[實用新型]一種真空鍍膜水冷輔助陽極管

有效

• 申請號: 201921172809.7
• 申請日: 2019-07-24
• 公開（公告）號: CN210110705U
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 王暉
• 申請（專利權）人: 浙江法德裝備科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 湖州長興西木子知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 33325
• 代理人: 韓燕燕

本實用新型涉及一種真空鍍膜水冷輔助陽極管，其包括陽極管，陽極管內部中空設置有冷卻區，冷卻區內設置有水冷管，接頭組件密封連接設置于陽極管的上端部，連接組件設置于陽極管的外部，包括管路單元及水流切換單元，本實用新型通過設置切換水冷管內的水流流動方向，使冷卻區內的冷卻水的流動方向可以進行切換，在一個流向的冷卻水冷卻一端時間后，切換冷卻水的流動方向，使冷卻水反向流動，解決冷卻水在陽極管內越到流動路徑末段溫差越大的技術問題，彌補冷卻水流動路徑中首段與末段之間的溫度差。

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜用陽極管技術領域，尤其涉及一種真空鍍膜水冷輔助陽極管。

背景技術

低溫等離子體表面處理工藝是指在負壓下一般為幾十帕，對一定的氣體施加高頻電場，使其激發成等離子體狀態；等離子體作為物質的第四態，其中包含大量的電子，離子及自由基等活性粒子，這些活性粒子碰撞到被處理物體的表面，會發生相應的物理或化學反應，使材料表面的性質發生變化或是賦予新的功能，以達到其處理目的，滿足實際應用的需要。

而在陽極管接受電子時，陽極管的溫度會隨著工作時間的加長而溫度逐步升高，傳統工作中，通常是在陽極管內放置環形冷卻管進行冷卻，但環形冷卻管的冷卻效果并不理想。

專利號為CN201821110672.8的專利文獻公開了一種水冷輔助接收陽極管，包括：輔助陽極管；冷卻組件，所述冷卻組件插設在所述輔助陽極管內且與所述輔助陽極管同軸設置；以及連接組件，所述連接組件包括設置在所述輔助陽極管的上端部的上接件和設置在所述輔助陽極管的下端部的下接件；本實用新型解決了制作困難、容易變形的技術問題，其制作簡單、不易變形，同時節省成本輸出，其冷卻效果好，360°回路無死角

實際冷卻使用過程中，發明人發現始終保持冷卻組件的水流方向一致，會導致冷卻水在陽極管中流動路徑首段與末段的溫度存在較高的溫度差。冷卻效果不平均。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術的不足之處，通過設置切換水冷管內的水流流動方向，使冷卻區內的冷卻水的流動方向可以進行切換，在一個流向的冷卻水冷卻一端時間后，切換冷卻水的流動方向，使冷卻水反向流動，解決冷卻水在陽極管內越到流動路徑末段溫差越大的技術問題，彌補冷卻水流動路徑中首段與末段之間的溫度差。

針對以上技術問題，采用技術方案如下：

一種真空鍍膜水冷輔助陽極管，包括：

陽極管，所述陽極管的內部中空設置有冷卻區，該冷卻區內設置有水冷管，且所述冷卻區與所述水冷管連通；

接頭組件，所述接頭組件密封連接設置于所述陽極管的上端部，其包括與冷卻區連通的第一接頭及與所述水冷管連通的第二接頭；以及

連接組件，所述連接組件設置于所述陽極管的外部，其包括管路單元及水流切換單元，所述管路單元分別與所述第一接頭及所述第二接頭連通，所述水流切換單元設置于所述管路單元上，其控制切換所述水冷管內冷卻水的流動方向。

作為改進，所述水冷管將所述冷卻區劃分為位于所述水冷管外部的外水冷區及位于所述水冷管內部的內水冷區。

作為改進，所述管路單元包括：

第一管路，所述第一管路的一端與所述第一接頭連通，其另一端與冷卻水回收裝置連通；以及

第二管路，所述第二管路的一端與所述第二接頭連通，其另一端與冷卻水供應裝置連通。

作為改進，所述水流切換單元包括：

第一閥門，所述第一閥門設置于所述第一管路上，其將所述第一管路分割為靠近所述第一接頭的第一冷卻管及遠離所述第一接頭的第二冷卻管；