[實用新型]一種圓形金屬薄膜支撐結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921174647.0
• 申請日: 2019-07-24
• 公開（公告）號: CN210245090U
• 公開（公告）日: 2020-04-03
• 發(fā)明（設計）人: 楊天晗
• 申請（專利權）人: 寧波中物光電殺菌技術有限公司
• 主分類號: G21K5/08
• 分類號: G21K5/08
• 代理公司: 寧波鄞州中致力專利代理事務所(普通合伙) 33322
• 代理人: 張圓

本實用新型公開了一種圓形金屬薄膜支撐結構，支撐窗和薄膜，所述支撐窗上設有用于供電子束射出的開口，所述薄膜布置于開口的端面上，所述支撐窗呈圓形，所述開口內設有沿徑向間隔設置的若干支撐圈，所述支撐圈的兩側均設有若干用于連接相鄰支撐圈的連接條，所述連接條沿周向間隔設置，所述支撐圈與連接條構成供薄膜支撐的支撐區(qū)域，使得薄膜具有更好的抗電子束沖擊和抗抽真空壓力的能力，并提高了支撐窗的結構強度和工作的安全性。

技術領域

本實用新型涉及電子束輻照加工領域，具體涉及一種圓形金屬薄膜支撐結構。

背景技術

輻照加工時，電子槍射出電子束，并在真空室內擴展形成線性電子束帶后，通過貼附在支撐窗開口上的金屬薄膜引出至被輻照物質，有效地殺滅害蟲、蟲卵、病菌等。支撐窗上的金屬薄膜需要密封安裝，以隔絕真空室，現有技術中的薄膜通常通過夾板固定在支撐窗上，在受到電子束和真空泵的吸力時，薄膜會緊密的貼合在支撐窗上，并且沿著受力方向產生變形，在支撐窗上的貼附效果不好，并且，薄膜在支撐窗的開口內過量的變形，尤其在支撐窗中心位置，容易出現折痕和破裂，薄膜損壞后造成真空破壞，大氣進入后導致電子槍燒毀、真空泵損壞、電源損壞，造成重大經濟損失。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種圓形金屬薄膜支撐結構，為薄膜提供足夠的支撐強度的同時具有更好的貼附效果，在抽真空過程中的薄膜不會發(fā)生爆裂。

本實用新型的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：一種圓形金屬薄膜支撐結構，支撐窗和薄膜，所述支撐窗上設有用于供電子束射出的開口，所述薄膜布置于開口的端面上，所述支撐窗呈圓形，所述開口內設有沿徑向間隔設置的若干支撐圈，所述支撐圈的兩側均設有若干用于連接相鄰支撐圈的連接條，所述連接條沿周向間隔設置，所述支撐圈與連接條構成供薄膜支撐的支撐區(qū)域。

本實用新型的優(yōu)點在于：圓形的支撐窗更適用于小型的電子出口，在圓形的支撐窗上的開口內布置間隔設置的支撐圈，并且相鄰的每個支撐圈之間通過連接條進行連接，支撐圈和連接條構成網格狀的支撐區(qū)域，當薄膜受到抽真空的壓力和電子束的沖擊，使薄膜沿著受力方向變形并貼附到支撐區(qū)域上，對薄膜起到支撐作用，使得薄膜具有更好的抗電子束沖擊和抗抽真空壓力的能力，避免薄膜過度變形而發(fā)生破裂，提高了支撐窗的結構強度和工作的安全性。

進一步，所述連接條彎曲設置，通過以上改進，提高了支撐窗的抗熱應力破壞性，在高溫環(huán)境下具有更好的穩(wěn)定性。

進一步，所述支撐圈兩側的連接條分別沿相對或相同方向彎曲設置，通過以上改進，在薄膜貼附至連接條上時，支撐圈之間的連接條能夠給予薄膜沿著彎曲方向均勻的變形的趨勢，避免薄膜產生不均勻的變形而產生破裂。

進一步，所述支撐區(qū)域內設有朝向支撐窗的中心設置的凹面，通過以上改進，支撐區(qū)域上設有凹面，使得薄膜能夠緊密的貼附在開口內的支撐區(qū)域上，使薄膜在受到來自電子束的沖擊和抽真空的壓力前處于張緊狀態(tài)，在支撐窗上獲得更好的貼附效果，并且凹面均朝向支撐窗的中心下凹設置，使得在抽真空和受到電子束沖擊時，薄膜和支撐窗受到的壓力均能夠沿著凹陷方向得到緩沖，對薄膜起到更好的保護作用。

進一步，最外側的所述支撐圈的端面與開口的端面呈平滑的過渡曲線連接，通過以上改進，避免了薄膜在開口的周邊產生的折痕，使得薄膜的安裝更加可靠。

進一步，所述凹面為一拋物線繞支撐窗的中軸線旋轉而成，所述拋物線的對稱線與支撐窗的中軸線重合，通過以上改進，使得支撐區(qū)域呈圓弧狀的凹陷，具有更大的貼附面積，使得薄膜在支撐窗上的貼合更加緊密，并獲得更好抗沖效果。

進一步，所述支撐圈兩側的連接條交錯設置。通過以上改進，當薄膜受到電子束和抽真空的壓力時，薄膜緊密的壓合在凹面上，連接條交錯設置，保證支撐強度的同時，錯開薄膜在相鄰的支撐區(qū)域內產生重合的折痕，使得薄膜在受壓時更加穩(wěn)定可靠，增加了使用壽命。