[實用新型]諧振腔式ECR等離子體源裝置有效
| 申請號： | 201921134276.3 | 申請日： | 2019-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN211792198U | 公開（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發明（設計）人： | 劉宇;張仲愷;雷久侯;曹金祥 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 張靜 |
| 地址： | 230026 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 諧振腔 ecr 等離子體 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種諧振腔式ECR等離子體源裝置，其特征在于，包括：
真空諧振腔，用于使得設定頻率的微波產生諧振；
置于所述真空諧振腔內的天線密封罩，所述天線密封罩具有連接外部大氣的天線開口；
通過所述天線開口置于所述天線密封罩中的天線，所述天線用于通過所述天線密封罩向所述真空諧振腔輻射所述微波；
置于所述真空諧振腔外部的ECR控制元件，用于在所述真空諧振腔內產生電子回旋共振所需磁場，以在所述真空諧振腔內產生ECR等離子體。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述真空諧振腔包括：圓筒本體，所述圓筒本體的底端密封，其頂端設置有諧振增強環。
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述ECR控制元件為磁場線圈，由多匝線圈繞制，用于連接直流穩流電源。
4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述磁場線圈為漆包線繞制的電磁線圈。
5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述天線密封罩為石英玻璃罩。
6.根據權利要求1-5任一項所述的裝置，其特征在于，所述天線為棒狀天線，其一端通過所述天線開口置于所述天線密封罩中，另一端連接微波源產生電路；
所述棒狀天線內部具有水冷結構。
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