[實用新型]一種轉塔式固晶機

有效

• 申請號: 201921031163.0
• 申請日: 2019-07-04
• 公開（公告）號: CN210349783U
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 李輝;王體;李俊強
• 申請（專利權）人: 深圳市諾泰自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L33/48
• 代理公司: 深圳市中聯專利代理有限公司 44274
• 代理人: 李俊

本實用新型公開了一種轉塔式固晶機，涉及芯片制造領域，包括校正補償系統、取晶系統、點膠系統、固晶系統、轉塔系統和檢測系統；其中，校正補償系統，用于微調芯片在裝載芯片的晶圓盤上的位置；取晶系統，用于拾取晶圓盤上的芯片；點膠系統，用于對引線框架進行點膠操作；固晶系統，用于對芯片和引線框架進行固晶操作；轉塔系統，進行芯片位置的轉移，依次經過取晶系統、點膠系統和固晶系統；檢測系統，進行芯片取晶前和固晶前位置參數補償校正，本實用新型采用一套轉塔式多擺臂吸嘴系統，與三套音圈電機下壓機構的組合，以及配合高速的計算機運算控制與高速的工業相機視像處理系統，實現從晶圓盤中連續取晶、點膠、固晶等工藝要求。

技術領域

本實用新型涉及芯片制造領域，具體涉及一種轉塔式固晶機。

背景技術

伴隨半導體芯片類的發展，以及國家對半導體產業的大力支持，因此市場對半導體芯片類封裝類設備的需求日益增長，同時芯片(LED)外型越來越小型化或超小型化，這就對設備的精度、速度、可靠性要求越來越高。然而，國外進口的設備價格昂貴，國產固晶機設備不僅在固晶速度需要提高，而且在重復定位料度與可靠性方面需有待提高。對中小企業前期投資大，嚴重的制約了中小企業的發展。

實用新型內容

根據以上現有技術的不足，本實用新型所要解決的技術問題是提出一種轉塔式固晶機，采用一套轉塔式多擺臂吸嘴系統，與三套音圈電機下壓機構的組合，以及配合高速的計算機運算控制與高速的工業相機視像處理系統，實現從晶圓盤中連續取晶、點膠、固晶等工藝要求。

一種轉塔式固晶機，包括校正補償系統、取晶系統、點膠系統、固晶系統、轉塔系統和檢測系統；

其中，所述校正補償系統，用于微調芯片在裝載所述芯片的晶圓盤上的位置；

所述取晶系統，用于拾取晶圓盤上的芯片；

所述點膠系統，用于對取晶后芯片所放置的引線框架進行點膠操作；

所述固晶系統，用于對點膠后的所述引線框架，將芯片在其上面進行固晶操作；

所述轉塔系統，進行芯片位置的轉移，依次經過取晶系統、點膠系統和固晶系統；

所述檢測系統，進行芯片取晶前和固晶前位置參數補償校正。

可選的，所述校正補償系統包括晶圓工作臺裝置和自校正頂針裝置，其中；

所述晶圓工作臺裝置包括X軸運動模組、Y軸運動模組和晶圓環，所述X軸運動模組帶動所述Y軸運動模組在X軸方向上進行位移，Y軸運動模組帶動所述晶圓環在Y軸方向上進行位移，晶圓環用于裝載晶圓盤，晶圓環上設有用于調節晶圓環松緊程度的晶圓環快拆裝置；

所述自校正頂針裝置包括X軸自校正模組、Y軸自校正模組、Z軸自校正模組和頂針運動模組，所述X軸自校正模組帶動所述Y軸自校正模組在X軸方向上進行位移，Y軸自校正模組帶動所述Z軸自校正模組在Y軸方向上進行位移，Z 軸自校正模組帶動所述頂針運動模組在Z軸方向上進行位移，頂針運動模組包括第七驅動電機、第七偏心輪傳動機構、頂針和頂針防撞裝置，所述第七驅動電機的輸出軸傳動連接所述第七偏心輪傳動機構，第七偏心輪傳動機構帶動所述頂針在Z軸方向上做往復運動，所述頂針處設有所述頂針防撞裝置。

可選的，所述頂針包括頂針帽、頂針帽安裝座、頂針導桿、緊固螺帽、頂針夾爪和針頭，所述頂針帽與所述頂針帽安裝座相固定，所述頂針導桿在頂針帽內上下滑動，頂針導桿的頂端通過所述緊固螺帽和所述頂針夾爪固定有所述針頭，頂針帽處設有供針頭伸出或者回縮的孔眼；