[實用新型]一種帶廢氣收集裝置的半導體鈦鎢蝕刻機

有效

• 申請號: 201921144098.2
• 申請日: 2019-07-21
• 公開（公告）號: CN210636072U
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 閆文軍;杜良輝;張勇
• 申請（專利權）人: 江蘇壹度科技股份有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;B01D46/10;B01D53/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及蝕刻設備技術領域，具體為一種帶廢氣收集裝置的半導體鈦鎢蝕刻機，包括裝置主體，裝置主體上設有廢氣收集處理裝置，廢氣收集處理裝置包括設置在裝置主體上的第一出氣管，保護套筒內設有驅動電機，驅動電機的輸出軸末端緊密焊接有若干個呈環狀等間距排列的風扇葉片，底座上設有第二出氣管，第二出氣管上設有廢氣處理筒，排氣管的末端管體的管壁上緊密粘接有細濾網。本實用新型操作簡單，使用方便，實現對蝕刻過程中產生的廢氣進行處理，減少有害氣體對人體造成的不利影響。

技術領域

本實用新型涉及蝕刻設備技術領域，具體為一種帶廢氣收集裝置的半導體鈦鎢蝕刻機。

背景技術

蝕刻機是使用化學溶液，經由化學反應以達到蝕刻目的設備，目前蝕刻機的種類較多，其中有專門針對半導體進行蝕刻的半導體鈦鎢蝕刻機，但是一般的半導體鈦鎢蝕刻機上未設有廢氣收集處理裝置，在某些情況下，進行蝕刻時會產生一定的有害氣體，危害人的健康。鑒于此，我們提出一種帶廢氣收集裝置的半導體鈦鎢蝕刻機。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種帶廢氣收集裝置的半導體鈦鎢蝕刻機，以解決上述背景技術中提出的一般的半導體鈦鎢蝕刻機上未設有廢氣收集處理裝置，在某些情況下，進行蝕刻時會產生一定的有害氣體，進而會危害人的健康的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種帶廢氣收集裝置的半導體鈦鎢蝕刻機，包括裝置主體，所述裝置主體上設有廢氣收集處理裝置，所述廢氣收集處理裝置包括設置在所述裝置主體上的第一出氣管，所述第一出氣管的其中一末端穿過所述裝置主體的外殼并與所述裝置主體內部的空腔相連通，所述第一出氣管的另外一末端設有保護套筒，所述保護套筒內設有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸末端緊密焊接有若干個呈環狀等間距排列的風扇葉片，所述保護套筒上設有底座，所述底座上設有第二出氣管，所述第一出氣管與所述第二出氣管相連通，所述第二出氣管上設有廢氣處理筒，所述廢氣處理筒內設有儲液空腔，所述第二出氣管與所述儲液空腔相連通，所述廢氣處理筒上還設有與所述儲液空腔相連通的排氣管，所述排氣管的末端管體的管壁上緊密粘接有細濾網，所述排氣管的末端管體的管壁上還緊密粘接有活性炭吸附網，所述活性炭吸附網位于最外側。

優選的，所述底座與所述保護套筒為一體成型結構。

優選的，靠近保護套筒的所述第一出氣管的末端管體上緊密焊接有密封蓋，所述密封蓋與所述保護套筒之間通過若干個緊固螺栓固定連接。

優選的，所述驅動電機與所述保護套筒的內壁之間緊密焊接有兩個相互對稱的固定板。

優選的，所述廢氣處理筒上還設有沿著廢氣處理筒高度方向設置的透明視窗。

優選的，所述廢氣處理筒上還設有螺紋投藥管，所述螺紋投藥管與所述儲液空腔相連通，所述螺紋投藥管上螺紋連接有螺紋蓋。

優選的，所述儲液空腔內盛裝有藥液，所述第二出氣管的末端管體插入到藥液內，所述排氣管的末端管體位于藥液的上方。

優選的，所述密封蓋與所述保護套筒之間還設有密封筒，所述密封筒與所述保護套筒之間插接配合，所述密封筒上設有密封環，所述密封蓋將所述密封環壓緊在所述保護套筒上。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型通過設置的廢氣收集處理裝置，實現將裝置主體內部空腔中的廢氣輸送至廢氣處理筒內，對廢氣進行收集，利用藥液對廢氣進行處理，并通過在排氣管內設置的細濾網以及活性炭吸附網，實現對廢氣進行進一步處理，保證將廢氣處理的更加徹底，解決了一般的半導體鈦鎢蝕刻機上未設有廢氣收集處理裝置，在某些情況下，進行蝕刻時會產生一定的有害氣體，進而會危害人的健康的問題。