[實用新型]大直徑高效N型單晶硅的磁控拉晶裝置

有效

• 申請號: 201921105801.9
• 申請日: 2019-07-15
• 公開（公告）號: CN210341126U
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 陳嘉豪;徐文州;耿榮軍;喻先麗
• 申請（專利權）人: 樂山新天源太陽能科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B30/04;C30B15/00
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙) 51232
• 代理人: 李玉興

1.大直徑高效N型單晶硅的磁控拉晶裝置，包括爐體(1)；所述爐體(1)上方設置有上爐腔(7)；所述上爐腔(7)上方設置有晶棒提升旋轉裝置(8)；所述爐體(1)的爐膛內設置有坩堝(3)；所述坩堝(3)下方設置有石墨托(2)；所述石墨托(2)下方設置有底部旋轉支撐桿(6)；所述坩堝(3)外側設置有加熱裝置(5)以及保溫罩(4)；所述爐體(1)底部設置有出氣口(16)；所述上爐腔(7)上設置有保護氣入口(71)以及抽真空口(72)；

其特征在于：所述爐體(1)的爐膛兩側均設置有磁場發生裝置(11)；所述磁場發生裝置(11)上設置有U型導磁體(12)；所述U型導磁體(12)一端與磁場發生裝置(11)連接，另一端延伸到坩堝(3)與加熱裝置(5)之間；所述U型導磁體(12)的外表面上設置有隔熱層(18)；所述U型導磁體(12)延伸到坩堝(3)與加熱裝置(5)之間的部分設置有均勻分布的導磁塊(17)；所述爐體(1)爐膛的上部設置有U型導磁體(12)固定支架(14)。

2.如權利要求1所述的大直徑高效N型單晶硅的磁控拉晶裝置，其特征在于：所述保護氣入口(71)連接有保護氣供給裝置(19)；所述保護氣入口(71)與保護氣供給裝置(19)之間設置有換熱裝置(20)；所述出氣口(16)與換熱裝置(20)連通。

3.如權利要求2所述的大直徑高效N型單晶硅的磁控拉晶裝置，其特征在于：所述加熱裝置(5)采用石墨加熱器；所述爐體(1)底部設置有與石墨加熱器連接的電極(15)。

4.如權利要求2所述的大直徑高效N型單晶硅的磁控拉晶裝置，其特征在于：所述爐體(1)上方設置有拉晶直徑測量裝置(13)。

5.如權利要求1所述的大直徑高效N型單晶硅的磁控拉晶裝置，其特征在于：所述磁場發生裝置(11)采用PRM-PFM61工頻磁場發生器。

6.如權利要求1所述的大直徑高效N型單晶硅的磁控拉晶裝置，其特征在于：所述隔熱層(18)采用玻璃纖維層。