[實用新型]一種無塵室專用鉆孔加工輔助治具

有效

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• 申請日: 2019-07-16
• 公開（公告）號: CN210755354U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設計）人: 黃朝龍;杜天祥
• 申請（專利權）人: 江蘇匯成光電有限公司
• 主分類號: B23B47/00
• 分類號: B23B47/00;B23Q11/00
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 王峰

本實用新型公開了半導體加工制造領域內的一種無塵室專用鉆孔加工輔助治具，包括筒狀罩體，所述罩體包括從左到右依次設置的伸縮筒體、固定筒體和旋轉筒體，伸縮筒體與固定筒體之間軸向設置有彈性伸縮機構，旋轉筒體與固定筒體相轉動連接，所述伸縮筒體的環(huán)形端面上連接有磁鐵吸環(huán)，所述固定筒體上開設有吸塵孔，吸塵孔經管線與吸塵機構相連接，所述伸縮筒體的端部對應待加工物設置，所述旋轉鉆頭從旋轉筒體的端部開口軸向伸入筒狀罩體內部，旋轉鉆頭的端部與磁鐵吸環(huán)相對應設置，所述旋轉鉆頭的鉆頭殼體與旋轉筒體通過緊固件相固定。本實用新型解決鉆孔加工時產生金屬、非金屬顆粒導致污染環(huán)境的問題。

技術領域

本實用新型屬于半導體加工制造領域，特別涉及一種無塵室專用鉆孔加工輔助治具。

背景技術

目前，確保無塵室環(huán)境的潔凈無塵是半導體制造行業(yè)內確保高產品合格率的最重要因素，因此需要在無塵室中盡量避免引起潔凈度降低的施工作業(yè)。然而鉆孔加工又是半導體制造中必不可少的操作步驟，鉆孔加工時會產生金屬顆粒，造成環(huán)境污染，半導體制程中要求環(huán)境中不能有金屬顆粒與非金屬顆粒，現(xiàn)有技術中，通常采用將產生顆粒的設備移至非無塵室進行加工，比較麻煩和費事，造成較多的移機、改裝費用，無形中增加了成本。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種無塵室專用鉆孔加工輔助治具，解決鉆孔加工時產生金屬、非金屬顆粒導致污染環(huán)境的問題，能夠防止金屬顆粒造成半導體制程中的產品產生異常，避免產品生產良率降低。

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：一種無塵室專用鉆孔加工輔助治具，包括筒狀罩體，所述罩體包括從左到右依次設置的伸縮筒體、固定筒體和旋轉筒體，伸縮筒體、固定筒體和旋轉筒體的左右兩端均設有開口，伸縮筒體與固定筒體之間軸向設置有彈性伸縮機構，旋轉筒體與固定筒體相轉動連接，所述伸縮筒體的環(huán)形端面上連接有磁鐵吸環(huán)，所述固定筒體上開設有吸塵孔，吸塵孔經管線與吸塵機構相連接，所述伸縮筒體的端部對應待加工物設置，所述旋轉鉆頭從旋轉筒體的端部開口軸向伸入筒狀罩體內部，旋轉鉆頭軸線與筒狀罩體軸線相重合，旋轉鉆頭的端部與磁鐵吸環(huán)相對應設置，所述旋轉鉆頭的鉆頭殼體與旋轉筒體通過緊固件相固定。

本實用新型使用時，將手電鉆的旋轉鉆頭從旋轉筒體的端部開口軸向伸入筒狀罩體內部，通過緊固件將旋轉鉆頭的鉆頭殼體與旋轉筒體相固定，將伸縮筒體的環(huán)形端面壓靠在待加工物上，通過將手電鉆對著待加工物向下壓，使得伸縮筒體縮入固定筒體內部，旋轉鉆頭就可以伸到伸縮筒體外面并且旋轉鉆頭的伸出距離可以改變，可以實現(xiàn)通過旋轉鉆頭鉆出不同的加工深度；磁鐵吸環(huán)可以將待加工物的金屬顆粒吸附住，罩體將非金屬顆粒罩住，吸塵機構通過管線將非金屬顆粒吸走。與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果在于：將鉆孔加工產生的顆粒收集起來，維持無塵室環(huán)境潔凈，保證產品的良率，實現(xiàn)省去了移機成本。

作為本實用新型的進一步改進，所述伸縮筒體、固定筒體和旋轉筒體的軸線互相重合。

作為本實用新型的進一步改進，所述伸縮筒體采用高分子透明材料制成，伸縮筒體的外側設置有刻度線，刻度線方向與伸縮筒體軸線相平行。進行鉆孔加工時，可通過透明的伸縮筒體觀看到鉆孔加工情況，通過刻度線可以確認鉆孔加工的深度。

作為本實用新型的進一步改進，所述彈性伸縮機構為環(huán)形彈簧，環(huán)形彈簧與固定筒體的軸線相重合，環(huán)形彈簧外側面與固定筒體內側面相對應設置，伸縮筒體右端伸入固定筒體內部，伸縮筒體右端面與環(huán)形彈簧的左端面相連接，固定筒體內側設置有定位環(huán)，環(huán)形彈簧的右端面彈性抵觸在定位環(huán)上。伸縮筒體可以沿著固定筒體內側面軸向移動。

作為本實用新型的進一步改進，所述彈性伸縮機構為若干根沿固定筒體內周向均勻間隔分布的彈簧，伸縮筒體右端伸入固定筒體內部，伸縮筒體右端面與各彈簧的左端相連接，固定筒體內側設置有定位環(huán)，各彈簧的右端均彈性抵觸在定位環(huán)上。多根彈簧使得彈性壓力沿周向均勻分布。

作為本實用新型的進一步改進，所述固定筒體內周和旋轉筒體外周之間設置有培林軸承。