[實用新型]靶材浸潤處理裝置

有效

• 申請號: 201921138582.4
• 申請日: 2019-07-19
• 公開（公告）號: CN210334658U
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;丁向前
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23K1/20
• 分類號: B23K1/20;B23K3/08
• 代理公司: 北京超成律師事務所 11646
• 代理人: 韓夢嘉

1.一種靶材浸潤處理裝置，其特征在于，包括：基座組件(100)和滾輪組件(200)；

其中，所述滾輪組件(200)包括連接軸(210)和傳動連接于所述連接軸(210)上的滾輪(220)，所述基座組件(100)套設于所述連接軸(210)上，并能夠沿所述連接軸(210)的軸向移動；

所述基座組件(100)上安裝有用于靶材浸潤處理的超聲波發生器(300)。

2.根據權利要求1所述的靶材浸潤處理裝置，其特征在于，所述基座組件(100)包括基座主體(110)和攤手(120)；

所述攤手(120)可拆卸地連接于所述基座主體(110)。

3.根據權利要求2所述的靶材浸潤處理裝置，其特征在于，所述基座主體(110)上表面開設有卡槽，所述攤手(120)的一端部設置有用于與所述卡槽實現卡接的卡頭(123)。

4.根據權利要求3所述的靶材浸潤處理裝置，其特征在于，所述基座主體(110)上表面開設有與所述連接軸(210)的軸向平行的第一卡槽(111)，以及與所述連接軸(210)的軸向垂直的第二卡槽(112)；

相應的，所述攤手(120)設置為兩組，兩組所述攤手(120)上的所述卡頭(123)與所述第一卡槽(111)及所述第二卡槽(112)分別對應卡接。

5.根據權利要求3所述的靶材浸潤處理裝置，其特征在于，所述攤手(120)包括長條板(121)，所述長條板(121)的第一端彎折形成所述卡頭(123)，第二端連接有柱狀的把手(122)。

6.根據權利要求2-5任一項所述的靶材浸潤處理裝置，其特征在于，所述攤手(120)采用輕質的有機塑料材質。

7.根據權利要求2所述的靶材浸潤處理裝置，其特征在于，所述基座主體(110)上開設有用于穿設所述連接軸(210)的通孔(113)；

所述連接軸(210)與所述通孔(113)之間連接有套筒。

8.根據權利要求2所述的靶材浸潤處理裝置，其特征在于，所述基座主體(110)與所述超聲波發生器(300)之間通過可調節兩者之間相對位置的調節組件(400)連接。

9.根據權利要求1所述的靶材浸潤處理裝置，其特征在于，所述超聲波發生器(300)包括超聲波探頭；

所述超聲波探頭包括有用于冷卻的水道(310)和氣道(320)，所述水道(310)的進口及出口用于與外界冷水循環裝置連接，所述氣道(320)的進口及出口用于與外界冷氣循環裝置連接。

10.根據權利要求1所述的靶材浸潤處理裝置，其特征在于，所述連接軸(210)的兩端分別設置有所述滾輪(220)，且所述滾輪(220)與所述連接軸(210)之間通過軸承連接。