[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體成型的快熱式烘烤箱

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921016978.1
• 申請日: 2019-07-02
• 公開（公告）號: CN210320888U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李進(jìn);陳梅業(yè)
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽三優(yōu)光電科技有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/00;F26B25/18;F26B21/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京和信華成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體成型的快熱式烘烤箱，包括箱體，箱體的內(nèi)側(cè)設(shè)置有置物腔，置物腔的內(nèi)側(cè)設(shè)置有立管，置物腔的內(nèi)側(cè)設(shè)置有四個托架，箱體的上壁內(nèi)側(cè)和下壁內(nèi)側(cè)均開設(shè)有空腔，安裝槽的內(nèi)壁上固定安裝有安裝框架和鼓風(fēng)機(jī)，安裝框架的內(nèi)側(cè)通過安裝有若干個電熱管，鼓風(fēng)機(jī)的輸出口處安裝有出氣管，出氣管的一端連通有氣體通道，氣體通道與空腔相連通；本實(shí)用新型中熱空氣通過第一氣孔對半導(dǎo)體元件上方和下方進(jìn)行加熱烘烤，鏤空網(wǎng)板來便于熱空氣通過，烘烤效果好；經(jīng)過立管的氣體通過第二氣孔吹出并直接對各個托架上的半導(dǎo)體元件進(jìn)行烘烤，該烘烤箱加熱快，半導(dǎo)體能夠快速成型，工作效率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體成型的快熱式烘烤箱。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體材料經(jīng)過封裝以后，烘箱對材料起到固化作用，操作人員對材料進(jìn)行固化，在烘烤時需要打開電機(jī)鼓風(fēng)、加熱方可烘干；

專利文件(CN204168604U)公開了一種節(jié)能過風(fēng)式烘烤箱。它包括箱體、隔熱層、風(fēng)機(jī)，箱體的內(nèi)腔設(shè)有進(jìn)風(fēng)隔板，將箱體內(nèi)腔分割為烘箱工作室、進(jìn)風(fēng)道、出風(fēng)道三個空間，風(fēng)機(jī)將熱風(fēng)大量、快速地吹入進(jìn)風(fēng)列管中，熱風(fēng)經(jīng)過加熱器加熱升溫后，沿著進(jìn)風(fēng)道進(jìn)入烘箱工作室內(nèi)，對電路板進(jìn)行烘烤，該烘烤箱只能通過設(shè)置在箱體底部的加熱器對箱體內(nèi)部進(jìn)行加熱，加熱方式較為單一，加熱慢，效率低，也并未設(shè)置鏤空托架，不便于熱空氣穿過，受熱不均勻，加熱效果差。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述的技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種用于半導(dǎo)體成型的快熱式烘烤箱，通過在箱體的上、下壁內(nèi)部分別設(shè)置空腔，并在置物腔的上、下腔壁處開設(shè)與空腔連通的第一氣孔，使熱空氣進(jìn)入空腔后通過第一氣孔對半導(dǎo)體元件上方和下方進(jìn)行加熱烘烤，采用鏤空網(wǎng)板來放置半導(dǎo)體元件可以使熱空氣在各個托架間穿梭，解決了現(xiàn)有半導(dǎo)體烘烤箱內(nèi)半導(dǎo)體元件受熱不均勻，烘烤效果差的技術(shù)問題；

通過在置物腔的內(nèi)側(cè)設(shè)置于上、下分布的空腔相連通的立管，并在立管上設(shè)置多組第二氣孔，使通過立管的氣體通過第二氣孔吹出并直接對各個托架上的半導(dǎo)體元件進(jìn)行烘烤，該烘烤箱同時采用兩種出氣加熱的方式，半導(dǎo)體能夠快速成型，解決了有半導(dǎo)體烘烤箱加熱慢，工作效率低的技術(shù)問題。

本實(shí)用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種用于半導(dǎo)體成型的快熱式烘烤箱，包括箱體，所述箱體的內(nèi)側(cè)設(shè)置有置物腔，所述置物腔槽口處設(shè)置有開關(guān)門，所述置物腔的內(nèi)側(cè)縱向設(shè)置有立管，所述立管的上、下端通過焊接分別與置物腔上壁的中心位置和下壁的中心位置固定連接，所述置物腔的內(nèi)側(cè)縱向設(shè)置有四個水平放置的托架，四個所述托架呈等間距均勻分布；

所述箱體的上壁內(nèi)側(cè)和下壁內(nèi)側(cè)均開設(shè)有空腔，所述箱體內(nèi)部遠(yuǎn)離開關(guān)門的一側(cè)開設(shè)有安裝槽，所述安裝槽的內(nèi)壁上固定安裝有安裝框架和鼓風(fēng)機(jī)，且所述鼓風(fēng)機(jī)位于安裝框架的上方，所述安裝框架的內(nèi)側(cè)通過螺栓固定安裝有若干個電熱管，所述鼓風(fēng)機(jī)的輸出口處安裝有出氣管，所述出氣管遠(yuǎn)離鼓風(fēng)機(jī)的一端連通有氣體通道，所述氣體通道的上、下端分別與箱體上壁的空腔和下壁的空腔相連通。

進(jìn)一步的，所述托架包括鏤空網(wǎng)板，所述鏤空網(wǎng)板的邊緣處固定安裝有固定框架，所述固定框架的兩個對稱外壁處分別設(shè)置有兩個滑輪。

進(jìn)一步的，所述立管的表面等間距縱向開設(shè)有四組第二氣孔，每組所述第二氣孔包括若干個第二氣孔，若干個所述第二氣孔位于同一水平高度且呈等弧度環(huán)形分布，兩組相鄰所述第二氣孔的間距與兩個相鄰?fù)屑艿拈g距相等，且所述第二氣孔的水平高度高于對應(yīng)固定框架的水平高度。

進(jìn)一步的，所述置物腔的兩個對稱內(nèi)壁上對應(yīng)托架所在位置處均固定安裝有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌與滑輪滑動配合。

進(jìn)一步的，所述立管的上、下端分別與箱體上壁的空腔和下壁的空腔相連通。

進(jìn)一步的，所述置物腔的上壁和下壁均開設(shè)有若干個呈均勻分布的第一氣孔。