[實(shí)用新型]一種大型還原爐底盤(pán)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201921037108.2 | 申請(qǐng)日: | 2019-07-05 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN210367009U | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-04-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 趙建;盛斌;朱敏 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江蘇雙良新能源裝備有限公司 |
| 主分類號(hào): | C01B33/035 | 分類號(hào): | C01B33/035 |
| 代理公司: | 江陰市揚(yáng)子專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32309 | 代理人: | 隋玲玲 |
| 地址: | 214444 江蘇省*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 大型 還原 底盤(pán) | ||
本實(shí)用新型涉及一種大型還原爐底盤(pán),包括電極孔、進(jìn)料噴嘴和尾氣孔,所述電極孔、進(jìn)料噴嘴和尾氣孔與底盤(pán)法蘭、底盤(pán)面板等共同組合成還原爐底盤(pán),所述進(jìn)料噴嘴包括一個(gè)內(nèi)進(jìn)料噴嘴和四圈進(jìn)料噴嘴,所述內(nèi)進(jìn)料噴嘴位于底盤(pán)的中心,所述四圈進(jìn)料噴嘴呈環(huán)形分布于底盤(pán)上面,所述電極孔沿底盤(pán)中心向外依次設(shè)有7圈電極孔,內(nèi)4圈電極孔相互關(guān)系呈正六邊形分布,外3圈電極孔相互關(guān)系呈同心圓,所述尾氣孔位于底盤(pán)最外側(cè)。本實(shí)用新型對(duì)還原反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生的各種熱量進(jìn)行整合,合理利用硅棒間的熱輻射,冷熱物料的熱傳導(dǎo),有效控制霧化,提升多晶硅一次轉(zhuǎn)化率至11%~12%;提升多晶硅沉積速度至160~180kg/h,降低還原電耗至35kw/kg?Si,大幅降低多晶硅生產(chǎn)成本。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及改良西門(mén)子法生產(chǎn)多晶硅領(lǐng)域,具體涉及一種大型還原爐底盤(pán)。
背景技術(shù)
改良西門(mén)子法生產(chǎn)多晶硅是國(guó)內(nèi)、國(guó)際上生產(chǎn)多晶硅的主流成熟工藝,其中還原爐是該工藝的核心設(shè)備,還原電耗占多晶硅生產(chǎn)電耗的65%左右,所以還原爐的性能往往決定了多晶硅生產(chǎn)工藝的先進(jìn)性。目前國(guó)內(nèi)主要采用36對(duì)棒、40對(duì)棒還原爐生產(chǎn)多晶硅,這些爐型的產(chǎn)量相對(duì)較低,且能耗也相對(duì)較高,而部分更為大型的還原爐在實(shí)際使用中,又因?yàn)闋t內(nèi)的熱場(chǎng)、氣場(chǎng)分布不均勻等,導(dǎo)致霧化嚴(yán)重,物耗能耗增加。
因此為解決上述問(wèn)題,開(kāi)發(fā)更大型,更節(jié)能、更合理的還原爐已經(jīng)迫在眉睫,對(duì)還原反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生的各種熱量進(jìn)行整合,合理的進(jìn)行底盤(pán)布置,進(jìn)一步降低還原爐運(yùn)行成本參數(shù),提升國(guó)內(nèi)多晶硅行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足,提供了一種大型還原爐底盤(pán),以解決現(xiàn)有還原爐產(chǎn)量低,電耗高,熱場(chǎng)不均勻,霧化嚴(yán)重等問(wèn)題。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:
一種大型還原爐底盤(pán),包括電極孔、進(jìn)料噴嘴和尾氣孔,所述電極孔、進(jìn)料噴嘴和尾氣孔與底盤(pán)法蘭、底盤(pán)面板等共同組合成還原爐底盤(pán),所述進(jìn)料噴嘴包括一個(gè)內(nèi)進(jìn)料噴嘴和四圈進(jìn)料噴嘴,所述內(nèi)進(jìn)料噴嘴位于底盤(pán)的中心,所述四圈進(jìn)料噴嘴呈環(huán)形分布于底盤(pán)上面,所述電極孔沿底盤(pán)中心向外依次設(shè)有7圈電極孔,內(nèi)4圈電極孔相互關(guān)系呈正六邊形分布,外3圈電極孔相互關(guān)系呈同心圓,所述尾氣孔位于底盤(pán)最外側(cè)。
優(yōu)選的,所述四圈進(jìn)料噴嘴從內(nèi)向外的次序?yàn)榈谝贿M(jìn)料噴嘴、第二進(jìn)料噴嘴、第三進(jìn)料噴嘴和第四進(jìn)料噴嘴,所述第一進(jìn)料噴嘴數(shù)量為6個(gè),所述第二進(jìn)料噴嘴數(shù)量為6個(gè),所述第三進(jìn)料噴嘴數(shù)量為12個(gè),所述第四進(jìn)料噴嘴數(shù)量為12個(gè)。
優(yōu)選的,所述7圈電極孔分別為第一電極孔、第二電極孔、第三電極孔、第四電極孔、第五電極孔、第六電極孔、第七電極孔,所述第一電極孔數(shù)量為6個(gè),第二電極孔數(shù)量為6個(gè),第三電極孔數(shù)量為12個(gè),第四電極孔數(shù)量為12個(gè),第五電極孔數(shù)量為28個(gè),第六電極孔數(shù)量為36個(gè),第七電極孔數(shù)量為44個(gè)。
優(yōu)選的,內(nèi)4圈的電極孔在安裝硅芯橫梁時(shí),采用跨圈相鄰的兩個(gè)電極孔搭接,外3圈的電極孔采用同圈的相鄰兩個(gè)電極孔搭接。
優(yōu)選的,相鄰電極孔距離為200mm-250mm。
本實(shí)用新型的有益效果是:
本實(shí)用新型對(duì)還原反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生的各種熱量進(jìn)行整合,合理利用硅棒間的熱輻射,冷熱物料的熱傳導(dǎo),有效控制霧化,提升多晶硅一次轉(zhuǎn)化率至11%~12%;提升多晶硅沉積速度至160~180kg/h,降低還原電耗至35kw/kg-Si,大幅降低多晶硅生產(chǎn)成本。
附圖說(shuō)明
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中:底盤(pán)1;第七電極孔2;尾氣孔3;第四進(jìn)料噴嘴4;第六電極孔5;第五電極孔6;第三進(jìn)料噴嘴7;第四電極孔8;第二進(jìn)料噴嘴9;第三電極孔10;第二電極孔11;第一進(jìn)料噴嘴12;內(nèi)進(jìn)料噴嘴13;第一電極孔14。
具體實(shí)施方式
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