[實用新型]一種超微量元素分析儀的管道連接機構

有效

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• 申請日: 2019-07-23
• 公開（公告）號: CN210531821U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設計）人: 沈恒文;林旭斌;金修領;吉雙平;郝小峰;劉彤輝
• 申請（專利權）人: 江蘇艾匹克半導體設備有限公司
• 主分類號: F16L23/024
• 分類號: F16L23/024
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

本實用新型公開了一種超微量元素分析儀的管道連接機構，包括分析儀本體，所述分析儀本體頂部的輸出端連通有豎管，所述豎管的頂部設置有法蘭，所述法蘭的頂部連通有管道，所述豎管的表面套設有空心管，所述空心管的頂部與法蘭的底部固定連接，所述分析儀本體頂部的兩側均固定連接有豎塊，所述豎塊位于豎管的外側。本實用新型通過設置分析儀本體、豎管、法蘭、空心管、豎塊、卡塊、橫塊、彈簧、活動桿、支塊、活動板和管道的配合使用，解決了現有的分析儀在管道連接的過程中，大多是通過螺栓對管道進行連接，且連接過程繁瑣的問題，該超微量元素分析儀的管道連接機構，具備便于連接的優(yōu)點，提高了分析儀的實用性。

技術領域

本實用新型涉及半導體生產技術領域，具體為一種超微量元素分析儀的管道連接機構。

背景技術

半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用，如二極管就是采用半導體制作的器件，半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料，無論從科技或是經濟發(fā)展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的，今日大部分的電子產品，如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連，常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業(yè)應用上最具有影響力的一種。

在半導體生產的過程中，需要用到分析儀對，分析儀在使用的過程中，會產生廢氣，廢氣在排放的過程中，需要對管道進行連接，但是現有的分析儀在管道連接的過程中，大多是通過螺栓對管道進行連接，且連接過程繁瑣，降低了分析儀的實用性。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種超微量元素分析儀的管道連接機構，具備便于連接的優(yōu)點，解決了現有的分析儀在管道連接的過程中，大多是通過螺栓對管道進行連接，且連接過程繁瑣的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種超微量元素分析儀的管道連接機構，包括分析儀本體，所述分析儀本體頂部的輸出端連通有豎管，所述豎管的頂部設置有法蘭，所述法蘭的頂部連通有管道，所述豎管的表面套設有空心管，所述空心管的頂部與法蘭的底部固定連接，所述分析儀本體頂部的兩側均固定連接有豎塊，所述豎塊位于豎管的外側，所述豎塊的內部開設有凹槽，凹槽的內部設置有卡塊，所述卡塊的頂部和底部均與凹槽的內壁滑動連接，所述卡塊的內側貫穿至空心管的內部，所述卡塊的外側固定連橫塊，所述橫塊的外側貫穿至豎塊的外側，所述橫塊的表面套設有彈簧，所述彈簧的外側與凹槽的內壁固定連接，所述彈簧的內側與卡塊的外側固定連接，所述橫塊正面的外側固定連接有活動桿，所述豎塊外側的底部固定連接有支塊，所述支塊的正面通過轉軸活動連接有活動板，所述活動板的正面開設有與活動桿配合使用的活動孔，所述活動桿的表面與活動塊的內壁滑動連接。

優(yōu)選的，所述空心管的表面開設有與卡塊配合使用的卡槽，凹槽的內壁開設有與卡塊配合所對應的滑槽。

優(yōu)選的，所述豎管內壁的頂部固定連接有第一固定塊，所述法蘭的底部開設有與第一固定塊配合使用的固定槽，固定槽內壁的頂部固定連接有第一密封圈，所述第一密封圈的底部與第一固定塊的頂部接觸，所述第一固定塊和固定槽的形狀均為環(huán)形。

優(yōu)選的，所述法蘭的底部固定連接有第二固定塊，所述第二固定塊位于第一固定塊的內側，所述第一固定塊的底部固定連接有支撐塊，所述支撐塊的表面與豎管的內壁固定連接，所述支撐塊的頂部固定連接有第二密封圈，所述第二固定塊的底部與第二密封圈的頂部接觸，所述支撐塊的橫截面為三角形。

優(yōu)選的，所述豎管的正面和背面均固定連接有限位塊，所述空心管的內壁開設有與限位塊配合使用的限位槽，所述限位塊和限位槽的形狀均為半圓形。

優(yōu)選的，所述豎管的頂部固定連接有密封墊，所述密封墊的頂部與法蘭的底部接觸，所述密封墊的形狀為環(huán)形。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：