[實(shí)用新型]新型氣缸

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921207919.2
• 申請日: 2019-07-29
• 公開（公告）號(hào): CN210637312U
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟杰;曾圣翔;薛波;郭松輝;林宗賢
• 申請（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): F15B15/14
• 分類號(hào): F15B15/14;F15B19/00;F15B20/00
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

該實(shí)用新型涉及一種新型氣缸，包括：缸筒；第一活塞，設(shè)置在所述缸筒內(nèi)，能夠相對于所述缸筒做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且所述第一活塞內(nèi)部設(shè)置有凹槽，所述凹槽的長度方向與所述第一活塞的運(yùn)動(dòng)方向相同；第二活塞，設(shè)置于所述第一活塞的凹槽內(nèi)部，能夠相對于所述第一活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)；震動(dòng)檢測器，安裝至所述缸筒，用于檢測所述第一活塞或第二活塞的異常震動(dòng)。以上新型氣缸具有震動(dòng)檢測器，能夠通過檢測所述第一活塞和第二活塞的震動(dòng)情況，來實(shí)時(shí)監(jiān)測整個(gè)新型氣缸的異常震動(dòng)情況，防止因氣缸問題發(fā)生停機(jī)，產(chǎn)生晶圓報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)，側(cè)面提高晶圓產(chǎn)率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及適用于晶圓生產(chǎn)的驅(qū)動(dòng)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種新型氣缸。

背景技術(shù)

隨著技術(shù)的發(fā)展，集成電路工藝導(dǎo)線越來越窄，能耗越來越低，每一片的晶圓都極其寶貴。生產(chǎn)晶圓的設(shè)備中，有很多部件是由氣缸組成的。氣缸的性能直接影響晶圓生產(chǎn)效率及質(zhì)量。在半導(dǎo)體設(shè)備中，氣缸主要運(yùn)用在閥門開關(guān)以及上下運(yùn)動(dòng)部件中，如果氣缸有問題，發(fā)生抖動(dòng)時(shí)，會(huì)導(dǎo)致閥門開關(guān)異常或者抖動(dòng)，甚至有氣缸內(nèi)部氣體泄漏到腔室風(fēng)險(xiǎn)，并且氣缸的抖動(dòng)也很有可能直接造成晶圓的破碎。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種新型氣缸，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控氣缸的工作狀態(tài)，避免因氣缸問題發(fā)生停機(jī)，產(chǎn)生晶圓報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)，提高晶圓產(chǎn)率。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型中提供了一種新型氣缸，包括缸筒；第一活塞，設(shè)置在所述缸筒內(nèi)，能夠相對于所述缸筒做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，且所述第一活塞內(nèi)部設(shè)置有凹槽，所述凹槽的長度方向與所述第一活塞的運(yùn)動(dòng)方向相同；第二活塞，設(shè)置于所述第一活塞的凹槽內(nèi)部，能夠相對于所述第一活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)；震動(dòng)檢測器，安裝至所述缸筒，用于檢測所述第一活塞或第二活塞的異常震動(dòng)。

可選的，還包括：控制器，連接至所述震動(dòng)檢測器，用于根據(jù)所述震動(dòng)檢測器檢測到的異常震動(dòng)，控制所述第一活塞或第二活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

可選的，還包括：第一、二進(jìn)氣口，連通至所述第一活塞內(nèi)的凹槽，用于驅(qū)動(dòng)所述第二活塞相對于第一活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)；第三、四進(jìn)氣口，連通至所述缸筒內(nèi)部，用于驅(qū)動(dòng)所述第一活塞相對于缸筒做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

可選的，還包括：電動(dòng)閥，閥門設(shè)置到所述第一、二進(jìn)氣口、第三、四進(jìn)氣口，且所述電動(dòng)閥連接至所述控制器，用于根據(jù)所述控制器的控制，控制所述閥門的開閉，從而控制所述第一、二進(jìn)氣口、第三、四進(jìn)氣口的進(jìn)氣情況。

可選的，所述控制器對所述第一活塞或第二活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)的控制包括：控制所述第二活塞相對于所述第一活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)；在所述震動(dòng)檢測器檢測到異常震動(dòng)時(shí)，控制所述第一活塞相對于所述缸筒做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

可選的，所述震動(dòng)檢測器設(shè)置在所述缸筒外壁。

可選的，被所述新型氣缸驅(qū)動(dòng)的件安裝至所述第二活塞。

可選的，還包括：報(bào)警器，連接至所述震動(dòng)檢測器，用于在所述震動(dòng)檢測器檢測到異常震動(dòng)時(shí)發(fā)出警報(bào)。

可選的，所述震動(dòng)檢測器為音頻收集器，通過收集所述缸筒的震動(dòng)聲音信息，來判斷所述第一活塞或第二活塞是否發(fā)生異常震動(dòng)。

以上新型氣缸具有震動(dòng)檢測器，能夠通過檢測所述第一活塞和第二活塞的震動(dòng)情況，來實(shí)時(shí)監(jiān)測整個(gè)新型氣缸的異常震動(dòng)情況，防止因氣缸問題發(fā)生停機(jī)，產(chǎn)生晶圓報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)，側(cè)面提高晶圓產(chǎn)率。并且所述新型氣缸具有兩個(gè)活塞，且第二活塞安裝在所述第一活塞的凹槽內(nèi)，且凹槽的長度方向與所述第一活塞的運(yùn)動(dòng)方向相同，因此，在具體使用中，控制兩個(gè)活塞的運(yùn)動(dòng)都可以實(shí)現(xiàn)相同運(yùn)動(dòng)效果。這樣，當(dāng)具有相應(yīng)的控制器時(shí)，就可以根據(jù)所述震動(dòng)檢測器檢測到的第一活塞或第二活塞的震動(dòng)情況，切換另一活塞進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，從而達(dá)到相同的驅(qū)動(dòng)效果，不會(huì)由于一根活塞損壞，而導(dǎo)致要更換整個(gè)氣缸。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式中的新型氣缸的結(jié)構(gòu)示意圖。