[實用新型]一種光學(xué)鏡片拋光腐蝕特征點快速檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921041288.1
• 申請日: 2019-07-05
• 公開（公告）號: CN210189476U
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王善明
• 申請（專利權(quán)）人: 大連百斯光電科技有限公司
• 主分類號: B24B49/00
• 分類號: B24B49/00
• 代理公司: 北京挺立專利事務(wù)所(普通合伙) 11265
• 代理人: 陳列生

本實用新型公開了一種光學(xué)鏡片拋光腐蝕特征點快速檢測裝置，包括底座、燈條和拋光片本體，所述底座上安裝有燈條，且底座上安裝有豎筒，并且豎筒上開設(shè)有定位槽，所述定位槽的內(nèi)部安裝有固定桿，且固定桿安裝在固定槽的內(nèi)部，并且固定槽開設(shè)在底座上，所述豎筒上安裝有控制桿，且控制桿和橫桿相連接，并且橫桿安裝在豎筒上，所述橫桿安裝在固定筒的內(nèi)部，且固定筒固定在活動板上，所述豎筒安裝在安裝孔的內(nèi)部，所述功能槽的內(nèi)部固定有限位塊。該光學(xué)鏡片拋光腐蝕特征點快速檢測裝置，設(shè)計了具有調(diào)節(jié)功能的結(jié)構(gòu)，解決了傳統(tǒng)裝置不方便調(diào)節(jié)檢測高度的問題，同時設(shè)計了具有固定功能的結(jié)構(gòu)，解決了傳統(tǒng)裝置檢測效率低的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及單晶硅技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種光學(xué)鏡片拋光腐蝕特征點快速檢測裝置。

背景技術(shù)

單晶硅拋光片是集成電路加工中重要的組成材料之一，其中單晶硅拋光片熱處理工藝可以有效提高單晶硅拋光片的品質(zhì)。

隨著單晶硅拋光片的不斷應(yīng)用和發(fā)展，單晶硅拋光鏡片在加工過程中的缺點也逐漸顯現(xiàn)，單晶硅拋光鏡片在拋光使用的過程中，會產(chǎn)生腐蝕特征點，其中腐蝕特征點為單晶硅拋光鏡片在拋光中出現(xiàn)的瑕疵，其中所產(chǎn)生的瑕疵會導(dǎo)致單晶硅拋光鏡片使用效果下降，現(xiàn)有的檢測裝置，需要通過對單晶硅拋光鏡片進行透光檢查。

現(xiàn)有的鏡片檢測裝置在使用時存在著不方便調(diào)節(jié)檢測高度和檢測效率低的缺點。針對上述問題，急需在原有鏡片檢測裝置的基礎(chǔ)上進行創(chuàng)新設(shè)計。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種光學(xué)鏡片拋光腐蝕特征點快速檢測裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出不方便調(diào)節(jié)檢測高度和檢測效率低的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種光學(xué)鏡片拋光腐蝕特征點快速檢測裝置，包括底座、燈條和拋光片本體，所述底座上安裝有燈條，且底座上安裝有豎筒，并且豎筒上開設(shè)有定位槽，所述定位槽的內(nèi)部安裝有固定桿，且固定桿安裝在固定槽的內(nèi)部，并且固定槽開設(shè)在底座上，所述豎筒上安裝有控制桿，且控制桿和橫桿相連接，并且橫桿安裝在豎筒上，所述橫桿安裝在固定筒的內(nèi)部，且固定筒固定在活動板上，并且活動板安裝在活動槽的內(nèi)部，同時活動槽開設(shè)在豎筒上，所述豎筒安裝在安裝孔的內(nèi)部，且安裝孔開設(shè)在橫板上，并且橫板上開設(shè)有功能槽，所述功能槽的內(nèi)部固定有限位塊，且功能槽的內(nèi)部安裝有拋光片本體，并且拋光片本體和限位塊相連接。

優(yōu)選的，所述定位槽和固定桿為卡合連接，且固定桿和固定槽為滑動連接，并且固定桿的末端設(shè)置為弧形。

優(yōu)選的，所述控制桿和橫桿上均設(shè)置有錐齒輪，且控制桿和橫桿上的錐齒輪為嚙合連接，并且橫桿關(guān)于控制桿的中心線對稱設(shè)置。

優(yōu)選的，所述橫桿和固定筒為螺紋連接，且固定筒關(guān)于活動板的中心線對稱設(shè)置，并且活動板和活動槽為滑動連接。

優(yōu)選的，所述安裝孔的內(nèi)部嵌套有豎筒，且限位塊關(guān)于安裝孔的中心線等角度設(shè)置，并且限位塊和拋光片本體為卡合連接，同時拋光片本體嵌套在功能槽的內(nèi)部。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：該光學(xué)鏡片拋光腐蝕特征點快速檢測裝置，采用了新型的結(jié)構(gòu)設(shè)計，設(shè)計了具有調(diào)節(jié)功能的結(jié)構(gòu)，解決了傳統(tǒng)裝置不方便調(diào)節(jié)檢測高度的問題，同時設(shè)計了具有固定功能的結(jié)構(gòu)，解決了傳統(tǒng)裝置檢測效率低的問題；

1.底座、燈條、豎筒、控制桿、橫桿、固定筒、活動板、活動槽、安裝孔和橫板組成的結(jié)構(gòu)是裝置實現(xiàn)調(diào)節(jié)功能的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)，通過對控制桿進行控制，實現(xiàn)對活動板的控制，通過活動板對橫板進行固定，從而對橫板上拋光片本體調(diào)節(jié)后的高度進行固定，解決了傳統(tǒng)裝置不方便調(diào)節(jié)檢測高度的問題；

2.底座、燈條、豎筒、定位槽、固定桿、固定槽、橫板、功能槽、限位塊和拋光片本體組成的結(jié)構(gòu)是裝置實現(xiàn)固定功能的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)，通過功能槽和限位塊對拋光片本體進行固定，通過定位槽和固定桿方便使用者對檢測位置進行判斷，解決了傳統(tǒng)裝置檢測效率低的問題。

附圖說明