[實用新型]基于探針臺的載片防滑裝置

有效

• 申請號: 201921102352.2
• 申請日: 2019-07-15
• 公開（公告）號: CN210604689U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 劉召滿
• 申請（專利權）人: 成都漢芯國科集成技術有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02;G01R31/26
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 軒勇麗

本實用新型公開了基于探針臺的載片防滑裝置，包括載片臺，所述載片臺頂壁上固定設有第一防滑裝置和第二防滑裝置，所述第一防滑裝置包括從載片臺邊緣向內依次固定的第一阻條、第二阻條和第三阻條。將晶圓放置在載片臺上進行測試時，第一防滑裝置和第二防滑裝置配合對晶圓起到阻礙防滑作用，避免晶圓滑落破碎，避免生產造成損失。

技術領域

本實用新型涉及探針臺設備領域，具體為基于探針臺的載片防滑裝置。

背景技術

在半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝測試的研發、生產制造、實效分析過程中，經常要量測晶圓內部的電參數，由于晶片尺寸越來越小，位于晶片上的測試器件也越來越小，沒有辦法用簡單的萬用表、示波器的表筆來探測信號，因此，探針臺被廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量中，旨在確保產品質量及可靠性，并縮減研發時間和產品制造工藝的成本，現有的探針臺裝置一般包括：顯微鏡、探針座、載片臺，載片臺用以承載待測試的晶圓。

目前，現有的載片臺上表面為光滑平面，不具有限位阻擋作用，在測試操作過程中晶圓容易從載片臺上滑落，造成碎片的風險，對生產造成損失。

發明內容

本實用新型的目的在于：針對上述現有的載片臺上表面為光滑平面，不具有限位阻擋作用，在測試操作過程中晶圓容易從載片臺上滑落，造成碎片的風險，對生產造成損失的問題，本實用新型提供基于探針臺的載片防滑裝置。

本實用新型采用的技術方案如下：

基于探針臺的載片防滑裝置，包括載片臺，所述載片臺頂壁上固定設有第一防滑裝置和第二防滑裝置，所述第一防滑裝置包括從載片臺邊緣向內依次固定的第一阻條、第二阻條和第三阻條。

工作原理：將晶圓放置在載片臺上進行測試時，第一防滑裝置和第二防滑裝置配合對晶圓起到阻礙防滑作用，避免晶圓滑落破碎，避免生產造成損失。

進一步地，所述第一阻條、第二阻條和第三阻條是同心圓環結構。

進一步地，所述第一阻條比第二阻條和第三阻條的高度高1～3mm。

進一步地，所述第一阻條、第二阻條和第三阻條是橡膠材質。

進一步地，所述第二防滑裝置是固定在第一阻條、第二阻條和第三阻條之間的防滑凸點。

進一步地，所述防滑凸點均是橡膠材質。

綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

1.本實用新型通過在載片臺頂壁上固定設有第一防滑裝置和第二防滑裝置，第一防滑裝置和第二防滑裝置配合對晶圓起到阻礙防滑作用，避免晶圓滑落破碎，避免生產造成損失。

附圖說明

圖1是本實用新型基于探針臺的載片防滑裝置的剖面圖；

圖2是本實用新型基于探針臺的載片防滑裝置的俯視圖。

圖中標記為：1-載片臺，2-第一防滑裝置，201-第一阻條，202-第二阻條，203-第三阻條，3-第二防滑裝置，301-防滑凸點。

具體實施方式

本說明書中公開的所有特征，除了互相排斥的特征和/或步驟以外，均可以以任何方式組合。

下面結合圖1和圖2對本實用新型作詳細說明。

實施例1

本實施例的結構，如圖1所示，基于探針臺的載片防滑裝置，包括載片臺1，所述載片臺1頂壁上固定設有第一防滑裝置2和第二防滑裝置3，所述第一防滑裝置2包括從載片臺1邊緣向內依次固定的第一阻條201、第二阻條202和第三阻條203。