[實用新型]MEMS麥克風和移動終端

有效

• 申請號: 201921033107.0
• 申請日: 2019-07-02
• 公開（公告）號: CN210093550U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 曾鵬;胡恒賓
• 申請（專利權）人: 瑞聲科技（新加坡）有限公司
• 主分類號: H04R19/02
• 分類號: H04R19/02
• 代理公司: 深圳中細軟知識產權代理有限公司 44528
• 代理人: 孫凱樂

本實用新型提供了一種MEMS麥克風和移動終端，所述MEMS麥克風包括：ASIC芯片，第一MEMS麥克風芯片、第二MEMS麥克風芯片、外殼和線路板，ASIC芯片連接第一MEMS麥克風芯片和第二MEMS麥克風芯片，ASIC芯片、第一MEMS麥克風芯片和第二MEMS麥克風芯片設置在線路板上，線路板和外殼形成密封的第一腔體和第二腔體，第一腔體用于容納ASIC芯片和第一MEMS麥克風芯片，第二腔體用于容納第二MEMS麥克風芯片，線路板上設置與第一MEMS麥克風芯片對應的第一通孔以及與第二MEMS麥克風芯片對應的第二通孔，實現了傳統麥克風的功能和距離傳感器的功能，節省了移動終端內器件占據的空間，節省了購置器件的成本。

技術領域

本實用新型涉及微機電系統技術領域，尤其涉及一種MEMS麥克風和移動終端。

背景技術

微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麥克風是基于MEMS技術制造的聲電換能器，其具有體積小、頻響特性好、噪聲低等特點，是移動終端必不可少的器件之一。一般的，MEMS麥克風產品中包含基于電容檢測的MEMS芯片和專用集成電路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)芯片，MEMS芯片的電容會隨著輸入聲音信號的不同產生相應的變化，再利用ASIC芯片對變化的電容信號進行處理和輸出從而實現對聲音的拾取。MEMS芯片通常包括具有背腔的基底、在基底上方設置的由背極板和振膜構成的平行板電容器，振膜接收外界的聲音信號并發生振動，從而使平行板電容器產生一個變化的電信號，實現聲電轉換功能。

用戶在接打電話過程，由于面部誤觸到移動終端的屏幕導致電話被掛斷，為解決該問題，現有的移動終端中設置有距離傳感器，當用戶接打電話時，距離傳感器獲取用戶身體距離移動終端的距離，當該距離小于預設值時，控制移動終端的屏幕熄滅。

現有的MEMS麥克風僅用于實現聲電轉換，功能單一，移動終端內MEMS麥克風和距離傳感器為不同的器件，占據較大的空間，成本較高。

發明內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種MEMS麥克風和移動終端，用于解決現有技術中MEMS麥克風僅用于實現聲電轉換，功能單一，移動終端內MEMS麥克風和距離傳感器為不同的器件，占據較大的空間，成本較高的問題。

為達上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本實用新型實施例的第一方面提供了一種MEMS麥克風，包括：

ASIC芯片，第一MEMS麥克風芯片、第二MEMS麥克風芯片、外殼和線路板；

所述ASIC芯片連接所述第一MEMS麥克風芯片和所述第二MEMS麥克風芯片，所述ASIC芯片、所述第一MEMS麥克風芯片和所述第二MEMS麥克風芯片設置在所述線路板上；

所述線路板和所述外殼形成密封的第一腔體和第二腔體，所述第一腔體用于容納所述ASIC芯片和所述第一MEMS麥克風芯片，所述第二腔體用于容納所述第二MEMS麥克風芯片，所述線路板上設置與所述第一MEMS麥克風芯片對應的第一通孔以及與所述第二MEMS麥克風芯片對應的第二通孔。

在其中一個實施例中，所述外殼包括相互間隔設置的第一殼體和第二殼體，所述ASIC芯片和所述第一MEMS麥克風芯片收容于所述第一殼體，所述第二MEMS麥克風芯片收容于所述第二殼體。

在其中一個實施例中，所述第二殼體至少為一個，一個所述第二殼體內設置至少一個所述第二MEMS麥克風芯片。

在其中一個實施例中，所述外殼為金屬外殼。

在其中一個實施例中，所述ASIC芯片包括超聲激勵模塊，所述超聲激勵模塊用于發送超聲激勵信號至所述第二MEMS麥克風芯片，以使所述第二MEMS麥克風芯片發出超聲信號。

在其中一個實施例中，所述MEMS麥克風還包括：導線；