[實用新型]一種調整結構

有效

• 申請號: 201921147435.3
• 申請日: 2019-07-22
• 公開（公告）號: CN211041820U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 劉群;徐棟;林佳繼;朱太榮;龐愛鎖;林依婷
• 申請（專利權）人: 深圳市拉普拉斯能源技術有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

本實用新型公開了一種調整結構，包括調整裝置本體、設置在調整裝置本體上的旋鈕件，調整裝置本體與爐門通過旋鈕件連接；本實用新型提供了一種結構簡單，使爐門能快速調節到具有良好密封效果的調整結構。

技術領域

本實用新型涉及半導體或光伏材料加工領域，更具體的說，它涉及一種半導體或光伏材料加工設備的調整結構。

背景技術

半導體或光伏材料廣泛應用于電子、新能源等行業，半導體和光伏材料通常都需要經過化學處理才能夠應用到產品上，CVD技術是其中的一種處理方式，CVD即化學氣相沉積，CVD技術目前已經廣泛用于半導體或光伏材料加工，常見的加工設備有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外還有擴散工藝，例如磷擴散、硼擴散等，都可以采用氣體擴散的方式來對原材料進行加工，目前行業內已有不少相關的設備，可以針對具體的加工需求來選擇相應的設備進行加工，半導體或光伏材料的加工，通常是將片狀材料送入爐中在一定溫度和壓力的條件下進行反應來實現，在對半導體或者光伏材料加工的過程中，通常采用一些裝置來裝載或移動待加工的、加工中的或者加工后的材料，行業內通常把這種裝載或者移動的裝置稱為舟、石墨舟、小舟或者花籃。

目前相應設備的爐門密封是靠密封板與爐框相接觸的方式進行密封，且密封板為卡扣式，即密封板通過卡扣固定在爐門上，在爐門密封不嚴時，操作人員通過敲打卡扣的方式使密封板前進進行密封，但是，經過長時間使用，密封板與爐框相接觸的位置磨損嚴重，再通過密封板對爐門與爐框進行密封的時候，就會出現密封不嚴的情況，從而導致爐門冒煙，影響環境衛生，同時還會對企業經濟效益和社會效益造成嚴重的影響。

發明內容

本實用新型克服了現有技術的不足，提供了一種結構簡單，使爐門能快速調節到具有良好密封效果的調整結構。

本實用新型的技術方案如下：

一種調整結構，包括調整裝置本體、設置在調整裝置本體上的旋鈕件，調整裝置本體與爐門通過旋鈕件連接。

進一步的，調整裝置本體的軸向與旋鈕件的軸向是非平行關系。

進一步的，調整裝置本體的軸向與旋鈕件的軸向為垂直關系。

進一步的，爐門中心設置連接部與調整裝置本體連接，連接部上設置與旋鈕件匹配的通孔。

進一步的，連接部整體呈圓柱形，連接部遠離爐門的一端設置導角。

進一步的，調整裝置本體靠近爐門中心的一端設置連接孔，連接孔越靠近爐門，連接孔的內徑越大；或者連接孔越遠離爐門，連接孔的內徑越大。

進一步的，調整裝置本體整體采用長方體，調整裝置遠離爐門中心的一端設置控制調整裝置本體轉動的旋件。

進一步的，旋件周圍設置固定件，固定件采用螺栓固定。

進一步的，旋件遠離調整裝置本體的一端設置調整件，另一端固定在調整裝置本體上；調整件套接在旋件上，固定旋件。

進一步的，調整件與旋件之間的接觸面采用凹凸面來固定旋件。

本實用新型的優點在于：

本方案結構簡單、調整方便，容易推廣使用，通過調整裝置本體的調節調整爐門為一個維度，旋鈕件的輔助調整爐門為另一個維度，從而實現爐門的調整，以配合爐體達到真空密封效果。兩者維度為垂直關系時，更能實現高效、便捷的進行爐門的調整，達到爐門與爐體結合的良好密封效果。旋鈕件不僅可以當作調整爐門一個維度的結構，亦可實現爐門與調整裝置本體的連接。