[實(shí)用新型]制品

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921137461.8
• 申請(qǐng)日: 2019-07-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212357383U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄔笑煒;J·Y·孫;M·R·賴斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): C23C16/30
• 分類號(hào): C23C16/30;C23C16/455
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖;張?chǎng)?/td>

1.一種制品，其特征在于，所述制品包括：

主體；

含稀土金屬的氟化物涂層，所述含稀土金屬的氟化物涂層在所述主體的表面上；以及

緩沖層，所述緩沖層在所述主體的所述表面上，其中所述含稀土金屬的氟化物涂層覆蓋所述緩沖層。

2.如權(quán)利要求1所述的制品，其中所述含稀土金屬的氟化物涂層具有約5nm至約10μm的厚度。

3.如權(quán)利要求1所述的制品，其中所述制品是處理腔室的部件，所述處理腔室的部件選自由以下項(xiàng)組成的群組：腔室壁、噴頭、噴嘴、等離子體產(chǎn)生單元、射頻電極、電極殼體、擴(kuò)散器以及氣體管線。