[實(shí)用新型]一種可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓力的WDM光芯片晶圓封裝系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921185103.4
• 申請(qǐng)日: 2019-07-25
• 公開（公告）號(hào): CN210376904U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳曉鵬;孔祥君;付勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市中興新地技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): G02B27/62
• 分類號(hào): G02B27/62;G02B6/293
• 代理公司: 深圳市碩法知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44321
• 代理人: 王久明

本實(shí)用新型涉及一種可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓力的WDM光芯片晶圓封裝系統(tǒng)，包括底座、固定設(shè)置在底座上方并與底座相平行的橫梁，所述底座上設(shè)有一凹槽，凹槽內(nèi)從下向上依次相平行設(shè)置有壓力傳感器、與壓力傳感器相接觸的下壓塊，壓力傳感器位于凹槽底面的中心并電性連接一電子顯示器，下壓塊的上方設(shè)置有一能自由取放的與下壓塊相匹配的上壓塊；橫梁上設(shè)有一圓心與凹槽中心處于同一軸線上的螺紋孔，螺紋孔中設(shè)置有與螺紋孔相匹配螺紋連接的能在螺紋孔中上升或下降的并在下降中能抵壓在上壓塊上表面的螺桿。該實(shí)用新型能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并調(diào)整晶圓封裝時(shí)所承受的壓力，壓力穩(wěn)定在固定范圍，提高封裝質(zhì)量，保證了批量產(chǎn)品的一致性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓的封裝，尤其是一種能調(diào)節(jié)封裝壓力在固定范圍內(nèi)、保證批量產(chǎn)品質(zhì)量一致的可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓力的WDM光芯片晶圓封裝系統(tǒng)。

背景技術(shù)

WDM(Wavelength Division Multiplexing，波分復(fù)用器)是將一系列載有信息、但波長(zhǎng)不同的光信號(hào)合成一束，沿著單根光纖傳輸；在接收端再通過解復(fù)用的方法，將各個(gè)不同波長(zhǎng)的光信號(hào)分開的通信技術(shù)。每個(gè)信號(hào)經(jīng)過數(shù)據(jù)(文本、語音、視頻等)調(diào)制后都在它獨(dú)有的色帶內(nèi)傳輸。WDM能使運(yùn)營(yíng)商的現(xiàn)有光纖基礎(chǔ)設(shè)施容量大增。WDM是在1根光纖上承載多個(gè)波長(zhǎng)(信道)系統(tǒng)，將1根光纖轉(zhuǎn)換為多條虛擬纖，每條虛擬纖都獨(dú)立工作在不同波長(zhǎng)上，這樣極大地提高了光纖的傳輸容量。由于WDM系統(tǒng)技術(shù)的經(jīng)濟(jì)性與有效性，使之成為當(dāng)前光纖通信網(wǎng)絡(luò)擴(kuò)容的主要手段。WDM光芯片是波分復(fù)用的核心部件，光芯片的品質(zhì)直接決定了WDM器件的性能。而WDM光芯片則是由晶圓加工而成的，晶圓基板加蓋板，然后通過膠水粘結(jié)封裝，是WDM光芯片晶圓封裝的主要形式之一，傳統(tǒng)的晶圓封裝系統(tǒng)是加壓到晶圓蓋板上，憑操作人員的感覺來控制壓力的大小，無法做到封裝壓力的準(zhǔn)確檢測(cè)和精確控制，導(dǎo)致晶圓封裝出來基板與蓋板直接的膠層厚度不一致，質(zhì)量一致性不高。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有的不足，本實(shí)用新型提供一種能調(diào)節(jié)封裝壓力在固定范圍內(nèi)、保證批量產(chǎn)品質(zhì)量一致的可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓力的WDM光芯片晶圓封裝系統(tǒng)。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓力的WDM光芯片晶圓封裝系統(tǒng)，包括底座、固定設(shè)置在底座上方并與底座相平行的橫梁，所述底座上設(shè)有一凹槽，所述凹槽內(nèi)從下向上依次相平行設(shè)置有壓力傳感器、與壓力傳感器相接觸的下壓塊，所述壓力傳感器位于凹槽底面的中心并電性連接一電子顯示器，所述下壓塊的上方設(shè)置有一能自由取放的與下壓塊相匹配的上壓塊；所述橫梁上設(shè)有一圓心與凹槽中心處于同一軸線上的螺紋孔，所述螺紋孔中設(shè)置有與螺紋孔相匹配螺紋連接的能在螺紋孔中上升或下降的并在下降中能抵壓在上壓塊上表面的螺桿。

作為優(yōu)選，所述上壓塊的中心設(shè)有球缺狀的且球缺高度不大于球半徑的圓孔，所述螺桿在對(duì)應(yīng)圓孔的端部延伸有能匹配插入圓孔的球缺狀的球頭。

作為優(yōu)選，所述圓孔是半球形圓孔，所述球頭是半球形球頭。

作為優(yōu)選，所述螺桿在位于螺紋孔上方的端部匹配連接有一螺母，所述螺母上設(shè)有在徑向上貫通螺母?jìng)?cè)壁的鎖孔，一螺釘插入鎖孔鎖緊螺母和螺桿。

作為優(yōu)選，所述凹槽是圓形凹槽，所述上壓塊、下壓塊均是與晶圓相匹配的同樣大小的圓形壓塊。

作為優(yōu)選，所述壓力傳感器是薄膜式壓力傳感器。

作為優(yōu)選，所述橫梁通過一支撐架固定連接在底座上，所述支撐架和橫梁是一體成型的。

作為優(yōu)選，所述電子顯示器是設(shè)置在底座上或底座外的顯示器。

作為優(yōu)選，所述凹槽的側(cè)壁上設(shè)置有貫通底座的走線槽或走線通孔，所述電子顯示器通過設(shè)置在走線槽或走線通孔內(nèi)的導(dǎo)線與壓力傳感器連接并電性導(dǎo)通。

作為優(yōu)選，所述走線槽或走線通孔和凹槽的連接處是倒圓角結(jié)構(gòu)。