[實用新型]一種硅片拋光機修拋光布刀片手柄

有效

• 申請號: 201921140383.7
• 申請日: 2019-07-19
• 公開（公告）號: CN210388751U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 李濤;范強;高戰峰
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B23/02;B24B41/02
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 羅民健

本實用新型提供了一種硅片拋光機修拋光布刀片手柄，包括安裝板、手持板、固定銷、固定螺絲和固定螺帽，安裝板為矩形板，安裝板還包括安裝端和手持端，安裝端和手持端還分別設置于安裝板的兩端，安裝端還設有供刀片安裝的凹槽，凹槽還與安裝板的中軸線相垂直，凹槽的側壁上還設有貫穿凹槽的通孔，通孔包括第一通孔、第二通孔和第三通孔，第一通孔中設置固定銷，固定螺絲還包括第一固定螺絲和第二固定螺絲，第一固定螺絲和第二固定螺絲的螺紋端還分別穿過第二通孔和第三通孔連接于固定螺帽，手持端還連有手持板。本實用新型針對硅片拋光生產過程中對拋光布進行人工刮修環節，方便了操作工人的現場操作。

技術領域

本實用新型屬于半導體制造技術領域，主要涉及一種硅片拋光機修拋光布刀片手柄。

背景技術

拋光硅片生產中拋光布手工刮修在小轉盤拋光機中仍是一個不可或缺的工藝技術環節，通常使用市售通用的單面刀片來進行。在拋光機主轉盤的轉動同時，操作者將單面刀片以一個適當的壓力作用在拋光布上，將漬進拋光布絨毛內的殘余拋光液刮出以便再進行下一次新的硅片的拋光操作。而操作者直接手持單面刀片進行操作時手指距離拋光布表面過近，拋光布上的（殘余拋光液及沖洗純水混合）液體濺到操作者手上，再隨著操作者的其他操作行為帶往設備等其他生產環節中，不利于環境控制，操作者直接手持單面刀片對拋光布進行刮修的力度也不容易掌握，難以保障操作的準確度和拋光布刮修的質量。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種硅片拋光機修拋光布刀片手柄，針對硅片拋光生產過程中對拋光布進行人工刮修環節，方便了操作工人的現場操作。

為了實現上述目的，本實用新型采用的技術方案為：

一種硅片拋光機修拋光布刀片手柄，其特征在于：包括安裝板、手持板、固定銷、固定螺絲和固定螺帽，所述安裝板為矩形板，安裝板還包括安裝端和手持端，所述安裝端和所述手持端還分別設置于安裝板的兩端，所述安裝端還設有供刀片安裝的凹槽，所述凹槽還與安裝板的中軸線相垂直，凹槽的側壁上還設有貫穿凹槽的通孔，所述通孔包括第一通孔、第二通孔和第三通孔，所述第一通孔中設置所述固定銷，所述固定螺絲還包括第一固定螺絲和第二固定螺絲，第一固定螺絲和第二固定螺絲的螺紋端還分別穿過所述第二通孔和所述第三通孔連接于所述固定螺帽，所述手持端還連有手持板。

進一步的，所述凹槽為供刀片背部穿過的T型槽。

進一步的，所述手持板設置于手持端的一側。

進一步的，所述手持板與所述手持端面之間設有第一弧形面，所述手持板與安裝板的側壁之間設有供檔濺板設置的第二弧形面，所述第一弧形面朝向安裝板的外部彎曲，所述第二弧形面還朝向安裝板的內部彎曲。

進一步的，所述固定銷與第一固定螺絲之間的距離與帶孔刀片的兩孔之間的距離相同，所述固定銷與第二固定螺絲之間的距離與不帶孔刀片的寬度相同。

本實用新型的有益效果為：

1、本實用新型的一種硅片拋光機修拋光布刀片手柄，能夠同時滿足帶孔刀片及不帶孔刀片的固定，安裝方便，便于工作人員的操作，同時還避免了拋光布上液體的飛濺，便于車間環境的控制；

2、手持板與安裝板之間設有兩個弧面，第一弧面向上彎曲，適應于手形較大、且習慣于從上部來對拋光布表面施壓的操作者使用，第二弧面向則內彎曲，適應于手形較小并習慣從旁邊持刀工作的操作者使用，第二弧面除了滿足手形較小以及不同持刀習慣的操作者需要外，還有在刀片修布到拋光布邊緣時能夠避讓擋濺板的功用。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型與拋光布和檔濺板的配合圖；

圖3為圖1中A-A面的剖視圖；

圖4為本實用新型與帶孔刀片的配合圖；