[實用新型]一種帶有注油槽結構的旋轉靶頭

有效

• 申請號: 201921175712.1
• 申請日: 2019-07-25
• 公開（公告）號: CN210506508U
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 徐小明;周夢榮;叢峰
• 申請（專利權）人: 蘇州勝利精密制造科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 范晴;吳音

本實用新型公開了一種帶有注油槽結構的旋轉靶頭，包括軸套、絕緣底座、密封座、靶筒固定螺母和靶筒固定件；所述絕緣底座套在軸套上，并設置在鍍膜機臺上；所述密封座設置在絕緣底座上；所述絕緣底座下部的軸套上設置有靶筒固定螺母；所述軸套的下端部設置有靶筒固定件；所述密封座內部設置有至少一個油封；所述油封與軸套過盈配合；所述油封上設置有墊圈；所述墊圈與軸套之間存在間隙；所述密封座上設置有注油槽，潤滑油通過注油槽流到油封的唇口。本案注油槽設計可延長鍍膜機臺靶頭動密封的使用壽命，提高密封性能；注油過程簡便，縮短維護作業時間，節約維護成本；降低機臺宕機風險，提高鍍膜機臺的綜合效率。

技術領域

本實用新型涉及一種應用于鍍膜機臺上的帶有注油槽結構的旋轉靶頭。

背景技術

在磁控濺射鍍膜機臺上,行業里經常會采用平面靶或者旋轉靶作為孿生靶,在旋轉靶的機構設計中,有很多種方式做旋轉密封,而其中有一種是應用油封作為載體來實現動密封的方式,一般使用壽命在3個月左右,因為油封的唇口和固定軸之間存在摩擦,通常都是在裝配的時候加一些油來潤滑,但是由于濺射室的真空環境,裝配時添加的油很容易就損耗完畢,后續生產當中便無法再次添加,從而唇口和固定軸之間就開始干摩擦,久而久之油封的密封就會失效，致使油封的使用壽命短,隨之而來的就是靶頭開始漏氣,最終宕機來修復靶頭，維護作業時間長，影響生產。

發明內容

本實用新型目的是：提供一種在靶頭上設置有注油槽,實現外部注油孔注油可以流到內部的油封唇口上,從而減輕唇口和固定軸之間的摩擦,大大的延長了油封的使用壽命,減少了漏氣的風險，同時也節約維護成本,提高鍍膜機臺的綜合效率。

本實用新型的技術方案是：一種帶有注油槽結構的旋轉靶頭，包括軸套、絕緣底座、密封座、靶筒固定螺母和靶筒固定件；所述絕緣底座套在軸套上，并設置在鍍膜機臺上；所述密封座設置在絕緣底座上；所述絕緣底座下部的軸套上設置有靶筒固定螺母；所述軸套的下端部設置有靶筒固定件；所述密封座內部設置有至少一個油封；所述油封與軸套過盈配合；所述油封上設置有墊圈；所述墊圈與軸套之間存在間隙；所述密封座上設置有注油槽，外部添加潤滑油通過注油槽流到油封的唇口。

優選的，所述注油槽包括通孔和垂直凹槽；所述通孔為徑向設置在密封座上；所述密封座的內側壁上設置有軸向的并與通孔垂直且相交的垂直凹槽。

優選的，所述通孔為臺階孔。

優選的，在所述注油槽處的墊圈上徑向設置有墊圈凹槽。

優選的，所述密封座內部設置有至少一個軸承。

優選的，所述軸套內設置有機械密封裝置。

優選的，所述軸套內設置有水管組件。

本實用新型的優點是：

1．延長鍍膜機臺靶頭動密封的使用壽命，提高密封性能；

2.注油過程簡便，縮短維護作業時間，節約維護成本；

3. 降低機臺宕機風險，提高鍍膜機臺的綜合效率。

附圖說明

下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：

圖1為本案所述的一種帶有注油槽結構的旋轉靶頭的主要結構示意圖；

圖2為圖1中A處的放大圖；

圖3為本案所述的一種帶有注油槽結構的旋轉靶頭的密封座的俯視結構示意圖；

圖4為圖3中B-B面的剖視結構示意圖；

圖5為圖3中C-C面的剖視結構示意圖；

圖6為本案所述的一種帶有注油槽結構的旋轉靶頭墊圈的主視結構示意圖；