[實用新型]一種具有環狀類Y型電極的微尺寸LED器件

有效

• 申請號: 201921226070.3
• 申請日: 2019-07-31
• 公開（公告）號: CN210607303U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 王洪;譚禮軍;姚若河;武智斌
• 申請（專利權）人: 華南理工大學;中山市華南理工大學現代產業技術研究院
• 主分類號: H01L33/20
• 分類號: H01L33/20;H01L33/14;H01L33/44;H01L33/38;H01L33/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 何淑珍;江裕強

1.一種具有環狀類Y型電極的微尺寸LED器件，其特征在于，所述器件包括襯底和襯底上連接的凸臺型結構，所述凸臺型結構包括凸臺下部和凸臺上部，凸臺上部位于凸臺下部之上，凸臺上部的橫截面積小于凸臺下部的橫截面積；凸臺下部包括從下到上依次排列的緩沖層、未摻雜N型GaN層和第一N-GaN層；凸臺上部包括從下到上依次排列分布的第二N-GaN層、多量子阱層、P型AlGaN層和P-GaN層，第一N-GaN層和第二N-GaN層一體成型；凸臺下部的上表面連接凸臺上部以外的區域連接N電極；凸臺上部的上表面連接電流擴展層，電流擴展層上連接P電極，所述P電極為環狀類Y型電極，所述環狀類Y型電極包括一個圓環狀接觸環和兩個以上類Y型叉，類Y型叉包括一底臂以及和底臂一端分別連接的第一分叉和第二分叉，底臂的另一端和圓環狀接觸環連接；凸臺型結構上除P電極和N電極以外的區域沉積有一層鈍化層。

2.根據權利要求1所述的具有環狀類Y型電極的微尺寸LED器件，其特征在于，所述底臂、第一分叉和第二分叉均為直型線條，第一分叉和第二分叉對稱分布在底臂的兩側，分叉角度為30°~120°。

3.根據權利要求1所述的具有環狀類Y型電極的微尺寸LED器件，其特征在于，所述底臂、第一分叉均為直型線條，第二分叉包括一直型線條以及和直型線條連接的圓弧，第一分叉和第二分叉的直型線條對稱分布在底臂的兩側，分叉角度為30°~120°；第二分叉的圓弧向第二分叉的直型線條的一側沿著圓弧角度延伸，但圓弧和其他類Y型叉不接觸；第一分叉的直型線條的長度大于第二分叉的直型線條的長度。

4.根據權利要求1所述的具有環狀類Y型電極的微尺寸LED器件，其特征在于，所述底臂為直型線條，第一分叉和第二分叉均包括一直型線條以及和直型線條連接的圓弧，第一分叉和第二分叉的直型線條對稱分布在底臂的兩側，分叉角度為30°~120°；第一分叉的圓弧向第一分叉的直型線條的一側沿著圓弧角度延伸，第二分叉的圓弧向第二分叉的直型線條的一側沿著圓弧角度延伸，但圓弧和其他類Y型叉不接觸；第一分叉的直型線條的長度大于第二分叉的直型線條的長度。

5.根據權利要求1所述的具有環狀類Y型電極的微尺寸LED器件，其特征在于，所述凸臺上部和凸臺下部為圓柱體結構，凸臺上部位于凸臺下部的中心處；電流擴展層的面積小于凸臺上部的底面面積；凸臺上部的底面直徑為20um~200um，凸臺下部的底面直徑比凸臺上部的底面直徑大30um~50um；P電極位于電流擴展層上表面的中心處；所述N電極為圓環，在圓環的外圓上連接一矩形凸起，凸起位于外圓的徑向方向上，凸起的寬度與長度為5um~10um；N電極位于第一N-GaN層上表面的邊緣與多量子阱層下表面的邊緣之間區域的中心；P電極下方的電流擴展層上表面為粗化結構。

6.根據權利要求1所述的具有環狀類Y型電極的微尺寸LED器件，其特征在于，電流擴展層為ITO，厚度為100～230nm；所述鈍化層為SiO₂或雙層介質層，所述雙層介質層為從下到上排布的兩個折射率不同的介質層組成，且上層介質層的折射率低于下層介質層的折射率；雙層介質層為 HfO₂/MgO、HfO₂/SiO₂或MgO/SiO₂； HfO₂/MgO中下層為HfO₂，上層為MgO；HfO₂/SiO₂中下層為HfO₂，上層為SiO₂； MgO/SiO₂中下層為MgO，上層為SiO₂；P電極和N電極為Cr/Al/Ti/Au金屬層，金屬層的總厚度為1.15um ~1.35um；襯底為藍寶石材料。

7.根據權利要求1所述的具有環狀類Y型電極的微尺寸LED器件，其特征在于，環狀類Y型電極中的類Y型叉的個數為3、4或5，相應的類Y型叉之間兩兩成120°、90°或72°均勻地與圓環狀接觸環連接，且類Y型叉大小形狀完全一致。