[實(shí)用新型]一種用于放置石英舟的舟座有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921114208.0 | 申請日： | 2019-07-16 |
| 公開（公告）號： | CN210223973U | 公開（公告）日： | 2020-03-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 常永喜;湯芳 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州浩銳石英科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215231 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 放置 石英 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于放置石英舟的舟座，其特征在于，包括放置臺、支撐架、升降機(jī)構(gòu)和支撐座，所述支撐架內(nèi)設(shè)置有放置臺，所述放置臺的下方設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在支撐座上，所述放置臺與支撐架的內(nèi)側(cè)滑動連接，所述支撐架上設(shè)置有折疊塊使所述支撐架的上部可以折疊,所述放置臺上設(shè)置有舟卡槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于放置石英舟的舟座，其特征在于，所述舟卡槽為均勻分布。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于放置石英舟的舟座，其特征在于，所述舟卡槽內(nèi)設(shè)置有墊片，所述墊片為可升降式的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于放置石英舟的舟座，其特征在于，所述支撐架的內(nèi)側(cè)設(shè)置有擋塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于放置石英舟的舟座，其特征在于，所述放置臺的兩側(cè)設(shè)置有把手。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
