端部的載板定位塊，所述的載板定位塊用于對載板的邊緣施加作用力。

8.如權利要求7所述的一種視覺補償硅片置入載板機構，其特征在于，所述的載板的一組對角位置的上側還分別設置了一載板定位相機，每個所述的載板定位相機的下側還對應的設置有一光源，所述的光源位于所述的載板的下側。

9.如權利要求8所述的一種視覺補償硅片置入載板機構，其特征在于，所述的載板機構還包括一硅片定位相機，所述的硅片定位相機的高度低于所述的載板的高度，所述的硅片定位相機用于對吸盤組件吸取的硅片進行拍照。

10.如權利要求9所述的一種視覺補償硅片置入載板機構，其特征在于，所述的吸盤組件的吸盤還安裝有一反光板，所述的反光板用于所述的硅片定位相機的拍照背景。