[實(shí)用新型]一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921087404.3
• 申請(qǐng)日: 2019-07-11
• 公開（公告）號(hào): CN210487829U
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王宜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇斯米克電子科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067;G01R31/26
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

本實(shí)用新型屬于探針機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)，包括固定架，所述固定架的上表面通過(guò)螺紋旋合固定有轉(zhuǎn)架，所述轉(zhuǎn)架的外側(cè)表面開設(shè)有凹面槽，所述凹面槽的內(nèi)部通過(guò)轉(zhuǎn)軸架設(shè)有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)架的頂端內(nèi)緣處焊接有軸承環(huán)，所述轉(zhuǎn)架通過(guò)軸承環(huán)套接有套筒，所述套筒的內(nèi)部架設(shè)有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸上套接有絲杠；轉(zhuǎn)架與固定架通過(guò)螺紋連接，轉(zhuǎn)架與套筒通過(guò)軸承環(huán)保持連接，便于工作人員對(duì)探針機(jī)構(gòu)進(jìn)行拆卸與安裝，驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)改變伸縮桿與探頭的高度，便于探針機(jī)構(gòu)回復(fù)，避免對(duì)晶圓造成劃傷。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于探針機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

晶圓制作過(guò)程中需要使用探針進(jìn)行檢測(cè)，目前的探針在使用過(guò)程中依舊暴露出一些問(wèn)題，探針體積大，不易安裝以及拆卸，且探針使用過(guò)程中不易回復(fù)，有時(shí)導(dǎo)致晶圓劃傷報(bào)廢，針對(duì)目前的探針使用過(guò)程中所暴露的問(wèn)題，有必要對(duì)探針機(jī)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)與優(yōu)化。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)，具有便于安裝拆卸、使得探針有效回復(fù)的特點(diǎn)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)，包括固定架，所述固定架的上表面通過(guò)螺紋旋合固定有轉(zhuǎn)架，所述轉(zhuǎn)架的外側(cè)表面開設(shè)有凹面槽，所述凹面槽的內(nèi)部通過(guò)轉(zhuǎn)軸架設(shè)有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)架的頂端內(nèi)緣處焊接有軸承環(huán)，所述轉(zhuǎn)架通過(guò)軸承環(huán)套接有套筒，所述套筒的內(nèi)部架設(shè)有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸上套接有絲杠，所述套筒的底端一體成型有套桿，所述套桿的內(nèi)部套接有伸縮桿，所述絲杠與伸縮桿的頂端旋合連接，所述伸縮桿的底端套接有探頭。

作為本實(shí)用新型的一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)優(yōu)選技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)架為空心的圓柱體構(gòu)件，所述轉(zhuǎn)架的外側(cè)表面對(duì)稱開設(shè)有四個(gè)凹面槽，每個(gè)所述凹面槽的內(nèi)部均設(shè)有一個(gè)轉(zhuǎn)桿。

作為本實(shí)用新型的一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)優(yōu)選技術(shù)方案，所述套筒為空心圓柱體構(gòu)件，所述套筒的頂端通過(guò)螺栓固定有密封蓋。

作為本實(shí)用新型的一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)優(yōu)選技術(shù)方案，所述軸承環(huán)為雙面軸承，所述軸承環(huán)的兩側(cè)表面均設(shè)有滾珠。

作為本實(shí)用新型的一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)優(yōu)選技術(shù)方案，所述套桿的外側(cè)表面一體成型有四個(gè)第二凸條，所述固定架的內(nèi)壁開設(shè)有與第二凸條嵌合的凹槽。

作為本實(shí)用新型的一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)優(yōu)選技術(shù)方案，所述伸縮桿的外側(cè)表面一體成型有四個(gè)第一凸條，所述套桿的底端內(nèi)緣處開設(shè)有與第一凸條嵌合的嵌合槽。

作為本實(shí)用新型的一種硅晶圓測(cè)試用可自動(dòng)回復(fù)探針機(jī)構(gòu)優(yōu)選技術(shù)方案，所述探頭、驅(qū)動(dòng)電機(jī)與外界通過(guò)電性連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：轉(zhuǎn)架與固定架通過(guò)螺紋連接，轉(zhuǎn)架與套筒通過(guò)軸承環(huán)保持連接，便于工作人員對(duì)探針機(jī)構(gòu)進(jìn)行拆卸與安裝，第二凸條避免套筒在固定架的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，第一凸條避免伸縮桿在套桿的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)改變伸縮桿與探頭的高度，便于探針機(jī)構(gòu)回復(fù)，避免對(duì)晶圓造成劃傷。

附圖說(shuō)明

附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書的一部分，與本實(shí)用新型的實(shí)施例一起用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中：

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型中的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型中圖2的A處放大結(jié)構(gòu)示意圖；