[實用新型]一種太陽能電池硅片擴散爐進氣裝置

有效

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• 申請日: 2019-07-17
• 公開（公告）號: CN210368002U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設計）人: 蔣海良
• 申請（專利權）人: 嘉興金瑞光伏科技有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16;H01L31/18
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 程開生

本實用新型公開了一種太陽能電池硅片擴散爐進氣裝置，包括進氣主體和進氣管，進氣主體的一側固定安裝有進氣管，進氣管的一側固定安裝有第一過濾板，第一過濾板的內(nèi)部活動連接有轉軸，轉軸的一側固定安裝有葉片，葉片的表面嵌入設置有第一過濾孔，第一過濾板的一側固定安裝有第二過濾板，第二過濾板的表面嵌入設置有第二過濾孔，第二過濾板的一側固定安裝有第三過濾板。本實用新型通過風力讓葉片進行轉動對氣體進行攪拌，再通過第一過濾孔讓氣體經(jīng)過時氣體能夠產(chǎn)生阻力，然后進入第二過濾板，通過第二過濾孔對氣體進行再次分離再融合后流入第三過濾板，通過齒條讓氣體經(jīng)過能夠進行多個分離然后再集合到一起，讓氣體能夠分布均勻。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)制造技術領域，尤其涉及一種擴散爐進氣裝置。

背景技術

在太陽能電池生產(chǎn)制造過程中，氣體攜帶磷源到達硅片表面，經(jīng)過擴散爐高溫擴散得到P-N結結構。目前使用的擴散爐管的石英進氣管其內(nèi)部設置有貫穿進氣管的內(nèi)管，進氣管管壁上另連接外管，攜磷氮氣直接從內(nèi)管送入用于與進氣管連接的擴散爐管再到到達擴散爐，氮氣和氧氣混合氣體從外管進入進氣管與內(nèi)管間的管腔送入擴散爐管到，其間沒有進行混合，直接通入擴散爐后容易導致氣體分布不均勻，且原有的石英進氣管與擴散爐管的接口存在缺陷，擴散爐管直接抵在碗狀連接口，與連接口壁間容易滑動，安裝時容易出現(xiàn)偏斜，造成磷源在硅片上出現(xiàn)分布不均勻的情況，繼而引起方塊電阻均勻性變差，電池片轉換效率降低。

公開專利號為CN201220362146.7的一種太陽能電池硅片擴散爐進氣裝置，該裝置通過勻流板和勻流孔將氣體進行過濾讓氣體經(jīng)過能夠讓氮氣和氧氣混合氣體混合均勻，但該裝置結構簡單氮氣和氧氣混合氣體仍然有不均勻的現(xiàn)象，因此解決以上問題提供一種太陽能電池硅片擴散爐進氣裝置。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了解決上述技術中存在的缺點，而提出的一種太陽能電池硅片擴散爐進氣裝置，該裝置通過進氣口將氣體傳入進氣管內(nèi)，通過風力讓葉片進行轉動對氣體進行攪拌讓氮氣和氧氣混合氣體能夠攪拌均勻，再通過第一過濾孔讓氣體經(jīng)過時氣體能夠產(chǎn)生阻力，使不同的氣體能夠混合均勻，然后進入第二過濾板，通過第二過濾孔對氣體進行再次分離再融合后流入第三過濾板，通過齒條讓氣體經(jīng)過能夠進行多個分離然后再集合到一起，使氣體均勻的效果更好，最后通過排氣管通過多個阻力使氣體能夠產(chǎn)生旋轉的效果，讓氣體能夠分布均勻。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種太陽能電池硅片擴散爐進氣裝置，包括進氣主體和進氣管，所述進氣主體的一側固定安裝有進氣管；

所述進氣管包括進氣口、第一過濾板、轉軸、葉片、第一過濾孔、第二過濾板、第二過濾孔、第三過濾板、連接板、鋸齒、進氣罩、排氣管、尖角、出氣口，所述進氣管的一側固定安裝有第一過濾板，所述第一過濾板的內(nèi)部活動連接有轉軸，所述轉軸的一側固定安裝有葉片，所述葉片的表面嵌入設置有第一過濾孔，所述第一過濾板的一側固定安裝有第二過濾板，所述第二過濾板的表面嵌入設置有第二過濾孔，所述第二過濾板的一側固定安裝有第三過濾板，所述第三過濾板的內(nèi)部固定安裝有連接板，所述連接板的下方固定安裝有鋸齒，所述鋸齒的一側固定安裝有進氣罩，所述進氣罩的一側固定安裝有排氣管，所述排氣管的內(nèi)部固定安裝有尖角，所述排氣管的上方固定安裝有出氣口。

作為上述技術方案的進一步描述：所述葉片為PPS塑料材質(zhì)，且葉片厚度為2cm-3cm。

作為上述技術方案的進一步描述：所述第一過濾孔為三角形狀，且第一過濾孔在葉片表面上下對稱設置。

作為上述技術方案的進一步描述：所述第二過濾孔為齒輪形狀，且第二過濾孔的直徑為3cm-5cm。

作為上述技術方案的進一步描述：所述鋸齒為三角形狀，且鋸齒為上下對稱設置，而鋸齒上下之間的距離為2cm-3cm。

作為上述技術方案的進一步描述：所述排氣管為波浪形狀，且排氣管為PVC塑料材質(zhì)。