[實用新型]一種芯片研磨時用吸取機構

有效

• 申請號: 201921175898.0
• 申請日: 2019-07-25
• 公開（公告）號: CN210434974U
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發明（設計）人: 殷澤安;殷志鵬
• 申請（專利權）人: 蘇州譯品芯半導體有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B5/04;H01L21/304
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種芯片研磨時用吸取機構，其特征在于：包括從上到下依次安裝的進風口(6)、行架(8)、吹風頭(7)、工作臺(3)、電機驅動結構、連接柱(2)和底板(1)；

所述工作臺(3)的上表面開有卡槽(4)，所述卡槽(4)的側面開有落料槽(5)，且所述工作臺(3)的底端固接有落料倉(12)；所述落料倉(12)的底端固接有吸取口(13)，且所述吸取口(13)與所述落料倉(12)內部相互連通；所述進風口(6)固接在所述行架(8)的頂端，所述吹風頭(7)固接在所述行架(8)的底端，且所述進風口(6)與多個所述吹風頭(7)相互連通；

所述電機驅動結構包括電機(9)、導向槽(10)、導向塊(11)和軸承(16)，所述導向槽(10)開設在所述工作臺(3)的兩側側面，所述導向塊(11)卡合在所述導向槽(10)內部，且所述導向塊(11)的一側側面開有螺紋孔(14)；所述電機(9)固接在所述工作臺(3)的一端端面，所述電機(9)的輸出軸末端貫穿所述工作臺(3)的端面，所述電機(9)的輸出軸末端固接有螺紋桿(15)，所述螺紋桿(15)的兩端均通過所述軸承(16)與所述導向槽(10)的內側壁轉動連接，且所述螺紋桿(15)與所述螺紋孔(14)嚙合連接。

2.根據權利要求1所述的一種芯片研磨時用吸取機構，其特征在于：所述行架(8)為U型結構，且所述行架(8)的底端側面均固接有所述導向塊(11)。

3.根據權利要求1所述的一種芯片研磨時用吸取機構，其特征在于：所述工作臺(3)與所述底板(1)之間設有所述連接柱(2)，且所述連接柱(2)的兩端分別與所述工作臺(3)下表面、所述底板(1)上表面固接。

4.根據權利要求1所述的一種芯片研磨時用吸取機構，其特征在于：所述導向塊(11)為凸型結構，所述導向槽(10)為凹型結構，且兩者滑動連接。

5.根據權利要求1所述的一種芯片研磨時用吸取機構，其特征在于：所述吹風頭(7)等距離分布在所述行架(8)的下表面，且所述吹風頭(7)與垂直面之間的夾角為三十度。

6.根據權利要求1所述的一種芯片研磨時用吸取機構，其特征在于：所述落料槽(5)底端為網狀結構，且所述落料槽(5)與所述落料倉(12)內部相互連通。