[實用新型]一種氣浮運動導軌裝置

有效

• 申請號: 201921212438.0
• 申請日: 2019-07-30
• 公開（公告）號: CN210290493U
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 王曰明;李明富;梁邦遠;王世雷;孫佳卓
• 申請（專利權）人: 青島前哨精密儀器有限公司
• 主分類號: F16C32/06
• 分類號: F16C32/06;G01D18/00
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 張曉

1.一種氣浮運動導軌裝置，其特征是，包括水平導軌以及設置在水平導軌上且能沿水平導軌前后移動的用來安裝檢測儀器的氣浮滑塊；

所述水平導軌的左、右端面上對稱設置有導軌滑槽；

所述氣浮滑塊包括與水平導軌的頂端面進行配合的主滑臺，所述主滑臺的左端向下垂直固定設置有與水平導軌的左端面進行配合的側滑臺，所述側滑臺的底部向右垂直固定設置有與水平導軌左端面上導軌滑槽進行配合的底部左滑臺；所述主滑臺的右端向下垂直固定設置有滑臺支架，所述滑臺支架上設置有與水平導軌的右端面進行配合的輔助滑臺，所述輔助滑臺的底部向左垂直固定設置有與水平導軌右端面上導軌滑槽進行配合的底部右滑臺；

所述主滑臺底端面的左右兩側、側滑臺的右端面上、底部左滑臺的頂端面上、輔助滑臺的左端面上、底部右滑臺的頂端面上均設置有若干氣流孔；設置有氣流孔的各個滑臺上均設置有與所在滑臺上氣流孔相連通的進氣孔；所述進氣孔通過管道與供氣設備連接；

所述側滑臺的右端面上設置有吸附槽，所述吸附槽上設置有出氣孔，所述側滑臺的前端面上設置有與出氣孔進行連通的排氣孔，所述排氣孔通過管道與抽真空裝置連接。

2.如權利要求1所述的一種氣浮運動導軌裝置，其特征是，所述氣流孔端部的外圍設置有與氣流孔進行垂直連通的呈十字形結構的氣流均布槽。

3.如權利要求1所述的一種氣浮運動導軌裝置，其特征是，所述氣浮滑塊與直線電機相連，所述氣浮滑塊在直線電機的驅動下沿水平導軌進行滑動和鎖定。

4.如權利要求1所述的一種氣浮運動導軌裝置，其特征是，所述水平導軌頂端面的沿前后方向延伸的中間槽的左側壁上設置有標尺光柵，所述氣浮滑塊上固定設置有與標尺光柵配合使用的光柵讀數頭。

5.如權利要求1所述的一種氣浮運動導軌裝置，其特征是，所述水平導軌的前、后兩端均設置有用來減輕震動的防撞緩沖器。

6.如權利要求5所述的一種氣浮運動導軌裝置，其特征是，所述防撞緩沖器為油壓管緩沖器。

7.如權利要求1所述的一種氣浮運動導軌裝置，其特征是，所述水平導軌的底部設置有若干均勻分布的用來調整水平導軌水平度的千斤頂。

8.如權利要求1所述的一種氣浮運動導軌裝置，其特征是，所述水平導軌采用花崗石材料。

9.如權利要求1所述的一種氣浮運動導軌裝置，其特征是，所述主滑臺的頂部設置有用來安裝檢測儀器的連接板。

10.如權利要求1所述的一種氣浮運動導軌裝置，其特征是，所述輔助滑臺包括用來與水平導軌的右端面進行配合的輔助滑塊，所述輔助滑塊的右端設置有與滑臺支架進行垂直連接的滑臺桿，所述滑臺桿能夠控制輔助滑塊進行左右方向的移動。