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[實用新型]靜電保護電路及芯片有效

專利信息
申請號: 201921071000.5 申請日: 2019-07-09
公開(公告)號: CN210404734U 公開(公告)日: 2020-04-24
發明(設計)人: 許杞安 申請(專利權)人: 長鑫存儲技術有限公司
主分類號: H02H9/04 分類號: H02H9/04;H01L27/02
代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438 代理人: 孫寶海;袁禮君
地址: 230000 安徽省合肥市*** 國省代碼: 安徽;34
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摘要:
搜索關鍵詞: 靜電 保護 電路 芯片
【說明書】:

本公開提供一種靜電保護電路及芯片,靜電保護電路包括:第一靜電旁路,包括第一P型晶體管,漏極耦接于第一節點,源極耦接于第一電壓,柵極通過第一電阻模塊連接于第二電壓,第一節點電連接于信號輸入引腳;第二靜電旁路,包括第一N型晶體管,漏極耦接于第一節點,源極耦接于第二電壓,柵極通過第二電阻模塊連接于第一電壓;輸入緩沖電路,至少包括柵極耦接于第二節點的第二N型晶體管和第二P型晶體管;第三N型晶體管,耦接于第一節點、第二節點,控制端耦接于第三節點;控制模塊,耦接于第一電壓、第二電壓、第三節點,用于控制第三N型晶體管在ESD電流產生時關斷。本公開實施例可以克服MOS管柵氧化層厚度降低導致的GGNMOS電路保護功能失效問題。

技術領域

本公開涉及半導體技術領域,具體而言,涉及一種靜電保護電路及應用該靜電保護電路的芯片。

背景技術

ESD(Electrostatic Discharge,靜電放電)保護電路的設計對于集成電路芯片具有重要意義。當ESD發生時,瞬態電壓通過芯片管腳(PAD) 進入內部電路,電荷的瞬態累積可對芯片內部電路的器件造成損壞。被設計在PAD旁且耦接于PAD的ESD電路可以為這些瞬態電壓提供低阻旁路,使其進入電源線(VDD或VSS),保護芯片內部工作電路。

GGNMOS(gate-grounded NMOS,柵極接地的N型MOS管)靜電保護電路是一種常用的靜電保護電路,由柵極接地的晶體管為ESD電流提供低阻旁路,避免其擊穿輸入緩沖電路中的晶體管的柵極氧化層。在現有的GGNMOS靜電保護電路中,GGNMOS的PN結擊穿電壓小于輸入緩沖電路(buffer)中的晶體管的柵氧化層的擊穿電壓,當瞬態ESD 電流通過芯片管腳(PAD)進入時,GGNMOS的PN結被瞬間擊穿,將該電流旁路到電源線,實現保護目的。

但是,隨著工藝進步,晶體管柵氧化層的厚度越來越小,已經低于 PN結的擊穿電壓,ESD電流會首先擊穿輸入緩沖電路的晶體管柵極氧化物,現有的通過GGNMOS形成的ESD保護電路失去意義。

需要說明的是,在上述背景技術部分公開的信息僅用于加強對本公開的背景的理解,因此可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

實用新型內容

本公開的目的在于提供一種靜電保護電路,用于至少在一定程度上克服由于相關技術中的缺陷導致的GGNMOS靜電保護電路無法適應由技術進步帶來的柵氧化層厚度降低的問題。

根據本公開的第一方面,提供一種靜電保護電路,包括:

第一靜電旁路,至少包括第一P型晶體管,所述第一P型晶體管的漏極耦接于第一節點,源極耦接于第一電壓,柵極通過第一電阻模塊連接于第一電壓,所述第一節點電連接于信號輸入引腳;

第二靜電旁路,至少包括第一N型晶體管,所述第一N型晶體管的漏極耦接于所述第一節點,源極耦接于所述第二電壓,柵極通過第二電阻模塊連接于所述第二電壓;

輸入緩沖電路,至少包括第二N型晶體管和第二P型晶體管,所述第二N型晶體管的柵極和所述第二P型晶體管的柵極耦接于第二節點;

第三N型晶體管,第一端耦接于所述第一節點,第二端耦接于所述第二節點,控制端耦接于第三節點;

控制模塊,第一端耦接于所述第一電壓,第二端耦接于所述第二電壓,輸出端耦接于所述第三節點,用于控制所述第三N型晶體管在ESD 電流產生時關斷;

其中,所述第一電阻模塊和所述第二電阻模塊用于提供電阻功能。

在本公開的一種示例性實施例中,所述控制模塊包括:

第一電容,第一端耦接于所述第一電壓,第二端耦接于第四節點;

第三電阻模塊,用于提供電阻功能,第一端耦接于所述第四節點,第二端耦接于所述第二電壓;

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