[實用新型]一種精拋布的清理工具

有效

• 申請號: 201921229150.4
• 申請日: 2019-07-31
• 公開（公告）號: CN210388843U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 李煒;王看看
• 申請（專利權）人: 徐州威聚電子材料有限公司
• 主分類號: B24B55/06
• 分類號: B24B55/06;B24B57/02;B24B53/00
• 代理公司: 南京聚匠知識產權代理有限公司 32339
• 代理人: 宋艷

本實用新型公開了一種精拋布的清理工具，屬于拋光清理設備領域，包括放置在拋光機上的清潔板，還包括用于清理所述精拋布的清潔機構，所述清潔機構包括可轉動地設置在所述清潔板底部的多個清潔盤、與所述清潔盤固定連接的連接軸和用于引導拋光液至精拋布上的引流組件；所述連接軸的頂端與拋光機的壓頭傳動連接，所述清潔盤的底端設置有多個刷頭；本實用新型設置有多個清潔盤用于同時對精拋布進行清理，清潔盤安裝在拋光機的壓頭上，通過拋光機的運作自動進行清理，受力均勻，清理效果更好，延長拋布的使用壽命。

技術領域

本實用新型涉及拋光清理設備領域，特別涉及一種精拋布的清理工具。

背景技術

拋光是硅片的加工工序之一，要求拋光表面具有晶格完整性、高的平面度及潔凈性，在拋光時使用拋光機進行拋光，精拋布與硅片之間的不停轉動摩擦，在拋光液的作用下，通過不斷去除水合膜來進行無損傷拋光，在拋光完成后需要對精拋布進行清理，目前都是手動清洗，需要靠員工自覺清理拋布，效率低浪費時間且手動清理受力不均，易損傷精拋布表面，縮短拋布的使用壽命。

實用新型內容

本實用新型提供一種精拋布的清理工具，可以解決現有技術中在清理精拋布時受力不均易損傷精拋布的問題。

一種精拋布的清理工具，包括放置在拋光機上的清潔板，還包括用于清理所述精拋布的清潔機構，所述清潔機構包括可轉動地設置在所述清潔板底部的多個清潔盤、與所述清潔盤固定連接的連接軸和用于引導拋光液至精拋布上的引流組件；

所述清潔盤的數量與拋光機的壓頭的數量相同；

所述連接軸的頂端與拋光機的壓頭傳動連接，所述清潔盤的底端設置有多個刷頭。

較佳的，所述引流組件包括多個引流塊和位于拋光液出口正下方的引流組件主體，所述引流塊和所述引流組件主體均固定連接在所述清潔板上，多個引流塊周向且均勻地固定在所述引流組件主體的周側上，所述引流組件主體的頂部開設有蓄液槽，多個所述引流塊上均開設有與所述蓄液槽相通的引流槽，多個所述引流槽內均開設有通孔，所述通孔貫穿所述清潔板，且每個所述通孔均位于兩個所述清潔盤之間。

較佳的，所述連接軸的頂端固定連接有卡塊，所述壓頭上開設有與所述卡塊相配合的卡槽，所述壓頭和所述連接軸同軸轉動。

較佳的，所述引流組件主體位于所述清潔板的中心位置處，所述引流槽具有一定弧度且所述引流塊的高度由清潔板的中心向四周逐漸降低。

較佳的，所述清潔板上固定安裝有把手。

較佳的，所述連接軸上焊接有調節桿。

較佳的，所述清潔板的底部中心也安裝有多個所述刷頭。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型設置有多個清潔盤用于同時對精拋布進行清理，清潔盤安裝在拋光機的壓頭上，通過拋光機的運作自動進行清理，受力均勻，清理效果更好，延長拋布的使用壽命；

設置有引流組件，通過引流組件能夠將位于中心處的拋光液管所流出的拋光液引流至拋光布上、無需再接入其他液體介質，員工在清理時，操作起來更加方便；

清潔板的兩側均固定安裝有把手，方便員工將其搬至拋光機上，連接軸上焊接有調節桿，方便連接軸與拋光機的壓頭之間對接。

附圖說明

圖1為本實用新型在清理精拋布時的結構示意圖；

圖2為本實用新型的圖1的A-A處剖視圖；

圖3為本實用新型的結構示意圖；

圖4為本實用新型的圖3的B處局部放大圖。

圖5為本實用新型的俯視圖；